| 2026-08-20 17:22 根据建设项目环境影响评价审批程序的有关规定,经审查,对以下建设项目环境影响评价文件作出审批决定,现将作出的审批决定的情况予以公告,公告期即日起7天。 行政复议与行政诉讼权利告知:依据《中华人民**国行政复议法》和《中华人民**国行政诉讼法》,公民、法人或者其他组织认为公告的建设项目环境影响评价文件审批决定侵犯其合法权益的,可以自公告期限届满之日起六十日内提起行政复议,也可以自公告期限届满之日起六个月内提起行政诉讼。 联系电话:0514-****1527 传真:0514-****1505 通讯地址:**市扬子江中路188号 邮编:225000 扬开管环审〔2026〕36号 项目代码:**** 关于扬****公司年产180万片5英寸半导体器件芯片生产线扩产技术改造生态环境影响报告表的批复 扬****公司: 你公司报送的《扬****公司年产180 万片5英寸半导体器件芯片生产线扩产技术改造生态环境影响报告表(含大气专项、风险专项)》(以下简称《报告表》)收悉。在**美境****公司对《报告表》进行技术评估的基础上,依据《中华人民**国生态环境法典》《建设项目环境保护管理条例》等相关法律法规,经审查,现批复如下: 一、你公司****开发区扬子津街道鸿大路29号现有厂区内实施本扩产技术改造项目,项目总投资10000万元,不新增建设用地,依托现有厂房购置光刻机、刻蚀机、离子注入机、扩散炉、CVD 炉等半导体专用生产及检测设备,将5英寸半导体器件芯片产能由36万片/年提升至180万片/年。****公司委托****编制的《报告表》结论及技术评估意见,结合扬子津街道向****提交的《关于恳请协调环评审批手续相关问题的请示》(扬开津发〔2026〕6 ****开发区资规部门会办意见:该企业用地暂未列入拆迁改造计划,同意按现有土地使用功能(工业用途)办理相关环评手续。本项目属于C3972半导体分立器件制造,对照《产业结构调整指导目录(2024 年本)》属鼓励类范畴,不属于国家、地方产业限制、淘汰类;项目不涉及生态保护红线、饮用水水源保护区,符合开发区发展规划及**省生态空间管控区域规划管控要求;如后期规划实施,企业服从规划调整,按要求进行搬迁或关闭。项目此前因产能提升、产品规格调整未及时履行环评手续,****环境局依法出具《责令改正违法行为决定书》(扬环改字〔2026〕010 号)责令改正,本次为完善环保手续报批,同步落实“以新带老”整改措施;在全面落实废水、废气、噪声、固废治理、地下水土壤防控、环境风险各项措施及整改要求后,各类污染物可稳定达标排放,环境风险可控,仅从环保角度分析,本项目具备环境可行性,原则同意《报告表》评价结论。 二、你公司应当严格落实生态环境保护主体责任,对《报告表》的内容和结论负责,在项目整改、生产运行全过程,严格按照《报告表》中各项环保要求,全面落实各项污染防治措施,确保污染物稳定达标排放,符合总量控制要求,并重点落实以下工作: (一)严格执行“清污分流、雨污分流、分类收集、分质处理”制度。项目研磨废水经沉砂池+超滤系统处理后回用于纯水制备,不外排;酸碱废水、重金属废水先经“中和调节+混凝沉淀”预处理设施处理,确保镍、银、铬等第一类污染物车间排口稳定达标,再与清洗废水、喷淋废水、初期雨水****处理站,采用“中和调节+三级混凝沉淀”工艺深度处理;锯片废水经沉砂池预处理;生活污水经化粪池预处理、食堂废水经隔油设施预处理后,与纯水制备浓水、循环冷却排水一并接入市政管网,项目生产废水接管可行性已经专家技术评审论证,经厂区预处理达标后接入****处理厂稳定运行及出水达标,近期****处理厂集中处置,远期管网完善后接****处理厂(二期)。废水接管执行《半导体行业污染物排放标准》(DB32/3747-2020)表1水污染物排放限值,动植物油执行《污水综合排放标准》(GB8978-1996)表 4 三级标准,氟化物、镍、银、铬接管浓度执行《****处理厂污染物排放标准》(DB32/4440-2022)表3、表4特征控制项目日均排放限值。厂区雨水、污水排口设置手自一体应急切断阀门,配套 300 m3初期雨水池,依托现有事故应急池,事故废水全部截留不外排;按要求在雨污排口安装氟化物自动监控系统并与生态环境部门联网。 (二)按照“应收尽收、密闭管控”要求落实各工序废气收集治理。光刻、刻蚀、减薄有机废气及 TO 炉天然气燃烧废气经三级干式过滤+沸石转轮吸附+TO 燃烧装置处理,由25m高 DA001排气筒排放;酸洗、碱洗、漂洗、减薄、湿法腐蚀等酸碱废气分别经4套一级碱液喷淋塔处理,由25m高 DA002、DA003、DA004、DA006排气筒排放;危废库有机废气经二级活性炭吸附装置处理,由15m高DA005排气筒排放;刻蚀、扩散、离子注入等特殊废气经设备自带燃烧装置处置后与酸碱废气配套一级碱喷淋塔处理,由25m高 DA007排气筒排放;污水处理站废气经密闭负压收集+碱喷淋塔处理,由15m高 DA008排气筒排放。