附件2
公告过程中采购项目统一对****采购中心-供应商)
关于****涡轮分子泵采购项目的澄清回复
致:所有潜在供应商
本项目在公告过程中,相关供应商对本项目提出了以下澄清请求,现回复如下:
问题1:序号1涡轮分子泵(281********881)根据目前的调研情况,当前级泵的抽气速率≥6L/s时,极限真空度为0.03mbar,单位换算为3pa,是否可以接受涡轮分子泵的进气口法兰口径为DN63、排气口的法兰口径为KF16,是否可以接受工艺抽什么气体252000L/h,是否确认是氦气要求。是单台的还是整个的合计。原规格KF25进气口抽速不足,抽气口太小,面积受限制,导致抽气不足,是否可升级为KF100或KF160接口提升抽速、缩短抽气时间。
回复:根据调研情况,前级泵抽速6L/s时,极限真空度可以<1Pa,前级泵为辅助泵,可以接受。涡轮分子泵不与系统直接相连的话可以接受,系统的连接接口形式为KF25,工艺系统抽氮气,技术规格书要求氦气抽速252000L/h,为前级泵加分子泵要求。涡轮分子泵不与系统直接相连的话可以接受,系统的连接接口形式为KF25。抽气速率及具体要求详见技术规格书。
问题2:序号2涡轮分子泵(281********881)根据目前的调研情况,当前级泵的抽气速率≥6L/s时,极限真空度为0.03mbar,单位换算为3pa,是否可以接受2、涡轮分子泵的进气口法兰口径为DN63、排气口的法兰口径为KF16,是否可以接受3.工艺抽什么气体252000L/h,是否确认是氦气要求。是单台的还是整个的合计。原规格KF25进气口抽速不足,抽气口太小,面积受限制,导致抽气不足,是否可升级为KF100或KF160接口提升抽速、缩短抽气时间。
回复:根据调研情况,前级泵抽速6L/s时,极限真空度可以<1Pa,前级泵为辅助泵,可以接受。涡轮分子泵不与系统直接相连的话可以接受,系统的连接接口形式为KF25,工艺系统抽氮气,技术规格书要求氦气抽速252000L/h,为前级泵加分子泵要求。涡轮分子泵不与系统直接相连的话可以接受,系统的连接接口形式为KF25。抽气速率及具体要求详见
技术规格书。
澄清回复是否涉及实质性条款: ◆是 否
| 澄清回复是否涉及实质性条款: ◆是 否 采购项目是否需要延期: √是,报价截止时间变更至2026年8月14日08:15标书代写 编制: 审核: 审批: ****采购中心 (加盖公章) 2026年08月11日 |