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广东工业大学大学城校区半导体微纳加工研发及服务平台建设项目
项目详情
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400-688-2000
1、建设项目基本信息
企业基本信息
| **** | 建设单位代码类型：|
| 124********860226X | 建设单位法人：邱学青 |
| 肖志明 | 建设单位所在行政区划：**省**市**区 |
| **市****大学城外环西路100号 |
建设项目基本信息
| ****大学城校区半导体微纳加工研发及服务平台建设项目 | 项目代码：**** |
| 建设性质： | |
| 2021版本:098-专业实验室、****基地 | 行业类别（国民经济代码）：M7320-M7320-工程和技术研究和试验发展 |
| 建设地点： | **省**市**区 **市****大学城外环西路100号****大学城校区理学馆一楼南面实验区 |
| 经度:113.394430 纬度: 23.037450 | ****机关：****环境局 |
| 环评批复时间： | 2025-01-24 |
| 穗环管影（番）〔2025〕15号 | 本工程排污许可证编号：124********860226X001Y |
| 2025-11-27 | 项目实际总投资(万元)：4000 |
| 450 | 运营单位名称：**** |
| 124********860226X | 验收监测(调查)报告编制机构名称：****开发区****公司 |
| 914********441951W | 验收监测单位：******公司 |
| 914********524540G | 竣工时间：2025-05-30 |
| 2025-06-01 | 调试结束时间：2026-06-30 |
| 2026-07-08 | 验收报告公开结束时间：2026-08-05 |
| 验收报告公开载体： | https://www.****.com/gs/detail/2?id=60708xrX9v |
2、工程变动信息
项目性质
| ** | 实际建设情况：** |
| 无 | 是否属于重大变动：|
规模
| 本项目搭建半导体微纳加工研发及服务平台，平台建成后整体具备标准MOSFET器件试验制备能力，可为校内师生提供金属-氧化物半导体场效应晶体管（MOSFET）研发、试样制备试验条件，项目总设计产能2000片/年。 | 实际建设情况：本项目环评批复为整体建设项目，建设单位采取分期实施、分期验收模式推进建设，本次竣工环保验收仅针对项目一期工程开展。一期工程验收涉及规模MOSFET器件试验制备能力为1400片/年。 |
| 分期验收 | 是否属于重大变动：|
生产工艺
| 本项目的试验工艺主要为前端工艺，包括硅片氧化生长、光刻、扩散、沟槽刻蚀、去胶、沉积工艺，不涉及后端的研磨、化学机械抛光、切割等工艺。 | 实际建设情况：本项目的试验工艺主要为前端工艺，包括硅片氧化生长、光刻、扩散、沟槽刻蚀、去胶、沉积工艺，不涉及后端的研磨、化学机械抛光、切割等工艺。 |
| 无 | 是否属于重大变动：|
环保设施或环保措施
| (一)排水系统采用雨污分流。试验废水经**污水处理设施处理后与纯水制备产生的浓水、生活污水排入校区污水管网后汇入市政集污管网，****水厂集中处理。该项目生活污水依托所在建筑物已有生活污水排放口排放，设置试验废水排放口1个、清净下水排放口1个。 (二)按照**省《固定污染源挥发性有机物综合排放标准》 (DB44/2367-2022）的无组织排放控制要求落实相关措施。碱洗、显影工序产生的废气经收集至酸液喷淋塔处理；酸洗、湿法刻蚀工序产生的废气与经“等离子燃烧+水洗”装置处理后的氧化扩散、干法刻蚀、化学气相沉积、干法清洗、原子层沉积废气一并经碱液喷淋塔处理；湿法去胶、物理气相沉积前的硅片有机清洗工序与光刻的预烘烤、底漆涂覆、涂胶、前烘、曝光后烘烤、硬烘烤工序产生的废气经收集至二级活性炭吸附装置处理；上述废气经处理达标后通过专用管道引至所在建筑物楼顶高空排放。项目设置废气排放口1个。 加强车间边界无组织排放废气的监控，确保车间边界无组织排放监控点的废气达到相应标准限值的要求，监测超标时应加强对无组织排放废气的收集和净化处理。 (三)选用低噪声设备，合理布局，高噪声源应采取隔声、减振等措施，定期检修设备。 (四)酸洗废液、蚀刻废液、碱洗废液、显影废液、废光刻胶、废六甲基二硅氮烷、废三氯乙烯、废丙酮、废乙酸丁酯、废化学试剂瓶、废活性炭、废UV灯管等属于危险废物的须设置符合《危险废物贮存污染控制标准》（GB18597-2023）要求的专用贮存场所存放并委托具备危险废物处理资质的机构处理。 | 实际建设情况：废水：已全部落实，试验废水经**污水处理设施处理后与纯水制备产生的浓水、生活污水排入校区污水管网后汇入市政集污管网，****水厂集中处理。 废气：已全部落实；1.碱洗、显影工序产生的废气经收集至酸液喷淋塔处理；酸洗、湿法刻蚀工序产生的废气与经“等离子燃烧+水洗”装置处理后的氧化扩散、干法刻蚀、化学气相沉积、干法清洗、原子层沉积废气一并经碱液喷淋塔处理；湿法去胶、物理气相沉积前的硅片有机清洗工序与光刻的预烘烤、底漆涂覆、涂胶、前烘、曝光后烘烤、硬烘烤工序产生的废气经收集至二级活性炭吸附装置处理；上述废气经处理达标后通过专用管道引至所在建筑物楼顶高空排放。 已加强车间边界无组织排放废气的监控，确保车间边界无组织排放监控点的废气达到相应标准限值的要求，监测超标时应加强对无组织排放废气的收集和净化处理。 2.NMHC排放符合**省《固定污染源挥发性有机物综合排放标准》（DB44/2367-2022）表1挥发性有机物排放限值；工艺废气氨排放符合《恶臭污染物排放标准》 (GB14554-93）表2排放标准值；污水处理站废气氨、硫化氢、臭气浓度排放符合《恶臭污染物排放标准》 (GB14554-93）表1厂界新扩改建二级标准限值。其他大气污染物符合**省《大气污染物排放限值》 (DB44/27-2001）第二时段二级标准及无组织排放监控浓度限值。 噪声：已采取隔声、降噪、吸声等措施；边界噪声排放符合《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）1类区限值，即：昼间≤55dB(A），夜间≤45dB(A)。 固废：危险废物的设置符合《危险废物贮存污染控制标准》（GB18597-2023）要求的专用贮存场所存放并委托具备危险废物处理资质的机构处理。 |
| 原环评将污泥定性为一般固体废物，实际运行中废水处理设施接收的废水为含氟废水、酸碱废水和有机废水的混合体，污泥成分较单一废水处理更为复杂，可能存在氟化物富集、有机物分解中间产物残留及酸碱盐分累积等问题，具有一定的环境风险。根据《国家危险废物名录》和《危险废物鉴别标准》相关规定，本着从严管理、风险可控的原则，本次验收将废水处理污泥按危险废物管理，归类为HW49（代码900-007-49），委托具有相应资质的单位进行处置。本次调整不涉及项目生产规模、工艺路线、建设选址的变更，也不增加污染物外排总量，不属于重大变动。 | 是否属于重大变动：|
其他
| 该项目建设应严格执行配套建设的环境保护设施与主体工程同时设计、同时施工、同时投产使用的环境保护“三同时”制度，具体要求如下： (一)项目竣工后，你单位应按规定申请取得排污许可证或填报排污登记表，并按照规定的标准、程序和时限，对配套建设的环境保护设施进行验收，编制验收报告，依法向社会公开。 (二)项目配套建设的环境保护设施经验收合格后，方可投入生产或者使用。 | 实际建设情况：项目竣工后，我校已按规定申请取得排污许可证或填报排污登记表，并按照规定的标准、程序和时限，已对配套建设的环境保护设施进行验收，已对编制验收报告，依法向社会公开。 |
| 无 | 是否属于重大变动：|
3、污染物排放量
| 0 | 0.4473 | 0 | 0 | 0 | 0.447 | 0.447 | |
| 0 | 0.053 | 0 | 0 | 0 | 0.053 | 0.053 | |
| 0 | 0.001 | 0 | 0 | 0 | 0.001 | 0.001 | |
| 0 | 0.0002 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | |
| 0 | 0.015 | 0 | 0 | 0 | 0.015 | 0.015 | |
| 0 | 5493.664 | 0 | 0 | 0 | 5493.664 | 5493.664 | / |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
| 0 | 0.0313 | 0 | 0 | 0 | 0.031 | 0.031 | / |
4、环境保护设施落实情况
表1 水污染治理设施
| 1 | 自建污水处理设施（氯化钙沉淀+混凝+絮凝+沉淀） | 《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）表1水污染物排放限值中的间接排放限值 | 综****处理站处理后排放至DW001排放口 | 正常 |
