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| 1 | 复合分子泵A | 1. 氮气抽速大于1000L/s 2. 分体式设计(泵体与控制单元分离),控制线缆长度不小于50米 3. 极限压强<5e-7 Pa 4. 冷却方式:水冷 5. 轴承类型:脂润滑陶瓷轴承 6. 定制进气口法兰,可适配采购方真空腔体法兰(由采购方提供腔体3D模型) | 台 | 1 | 4周 | 高能所十号厅 | ||
| 2 | 复合分子泵B | 1. 氮气抽速大于4000L/s 2. 分体式设计(泵体与控制单元分离),控制线缆长度不小于50米 3. 极限压强<5e-7 Pa 4. 冷却方式:水冷 5. 轴承类型:脂润滑陶瓷轴承 6. 定制进气口法兰,可适配采购方真空腔体法兰(由采购方提供腔体3D模型) | 台 | 1 | 4周 | 高能所十号厅 |