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| 1 | 真空抽气组件 | 组件应满足装置超高真空抽气需求,装配运行后静态极限真空要求<1E-7 Pa,真空漏率<1E-10 Pa﹒m3/s。 | 套 | 1 | 2个月 | **** | ||
| 2 | 真空隔断组件 | 可分别对束线管道及抽气管道中的超高真空/高真空区域与低真空及大气环境进行隔断;漏率小于<5×10^-10 mbar﹒L﹒s^-1,接口法兰采用CF-F | 套 | 1 | 2个月 | **** | ||
| 3 | 真空预抽管路 | 管路在完**装连接后,静态极限真空要求<1E-7 Pa,真空漏率<1E-10 Pa﹒m3/s;管路同轴度≤0.3 mm,表面光洁度≤1.6微米。 | 套 | 1 | 2个月 | **** | ||
| 4 | 真空腔体组件 | 腔体加工及装配应满足超高真空使用要求,其中静态极限真空要求<1E-7 Pa、真空漏率<1E-10 Pa﹒m3/s;整体同轴度≤0.3 mm,表面光洁度≤1.6微米。 | 套 | 1 | 2个月 | **** | ||
| 5 | 中端输运真空管道 | 用于中端输运段的真空管道应保证静态极限真空要求<1E-7 Pa,并将真空漏率控制在<1E-10 Pa﹒m3/s;机械加工同轴度≤0.3 mm,表面光洁度≤1.6微米。 | 套 | 1 | 2个月 | **** | ||
| 6 | 水冷真空管路组件 | 真空管道部分应达到静态极限真空要求<1E-7 Pa,真空漏率<1E-10 Pa﹒m3/s,同轴度≤0.3 mm,表面光洁度≤1.6微米;配套水冷部件包含水冷管线及卡套,在1 MPa冷却水通路条件下保压1小时无泄漏。 | 套 | 1 | 2个月 | **** | ||
| 7 | 支撑台架组件 | 台架主体采用铝合金材料并满足无磁要求,整体承重能力≥800 kg;配置移动轮及固定脚撑两种支撑形式,可分别满足装置移动安装和稳定固定需求。 | 套 | 1 | 2个月 | **** | ||
| 8 | 束流调节真空组件 | 组件应与主体装置结构尺寸及安装位置相匹配,可实现束流区域相关部件的位置调整;调节完成后应能够保持可靠定位,并满足装置长期稳定运行及重复调节使用要求。 | 套 | 1 | 2个月 | **** |