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| 1 | 中能发射谱腔体及移动调节机构系统 | 按照甲方要求进行整体设计,主要组件包括: 1. 电动直线滑台及升降台 技术指标参数 行程大于5mm,台面尺寸大于30X30小于80X80平方毫米,半步分辨由于5微米;细分分辨由于1微米,两相电机及控制器;线性组合三维移动台 2.高精度电动旋转台 技术指标参数 台面直径尺寸大于100mm,分辨率优于0.002度,重复定位精度优于0.005度,二相电机,配控制器 数量 1套 3.真空离子泵 外形尺寸需要小于150X100X80立方毫米 数量2套 真空度优于3E10-6Pa,抽速大于2L/s 4.精密机械位移微调结构 两套 可手动微调及锁止 5. 亚克力腔体 体积 大于1500X400X300立方mm,板材厚度大于20mm。按要求加工定型 1套 6.超高真空腔体 体积大于150X100X200立方毫米,真空漏率优于5X10-9mbar L /s 1套 7.长行程位移台 行程大于1m,电动控制,配控制系统,两套。 8.其他非标工件,铝合金件,数量10-20件,总体积100X100X50立方毫米 | 套 | 1 | 合同签订后3个月内 | **市**区**路19号乙12号厅 |