润新微电子氮气、氢气气体纯化器设备的征集

关于公开征集氮气、氢气气体纯化器设备的公告

一、 项目背景

为严控外延制程微污染、稳定外延片品质、提升良率与产品可靠性，保障订单交付，夯实第三代半导体供应链自主可控基础，我司计划引入氮气、氢气气体纯化器各一台，用于外延工序工艺气体深度纯化，全面优化前端供气洁净体系。现面向社会公开征集符合技术要求的设备供应商，欢迎具备资质的单位参与响应。

二、征集对象及要求

1.征集对象面向企业：已经进****公司合格供应商库的企业、尚未进****公司合格供应商库的所有符合要求的企业。

2.申请企业必须具备的基本资格要求：

（1）申请单位具有国家法定机构颁发的营业执照（提供盖公章版的复印件或扫描件）；

（2）申请单位具有增值税小规模纳税人或一般纳税人资格，能开具增值税专用发票；

3.存在下列情形的报名供应商不予通过：

（1）属于在“信用中国”网站（www.****.cn）中查明的失信被执行人；

（2）处于被责令停业，财产被接管、冻结，破产状态；

（3）最近三年（指自发布公告之日起算）有税收违法案例或严重行政处罚、情节严重的行为；

（4）单位负责人为同一人或者存在控股、管理关系的不同单位，不得同时参加本项目同一标段报价。

（5****集团、华润微电子黑名单的及在黑名单禁止**期内其法****公司，不得继续参与招投标和其他采购活动，不得新签署合同。

4.技术能力：

（1）近两年内具有同类设备供应或集成案例（需提供合同复印件及提供机台验收证明，合同价格信息可以隐藏，出售方名称、购买方名称、设备型号、设备数量必须体现），同工艺下每个外延芯片厂氮气、氢气、氨气全套供应不低于10家。

（2）拥有专业售后服务团队。

三、设备需求概述

1.设备类型：氮气气体纯化器、氢气气体纯化器

2.应用领域：硅基氮化镓外延材料

3.核心参数要求：

（1）纯化氮气、氢气流量：均为100Nm3/hr。

（2）纯化后氮气、氢气气体纯度＞9N。其中杂质浓度单项杂质：O2<0.1 ppb, H2O<0.1 ppb, CO2<0.1 ppb, CO<0.1 ppb, NMHC<0.1 ppb, Particle size: ≤1(@0.1μm)。

（3）纯化后气体出口的Particle filter: 0.003um absolute。

（4）其他关键功能：原位监测、自动化控制软件。

（5）满足进、出口手动隔离阀。

（6）氢气设备安装氢气泄露报警器。

（7）出厂前激活、产品指标测试并出具检测报告。

（8）设备过热连锁，切断动力电或停止产气。

（9）催化剂主要材料钯金属。

（10）催化剂/吸附剂承诺使用15年，若期间异常，无条件免费更换。

（11）抗原料波动能力：承诺氮气、氢气（仅吸附配置）中串入<1%的氧（即10000ppm的氧）不烧毁，能保持10分钟以上产气指标合格。

（12）断水断电产气合格：≥30分钟。

（13）运行、控制信号集中远传功能：带信号远传功能。

（14）反应器内采用金属过滤杯强度大，终生不损坏。

（15）设备交期小于≤120天。

4.配套服务要求：

（1）提供设备安装调试、操作培训及技术支持全年不低于6次。

（2）响应时间：响应速度≤24小时，以甲方通知乙方后技术人员到厂时间为准。

四、申请企业应提交资料

1.所有申请企业均应在华润守正电子招标平台（http://szecp.****.cn）完成（供应商）注册，按要求提交相关资料，注册的具体操作步骤参照附件3《华润集团守正电子招标平台-供应商注册-操作手册》。同时，申请企业需按照本征集公告中的要求，将所需资料电子版发送至指定接收邮箱。（只完成守正平台注册未按要求提交资料发送至邮件将视为报名无效）

2.电子文件：请将申请文件的电子版，通过电子邮件发送至邮箱：crmic_rxw_cg_zy@runxin.****.com；邮件主题：润新微****公司氮气及氢气气体纯化器设备公开征集+响应单位名称，报名资料需包含附件1《供应商报名登记表》、附件2《供应商资质调查表》，满足本项目征集公告中供应商资格要求的证明文件。仅以此邮箱接收的材料作为有效依据，若因各种原因导致未能接收到相关材料，或贵单位未按要求发送材料，将视为贵单位参加本次征集报名申请未获成功。

3.特别说明和提醒：

（1）上述提供资料需加盖单位公章，扫描（PDF\JPG格式）发送至指定邮箱。

（2）提供伪造、虚假资料、证件供应商，将取消参加供应商入库资格；即使入库，发现提供材料与实际不符，我司有权终止**并将供应商剔除，并追究相应法律责任和经济责任。

五、其他说明

征集单位保留对本次活动的最终解释权。

六、本公告自发布之日起，7天内有效，欢迎社会各界符合条件的伙伴积极报名，我司保留以下权利：

（1）因业务、市场或政策法规变化，随时调整、撤销或终止公告，无需担责。

（2）若公告有所调整，对于已入库的供应商，我司将依新要求完善资料，不符者将出库。

七、答疑联系方式

如对此公告有任何疑问，可联系以下人员

经办人：邹伟

电话：186****1799

邮箱：zouwei78@runxin.****.com

申请结果将以华润守正电子招标平台系统反馈为准。

若对平台操作有疑问，请联系守正平台客服，联系方式见守正平台官网首页右下角，电话：0755-****4788。

附件：

附件1：供应商报名登记表；

附件2：供应商资质调查表；

附件3：华润集团守正电子招标平台-供应商注册-操作手册。

润新微****公司