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CMP设备配套耗材单一来源采购公示
招标详情
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400-688-2000
一、采购人：****
二、项目名称：CMP设备配套耗材
三、采购内容：清洗毛刷（含PVA Brush Disc Brush)
四、成交金额：61562.00元
五、单一来源的说明：
为保障CMP设备晶圆与抛光垫清洗工艺的稳定性，避免因毛刷选型不匹配导致颗粒污染及晶圆划伤的风险，拟向原设备供应商采购耗材一批，具体含4个PVA Brush P/N45080、4个Disc Brush(D 0.1) P/N640112。降低因毛刷选型不当导致颗粒污染及晶圆划伤的风险
六、拟成交供应商信息：****
七、公示期限：从2026年8月13日至2026年8月20日止（自公告发布之日5个工作日）。
八、对本次采购提出异议，请按以下方式联系：
对公示内容有异议的，自发布公告之日起5个工作日内以有效形式提出：
联系人：郑老师
联系方式：0571-****2600
联系邮箱：sijie.zheng@foem.****.cn
投诉联系人：冯老师
投诉联系方式：0571-****2601
投诉联系邮箱：office@foem.****.cn
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2026-08-13
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