表2 大气污染治理设施
| 1 | 碱液喷淋塔 | **省《大气污染物排放限值》（DB44/27-2001）（第二时段）二级标准 | 工艺废气经“等离子燃烧+水洗”处理后，与其他工序产生的酸性废气一并进入碱液喷淋塔处理 | 正常 | |
| 2 | 酸液喷淋塔 | 《恶臭污染物排放标准》（GB 155493） | 试验工序废气碱性废气系统排放的氨气经酸液喷淋塔处理达标后汇入总管引至高空排放 | 正常 | |
| 3 | 两级活性炭吸附装置 | **省《固定污染源挥发性有机物综合排放标准》（DB44/2367-2022） | 本项目有机废气收集后，经两级活性炭吸附处理达标后再合并排气筒排放。 | 正常 |
表3 噪声治理设施
| 1 | 用新型低噪设备，采取减振、隔声、吸声等措施 | 《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）的1类标准 | 噪声监测结果符合《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）的1类标准 | 正常 |
表4 地下水污染治理设施
表5 固废治理设施
| 1 | 生活垃圾统一收集后由环卫部门定时收运处理。一般固体废物收集后暂存在一般工业固废区域，定期由有处理资质的单位收运处理。酸洗废液、蚀刻废液、碱洗废液、显影废液、废光刻胶、废六甲基二硅氮烷、废三氯乙烯、废丙酮、废乙酸丁酯、废化学试剂瓶、废活性炭、废UV灯管等属于危险废物的须设置符合《危险废物贮存污染控制标准》（GB18597-2023）要求的专用贮存场所存放并委托具备危险废物处理资质的机构处理。 | 生活垃圾统一收集后由环卫部门定时收运处理。一般固体废物收集后暂存在一般工业固废区域，定期由有处理资质的单位收运处理。危险废物酸洗废液、蚀刻废液、碱洗废液、显影废液、废光刻胶、废六甲基二硅氮烷、废三氯乙烯、废丙酮、废乙酸丁酯、废化学试剂瓶、废活性炭、废UV灯管、污泥暂存在危废暂存间，定期由有危废处置资质的单位收运处理。 |
表6 生态保护设施
表7 风险设施
5、环境保护对策措施落实情况
依托工程
| 无 | 验收阶段落实情况：无 |
| / |
环保搬迁
| 无 | 验收阶段落实情况：无 |
| / |
区域削减
| 无 | 验收阶段落实情况：无 |
| / |
生态恢复、补偿或管理
| 无 | 验收阶段落实情况：无 |
| / |
功能置换
| 无 | 验收阶段落实情况：无 |
| / |
其他
| 无 | 验收阶段落实情况：无 |
| / |
6、工程建设对项目周边环境的影响
| / |
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7、验收结论
| 1 | 未按环境影响报告书（表）及其审批部门审批决定要求建设或落实环境保护设施，或者环境保护设施未能与主体工程同时投产使用 |
| 2 | 污染物排放不符合国家和地方相关标准、环境影响报告书（表）及其审批部门审批决定或者主要污染物总量指标控制要求 |
| 3 | 环境影响报告书（表）经批准后，该建设项目的性质、规模、地点、采用的生产工艺或者防治污染、防止生态破坏的措施发生重大变动，建设单位未重新报批环境影响报告书（表）或环境影响报告书（表）未经批准 |
| 4 | 建设过程中造成重大环境污染未治理完成，或者造成重大生态破坏未恢复 |
| 5 | 纳入排污许可管理的建设项目，无证排污或不按证排污 |
| 6 | 分期建设、分期投入生产或者使用的建设项目，其环境保护设施防治环境污染和生态破坏的能力不能满足主体工程需要 |
| 7 | 建设单位因该建设项目违反国家和地方环境保护法律法规受到处罚，被责令改正，尚未改正完成 |
| 8 | 验收报告的基础资料数据明显不实，内容存在重大缺项、遗漏，或者验收结论不明确、不合理 |
| 9 | 其他环境保护法律法规规章等规定不得通过环境保护验收 |
| 不存在上述情况 | |
| 验收结论 | 合格 |
温馨提示
1.该项目指提供国家及各省发改委、环保局、规划局、住建委等部门进行的项目审批信息及进展，属于前期项目。
2.根据该项目的描述，可依据自身条件进行选择和跟进，避免错过。
3.即使该项目已建设完毕或暂缓建设，也可继续跟踪，项目可能还有其他相关后续工程与服务。
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