数字投影微纳加工系统竞价公告

发布时间: 2026年08月10日
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项目名称 数字投影微纳加工系统 项目编号 ****
项目编号 ****
公告发布日期 2026/08/10 14:01 公告截止日期 2026/08/13 14:01
公告截止日期 2026/08/13 14:01
采购单位 ****
联系人 中标后在我参与的项目中查看 联系手机 中标后在我参与的项目中查看
联系手机 中标后在我参与的项目中查看
采购预算 未公开 币种 RMB
币种 RMB
是否本地化服务 是否需要踏勘
是否需要踏勘
踏勘联系人 踏勘联系电话
踏勘联系电话
踏勘地点 踏勘联系时间
踏勘联系时间
送货/施工/服务期限 合同签订后 90 天内到货
送货/施工/服务地址 ****科创港校区10栋
售后服务 按行业标准执行
付款条款 国产设备:1.供应商在申请验收前,须先把合同总金额的(0)%作为质保金交到采购人指定账户,并开具合同金额100%发票;2.货到合同指定地点并安装调试验收合格后,凭验收报告在10个工作日内支付合同总金额的(100)%;3.在验收合格之日起的()年后无质量问题,经采购人认可,一次性将合同质保金无息退还供应商。


采购清单
1
采购内容 数量单位
数字投影微纳加工系统 1(套)
参考品牌及型号 泽攸科技/EHG7
技术参数要求 技术指标: 1.1 投影光源:高功率LED,中心波长385nm; 1.2 空间光调制器:高分辨率动态空间光阀,像素尺寸7.56μm; 1.3 微缩投影物镜:配置4个不同倍率的高精度加工物镜; 1.3.1 物镜1:加工速率 1.5mm2/min(@特征尺寸0.5μm); 1.3.2 物镜2:加工速率 10mm2/min(@特征尺寸0.7μm); 1.3.3 物镜3:加工速率 40mm2/min(@特征尺寸1μm); 1.3.4 物镜4:加工速率 150mm2/min(@特征尺寸2μm); 1.4 最小加工特征尺寸:0.5μm; 1.5 最小等间距线宽:优于0.8μm; 1.6 图形拼接与对准精度:5mm×5mm加工区域内优于1μm; 1.7 视觉对准相机:4/3英寸大靶面工业相机,2100万像素,像素尺寸3.3μm。 二、 高精密直线电机工件台 1.8 最大样品尺寸:4英寸(标配真空吸附套件); 1.9 X/Y轴直线电机:重复定位精度 ±0.3μm; 1.10 Z轴电动台:运动分辨率 20nm; 1.11 手动旋转台:支持360°旋转。 三、 隔振与环境系统 1.12 气浮隔振系统:包含高阻尼光学平台及配套静音空压机。 四、 控制与计算系统 1.13 品牌与型号:联想 慧天 M5 硬件配置:CPU: Intel Core i5-14500;运行内存: DDR4 16G (双通道);存储: 1T SSD 接口配置:千兆网口 ×1,USB接口 ×10 操作系统:正版 Windows 11 64位

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