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惠科绵阳产线27~31批工艺设备完成评标

结果-中标通知

四川 -绵阳

发布时间： 2026年08月18日

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本次公示项目归属**惠科光电8.6****基地，项目总投资超百亿元，是**省重点新型显示强链工程，产线兼顾LCD量产与OLED技术验证，聚焦笔记本、车载、高端IT显示面板制造。近期****连续发布第27至31批设备评标/中标公告，采购品类覆盖退火热处理、彩膜光学检测、洁净臭氧处理三大面板核心制程装备。本次招标同步引入国内本土厂商、中国**企业、德日海外设备商同台竞争，设备落地将完善基板清洗、薄膜退火、像素光学全流程工艺能力。

项目批次	采购设备品类	投标单位	制造地区
第27批	中温退火炉、高温退火炉	YAC DENKO Co., LTD.	日本
第28批	彩膜线上数位宏观检查机、成盒后光学检查机	****公司	中国**
第29批	臭氧发生器	万机仪器 (**) 有限公司	德国
第30批	臭氧发生器	国**公司	中国大陆
第31批	臭氧发生器	******公司	中国大陆

退火炉用于基板薄膜固化、消除膜层内部应力，中高温分级退火分别适配彩膜光刻胶固化、TFT有源层晶格修复，直接决定面板亮度、使用寿命；光学检查机搭载高精度成像识别系统，在线捕捉像素划痕、色彩不均、基板缺陷，是产线良率管控核心检测装备；臭氧发生器为无尘车间干法清洗核心设备，依靠臭氧强氧化性去除基板微量有机残留，规避湿法清洗带来的溶剂残留问题，是大尺寸基板量产必备洁净配套。

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臭氧发生器单一品类同时出现两家国内候选厂商，**国林、**智桦均实现自主整机制造，本土洁净处理装备已满足高世代面板产线严苛洁净度标准，国产辅助设备替代进程提速。对比海外MKS品牌，国内厂商在交付周期、售后运维、本地化定制方面具备成本优势，未来洁净配套设备国产渗透率有望持续提升。

核心热处理、高端光学检测装备仍由日台海外厂商占据主流份额。日本YAC深耕显示退火炉赛道，热场均匀性、温度控温精度经过全球多条高世代产线验证；中国**宏濑光电的光学检测设备适配彩膜、成盒全制程缺陷检测，成像识别算法成熟，现阶段国内高端光学、热处理核心装备仍存在技术差距，是产业链补短板关键方向。