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离子注入设备研发及产业化项目

审批

天津-天津-津南区

发布时间： 2026年08月19日

项目详情

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1、建设项目基本信息

企业基本信息

建设单位名称：建设单位代码类型：建设单位机构代码：建设单位法人：建设单位联系人：建设单位所在行政区划：建设单位详细地址：

****
****0112MACKLQP1X8	CHEN WEI
田志朋	市区
市区咸水沽镇聚兴道9****中心8号楼

建设项目基本信息

项目名称：项目代码：项目类型：建设性质：行业类别（分类管理名录）：行业类别（国民经济代码）：工程性质：建设地点：中心坐标： ****机关：环评文件类型：环评批复时间：环评审批文号：本工程排污许可证编号：排污许可批准时间：项目实际总投资(万元)：项目实际环保投资(万元)：运营单位名称：运营单位组织机构代码：验收监测(调查)报告编制机构名称：验收监测(调查)报告编制机构代码：验收监测单位：验收监测单位组织机构代码：竣工时间：调试起始时间：调试结束时间：验收报告公开起始时间：验收报告公开结束时间：验收报告公开形式：验收报告公开载体：

离子注入设备研发及产业化项目

2021版本:070-采矿、冶金、建筑专用设备制造；化工、木材、非金属加工专用设备制造；食品、饮料、烟草及饲料生产专用设备制造；印刷、制药、日化及日用品生产专用设备制造；纺织、服装和皮革加工专用设备制造；电子和电工机械专用设备制造；农、林、牧、渔专用机械制造；医疗仪器设备及器械制造；环保、邮政、社会公共服务及其他专用设备制造	C3562-C3562-半导体器件专用设备制造
	市区区咸水沽镇聚兴道9**中心8号楼
经度:117.409580 纬度: 38.976220	****审批局
	2025-09-11
**审批二科〔2025〕090号	****
2025-10-21	400
38	****
****0112MACKLQP1X8	环**公司
****0116MA05J6E784	******公司
****0223MA068PHJ8R	2026-03-20
2026-03-21	2026-03-29
2026-07-21	2026-08-17
	http://www.hky-ep.com/article.php?id=1327

2、工程变动信息

项目性质

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

**项目	**项目
无

规模

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

离子注入设备组装及测试能力为24台/年。	离子注入设备组装及测试能力为24台/年。
无

生产工艺

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

基于现有机型进行研发，对设备性能进行升级，优化离子注入工艺，提高能量纯度，提高束流大小，使计算的束流角度更准确。本项目离子注入设备组装及测试能力为24台/年。	基于现有机型进行研发，对设备性能进行升级，优化离子注入工艺，提高能量纯度，提高束流大小，使计算的束流角度更准确。本项目离子注入设备组装及测试能力为24台/年。
无

环保设施或环保措施

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

1、营运期离子注入废气（氟化物）经设备配套的“干式吸附桶”处理后，无组织排放；焊接工序产生的废气（颗粒物、锡及其化合物），由配套的“局部烟尘捕集装置”收集，经配套“三级过滤设备”处理后，无组织排放。未被收集的废气，厂界无组织达标排放。 2、营运期产生的生活污水经化肥池沉淀后，与设备冷却纯水、软水制备反冲洗水一并经市政污水管**处理厂集中处理。 3、营运期优选低噪声设备、经基础减振、厂房隔声和距离衰减后厂界达标排放。 4、营运期产生**物资部门回收处理；离子交换树脂、废滤芯、废晶圆交由厂家回收处理；生活垃圾交由城管委分类收集后定期清运。 5、依环评报告结论，本项目产生的废吸附材料属于危险废物，厂内需设置符合《危险废物贮存污染控制标准》的贮存场所，并定期委托有资质的单位进行处理。	1、离子注入废气经设备配套的“干式吸附桶”处理后，无组织排放；焊接工序产生的废气（颗粒物、锡及其化合物），由配套的“局部烟尘捕集装置”收集，经配套“三级过滤设备”处理后，无组织排放。厂界各污染物能够达标排放。 2、生活污水经化肥池沉淀后，与设备冷却纯水、软水制备反冲洗水一并经市政污水管**处理厂集中处理。 3、选择了低噪声设备、经基础减振、厂房隔声和距离衰减后厂界能够达标排放。 4、**物资部门回收处理；离子交换树脂、废滤芯、废晶圆交由厂家回收处理；生活垃圾交由城管委分类收集后定期清运。 5、废吸附材料属于危险废物，厂内设置了符合《危险废物贮存污染控制标准》的危险废物暂存间，并定期委托有资质的单位进行处理。
因设备测试实际需求，离子注入过程新增了砷化氢和磷化氢使用，尾气经配套干式吸附桶处理后，无组织排放。但由于砷化氢和磷化氢没有排放标准，因此本项目不属于重大变更。

其他

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

**环保局文件津环保监理[2002]71号《关于加强我是排污口规范化整治工作的通知》、津环保监理[2007]57号“关于发布《市污染源排放口规范化技术要求》的通知”要求，落实排污口规范化工作。	企业按相关要求落实了排污口规范化工作。
无

3、污染物排放量

污染物现有工程（已建成的）本工程（本期建设的）总体工程总体工程（现有工程+本工程）排放方式实际排放量实际排放量许可排放量 “以新带老”削减量区域平衡替代本工程削减量实际排放总量排放增减量废水水量（万吨/年） COD（吨/年）氨氮（吨/年）总磷（吨/年）总氮（吨/年）废气气量（万立方米/年）二氧化硫（吨/年）氮氧化物（吨/年）颗粒物（吨/年）挥发性有机物（吨/年）

0	0	0	0
0.0918	0.33	0.092	0.092
0.006	0.0297	0.006	0.006
0.0015	0	0.002	0.002
0	0	0	0
0	0	0	0	/
0	0	0	0	/
0	0	0	0	/
0	0	0	0	/
0	0	0	0	/

4、环境保护设施落实情况

表1 水污染治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

进入市政污水管网

《污水综合排放标准》（DB12/356-2018）间接排放标准限值

进入市政污水管网

外排污水能够满足《污水综合排放标准》（DB12/356-2018）间接排放标准限值要求

表2 大气污染治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

1	离子注入尾气进入配套干式吸附桶处理，无组织排放	《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2中无组织标准限值	离子注入尾气进入配套干式吸附桶处理，无组织排放	达标
2	焊接烟尘经配套过滤装置处理，在车间无组织释放	《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2中无组织标准限值	焊接烟尘经配套过滤装置处理，在车间无组织释放	达标

表3 噪声治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

基础减振、厂房隔声等

《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）3类标准

基础减振、厂房隔声等

达标

表4 地下水污染治理设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

表5 固废治理设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

1	****物资部门回收处理；离子交换树脂、废滤芯、废晶圆交由厂家回收处理；生活垃圾交由城管委分类收集后定期清运。	与环评文件和批复要求一致
2	废吸附材料属于危险废物，厂内需设置符合《危险废物贮存污染控制标准》的贮存场所，并定期委托有资质的单位进行处理。	与环评文件及批复要求一致

表6 生态保护设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

表7 风险设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

车间内安装有毒气体泄漏检测装置，配套消防设施。

设置有毒气体泄漏报警装置，厂内配急救箱、防毒面罩、铅衣、灭火器、消防栓等应急风险物资。

5、环境保护对策措施落实情况

依托工程