武汉华星6代新型显示产线扩产项目多设备评标公示

近日，******公司第6代半导体新型显示器件生产线扩产项目多批次设备评标结果对外公示。本次招标由中电****公司负责招标代理，覆盖涂覆机、准分子激光退火机、离子植入机、清洗机、贴附机、脱泡机、烘烤箱、绑定机、阵列打码机、干法刻蚀机温度控制器等多类关键工艺与模组设备。

**华星第6代产线主要面向高端LTPS?OLED、硅基微型显示等产品，本次扩产将进一步释放面板产能，优化产品结构，适配车载显示、IT高端显示、AR/VR微型显示等下游增量市场需求。从本次评标公示清单来看，招标范围覆盖阵列、蒸镀前处理、模组段多个关键工艺环节，既有半导体工艺类高壁垒设备，也包含后段模组配套装备，设备选型直接决定产线良率、工艺能力与未来产品迭代空间。

本次公示设备中标候选人清单整理如下：

从候选名单可以看出，后段模组、清洗、烘烤类设备国产化落地效果显著。**市八零联合装备同时拿下BM前研磨清洗机、半自动POL重工贴附机两大标段；深科达取得大尺寸inline脱泡机候选资格；海的电子拿下block烘烤箱；**科韵激光进入准分子激光退火机候选序列，与海外厂商同台竞争。退火机属于LTPS制程关键设备，用于完成多晶硅薄膜晶化处理，长期由海外企业主导，国内厂商进入大型产线招标候选名单，代表国产激光退火装备已具备产业化验证条件。

高壁垒半导体工艺设备依旧维持海外厂商主导格局。涂覆机、阵列打码机、干法刻蚀机温控单元候选方来自韩国厂商；离子植入机、绑定机候选供应商来自日本企业。离子植入机是 LTPS阵列掺杂改性的核心设备，绑定机直接影响OLED面板驱动IC与面板的耦合良率，此类设备在材料、精密控制、工艺数据库积累上仍存在技术壁垒，现阶段国内面板产线仍大量依赖海外设备供给。同一设备品类出现国内外多家候选，也体现华星在扩产项目中采用多源供应策略，兼顾技术成熟度与国产化导入目标。

**华星6代线扩产项目，承担国内高端LTPS?OLED产能扩容任务，将重点面向折叠IT面板、车载 OLED、硅基 OLEDoS 等高附加值产品。本次设备招标，既是产线建设的关键环节，同时也是国产显示装备重要的验证窗口。随着项目推进，国产设备将获得大产线工艺数据积累，持续缩小与海外头部厂商差距。需要注意，当前仅为评标候选公示阶段，公示期尚未结束，候选不等于最终中标，后续还将履行公示异议处理、最终定标、合同签署等流程，最终设备采购结果以官**式中标公告为准。