PECVD-招标公告

招标公告

1. 招标条件

本招标项目PECVD招标人为****，招标项目资金来自国拨资金，出资比例为100%。该项目已具备招标条件，现对PECVD进行国内公开招标。

2. 项目概况与招标范围

2.1 招标编号：****

2.2 招标项目名称：PECVD。

2.3数量:1台

2.4 主要内容：PECVD要求为国产全新设备，主要用于6英寸InP基晶圆的镀膜工艺，要求能采用等离子体增强化学气相沉积的方式成膜，能够制备SiNx、SiO2、SiNxOy等单层或多层薄膜。PECVD为具有3个工艺腔体的全自动机台，要求腔体均配备气态SiH4，能够制备SiNx、SiO2、SiNxOy等薄膜。设备具备自动传送晶圆及连续成膜功能，主要包括真空腔室、真空系统、晶圆传递系统、载片台装置、气路输运控制系统、水冷却管路、晶圆冷却系统、电源系统、设备安全系统、计算机控制系统等模块。

2.5 交货地点：**市**区西永微电园西永大道23号。

2.6 交货期：合同生效后180天内。

3. 投标人资格要求

3.1 依法设立的证明：投标人须具有独立承担民事责任能力的在中华人民**国境内注册的法人或其他组织，具备****事业单位法人证书或其它营业登记证书。

3.2 业绩要求：投标人需提供2023年1月1日至今已签订的本次投标同型号或同系列设备的销售业绩≥3台，须提供设备采购合同复印件（合同乙方应为投标人）。合同内容须体现合同标的物、数量、签订日期、甲乙双方签字或盖章页、设备型号等能反映业绩要求的主要内容，未按上述要求提供的业绩证明不予认可。

3.3 其它要求：本项目不接受代理商投标。

3.4本次招标不接受联合体投标。

3.5 投标人必须向招标代理机构购买招标文件并进行登记才具有投标资格。

4. 招标文件的获取

4.1凡有意参加投标者，请于2026年08月12日至2026年08月19日17时(**时间)，登录中招联合招标采购平台（网址：www.****.cn,注册操作咨询电话010-****7110）购买并下载招标文件，现场不予受理。

4.2 招标文件每套售价800元（从中招联合招标采购平台下载标书款电子发票），售后不退。

5. 投标文件的递交标书代写

5.1投标文件递交的截止时间（投标截止时间，下同）为2026年09月04日09时30分，****酒店会议室（**市**区西永大道36号）。招标人在本项目递交投标文件截止时间和递交地点开标，邀请所有投标人参加开标，投标人未派代表参加开标的，视为默认开标结果。标书代写

5.2逾期送达的、未送达指定地点的或者不按照招标文件要求密封的投标文件，招标人将予以拒收。标书代写

6. 发布公告的媒介

本次招标公告同时在中国招标投标公共服务平台和中招联合招标采购平台发布。

7. 监督部门

本招标项目的监督部门为：法务与风控审计部。

8. 联系方式

招标人名称：****

地址：**市**区西永大道23号

联系人：吴先生

电话： 023-****0107

招标代理机构：****

地址：**市**区金沟河路与采石北路十字路口东南角88号大楼

售卖联系人：李经理

电话：028-****6520

项目负责人：唐玲

电子邮件：****@zonkex.com