株洲中车时代半导体股份有限公司背面铝PVD设备采购项目国际招标公告(1)

****受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标，于2026-08-12在中国国际招标网公告。本次招标采用传统招标方式，现邀请合格投标人参加投标。
1、招标条件
项目概况:****（以下简称“招标机构”）受****的委托，邀请合格投标人就****背面铝PVD设备采购项目进口设备进行国际招标。现邀请合格投标人参加投标。
资金到位或资金来源落实情况:已落实
项目已具备招标条件的说明:具备
2、招标内容
招标项目编号:****
招标项目名称:****背面铝PVD设备采购项目
项目实施地点:中国**省
招标产品列表(主要设备):

序号	产品名称	数量	简要技术规格	备注
1	背面铝PVD设备	1台	设备用于芯片的背面铝金属沉积: (1)主机 1 台，设备需配置3个铝工艺腔和1个刻蚀腔以满足产能的需求; (2)该设备须配有自动识别晶圆在片盒中的位置和数量的功能，配有自动对准晶圆功能。设备可以Mapping 条款2.2中任意厚度晶圆的组合; (3)该设备需带有Degas功能，Degas腔独立结构，与传送腔隔离。加热温度不低于500℃。配置2个Degas腔。其中1个安装在不同机台。 (4)该设备配有晶圆冷却功能，确保晶圆返回片盒中时温度≤60℃，以免损伤普通片盒，且冷却时间不能影响产能; (5)须为设备的控制系统配备UPS电源; (6)设备需配备冷水机组； ★(7)设备需配置OTF传感器，用于自动调整晶圆在传送过程中的偏移。 (8)设备配置四色(红黄蓝绿)信号灯。 (9)设备的软件操作系统须直接存储在硬盘中。 (10)设备可进行用户权限分配和多账户设置。 (11)设备须配置接口以将数据拷贝至可移动存储介质。可拷贝的数据包括设备配置参数、工艺菜单、操作记录、工艺参数记录、报警记录，如该数据文件需要使用投标方提供的特殊软件或者装置才能读取，投标时需提供报价且包含在投标总价中。 (12)操作记录、工艺记录和报警记录的存储时间须大于6个月。 (13)提供设备内部电脑拓扑图：包含电脑数及电脑之间互联关系、内部网络配置信息、各电脑包含硬盘数及硬盘存储间备份关系，以及提供各电脑及内部组件安装的所有程序与服务对应启用的端口信息。 (14)病毒防控：可安装防（杀）病毒软件，推荐采用时代电气使用软件品牌；如采用非指定品牌杀毒软件须提供后续持续更新病毒库的安全方案。 (15)提供设备操作系统信息，推荐使用常用操作系统，操作系统支持打补丁升级。设备到货时需已更新到官方发布的最新补丁版本，需允许后期使用过程更新补丁，且设备维保服务不受此影响。 (16)防止硬件损坏造成停产，设备电脑实时运行要求双硬盘热备。 (17)提供一套包含设备操作系统、操作软件以及相应参数设置的离线硬盘作备份。供应商需另外提供设备软件故障时使用该硬盘进行恢复的操作手册。 (18)该设备需带有Loading和Unloading腔，工艺腔需配备高真空泵，供应商须提供设备需要的所有真空泵和电源，泵和电源品牌要求如下： 分子泵品牌和型号：Edwards STP-H451C 冷泵品牌和型号：BROOKS CTI，SUMITOMO 电源:Advanced energy,Hottinguer 泵和电源的型号要求是市面上通用的 (19) MFC品牌：Horiba /Brooks，MFC控制方式：数控，MFC控制精度：±1%。 ★(20)设备需配置8寸天车版SMIF平台； (21)SMIF配置要求: (a)SMIF平台需使用CRRC推荐的SMIF供应商（富创得或者Brooks） (b)SMIF平台需支持天车上下POD。设备需提供E84传感器及安装治具等。推荐使用E84传感器型号：传感器型号 (EQ端):CTS-HPIO-25-PSS-GE-11-05-F-250-030-000-000-00。设备负责安装定位调试好EQ端口E84传感器。 (c)SMIF需配置RFID读取功能，可以同时读取POD ID(LP前边)和Cassette ID(LP右边) (d)SMIF Pod Loading/Unloading升降空间350mmX390mm内无机械干涉（390mm为天车走行方向）； (e)SMIF承载台面高度900mm (f)导向边尺寸12mmX13mm，导向斜角B8≤45°，B7≥16mm，B5≤29.97mm，B1=146.48 ± .13mm, B2=141.71 ± .13mm，B1=146.48 ± .13mm, B2=141.71 ± .13mm (g)两个SMIF间距S=400mm，SMIF Pod与SMIF外框架间距C2≥30mm (h) SMIF中心线与矮机台间隙≥210mm，SMIF中心线与高机台间隙≥280mm

3、投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩:1国内投标人：
(1) 法人身份证或法人授权委托书及授权委托人身份证；
(2) 企业营业执照
以上资料提供加盖公章的复印件。
2国外投标人：
（1）企业合法、有效的证明文件；
（2）企业授权委托书；
（3）授权委托人合法、有效的证件。
以上资料提供加盖公章的复印件。
是否接受联合体投标:不接受
未领购招标文件是否可以参加投标:不可以
4、招标文件的获取
招标文件领购开始时间:2026-08-12
招标文件领购结束时间:2026-08-19
是否在线售卖标书:否
获取招标文件方式:现场领购
招标文件领购地点：**省**市**区****海天阶苑3栋8层。邮寄地址：**省**市**区****海天阶苑3栋8层 收件人：刘先生 邮箱：****@qq.com
招标文件售价:￥500/$74.11
5、投标文件的递交
投标截止时间（开标时间）:2026-09-02 14:30 加急标书代写
投标文件送达地点:**省**市**区****海天阶3栋8层
开标地点:**省**市**区****海天阶3栋8层 加急标书代写
6、联系方式
招标人:****
地址:**市**区时代路
联系人:黄先生、吉亚丽
联系方式:152****7011
招标代理机构:****
地址:**市**区首体南路22号国兴大厦10层
联系人:陶先生、刘先生
联系方式:177****5956
7、汇款方式:
****银行(人民币):
****银行(美元):
账号(人民币):
账号(美元):