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| 精度激光切割设备 | 1.0/台 | 大族激光 | 满足规格参数的需求 | [{"key":"1","value":"满足科研样品、小批量工艺开发及多种材料衬底的灵活加工需求,同时具备低损伤、低污染、高精度和良好工艺重复性的特点。要求激光器波长为355 nm,光源功率大于等于10W,加工范围大于等于100 mm*100 mm,加工精度小于等于±30 μm,具体由供应商根据材料给出工艺窗口。切割路径支持支持直线、矩形、阵列、圆形、异形路径等,工作模式支持多次扫描、多层聚焦、可调功率、可调速度、可调频率。应覆盖4英寸晶圆完整加工范围,夹具固定等方式。","important":true}] | 按行业标准提供服务 | ||
| 精度激光切割设备 | 1.0/台 | 元禄光电 | 满足规格参数的需求 | [{"key":"1","value":"满足科研样品、小批量工艺开发及多种材料衬底的灵活加工需求,同时具备低损伤、低污染、高精度和良好工艺重复性的特点。要求激光器波长为355 nm,光源功率大于等于10W,加工范围大于等于100 mm*100 mm,加工精度小于等于±30 μm,具体由供应商根据材料给出工艺窗口。切割路径支持支持直线、矩形、阵列、圆形、异形路径等,工作模式支持多次扫描、多层聚焦、可调功率、可调速度、可调频率。应覆盖4英寸晶圆完整加工范围,夹具固定等方式。","important":true}] | 按行业标准提供服务 |