有组织废气非甲烷总烃、异丙醇、氯化氢、硫酸雾、氟化物、氮氧化物、氨、氯气、磷化氢、颗粒物、甲醛等执行《半导体行业污染物排放标准》(DB32/3747-2020)表3;酚类、TO 炉燃烧废气执行《大气污染物综合排放标准》(DB32/4041-2021)表1;乙酸、磷酸雾参照执行**市《大气污染物综合排放标准》(DB31/933-2025)对应限值。厂区内无组织VOCs执行 DB32/4041-2021表2,厂界无组织执行 DB32/3747-2020 表4、DB32/4041-2021 表 3。项目实施后全厂以1#生产车间、2#生产车间、测试车间、污水处理站和危废库边界设置100米的卫生防护距离,防护距离范围内不得规划**住宅、学校、医院等环境敏感目标。建立化学品泄漏检测修复台账,活性炭、喷淋药剂定期更换并留存运维记录,废活性炭、废滤材全部按危险废物管理。 (三)本项目光刻机、刻蚀机、风机、空压机、冷却塔等高噪声设备选用低噪声型号,风机配套消声器,高噪设备加装减振基座,厂房隔声降噪,合理布局高噪设备远离厂界;施工期噪声执行《建筑施工噪声排放标准》(GB12523-2025),运营期厂界噪声稳定达到《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)3类标准。 (四)严格按照固废“减量化、**化、无害化”原则规范贮存处置。废金属屑、废包装材料、废碳滤料、废反渗透膜、废离子交换树脂等一般工业固体废物存放 100㎡一般固废库,执行 GB18599-2020,外售合规单位综合利用;生活垃圾由环卫统一清运。废酸液、废有机溶剂、废显影液、废光刻胶、废活性炭、含重金属污泥、废机油、废沸石转轮等危险废物密闭存放 240㎡防渗危废库,落实围堰、防雨、防渗措施,满足 GB18597-2023 标准;含氟污泥按规范开展属性鉴定,鉴定前按危险废物管理。所有危废委托有资质单位处置,落实**省危废全生命周期监管、电子转移联单制度,固废管理台账保存不少于五年。 (五)落实源头控制、分区防渗要求。生产车间、化学品库、污水处理站、危废库、事故池、初期雨水池划为重点防渗区,等效黏土 Mb≥6.0m,K≤1×10-7cm/s;一般固废库、动力厂房划为一般防渗区,地面硬化配套导流收集设施;常态化巡检防渗层,防止土壤、地下水污染。 (六)健全环境风险三级防控体系,严格落实大气专项、风险专项各项管控要求。特气库、化学品库、危废库、污水站等区域按规范安装有毒有害、可燃气体报警装置,配齐应急防护物资、吸附材料;废气治理设施与生产线联锁停机,事故废水全部截留进入应急池。编制突发环境事件应急预案并备案,每年至少组织一次应急演练;规范硅烷、磷烷、氯气、氢氟酸等危险化学品分区限量存放,定期开展泄漏、火灾隐患排查,切实防范环境风险。 (七)按《**省排污口设置及规范化整治管理办法》(苏环控〔1997〕122 号)规范8根工艺排气筒、厂区雨污排放口,配齐采样平台与环保标识;严格落实自行监测计划,定期监测各排气筒有组织废气、厂区及厂界无组织废气、厂界噪声、污水接管水质。项目投产前依法变更排污许可证,严禁无证、超总量排污。 三、 本项目主要污染物总量核定: (一)大气污染物:VOCs≤5.1481t/a、颗粒物≤0.1166t/a、二氧化硫≤0.0792t/a、氮氧化物≤1.3156t/a。 (二)水污染物:项目废水总接管量 ****395t/a,接管 COD≤116.2325t/a、氨氮≤11.601t/a、总磷≤1.4246t/a、总氮≤19.8388t/a。 (三)工业固体废物全部综合利用或无害化处置,无外排。 四、****处理站升级改造、多套废气治理设施、危废库、应急池、特气系统等环境治理、风险防控设施建设、运行、维护的责任主体,定期对半导体生产涉危涉毒单元开展环境风险辨识,完善运维管理制度,保障治理设施长期稳定有效运行。 五、你公司应依据《中华人民**国生态环境法典》关于信息公开与公众参与相关规定,落实项目全周期环境信息公开工作,除依法不予公开内容外,及时公开相关环境信息,保障公众环境知情权。 六、本项目消防、特种设备、危化品储存、安全生产等相关手续须另行对应主管部门办理。 七、项目建设必须严格执行环保“三同时”制度。项目全部整改完成后,你公司按照《建设项目竣工环境保护验收暂行办法》(国环规环评〔2017〕4 号)组织竣工环保验收,验收合格后方可正式投产。 八、依法履行环境保护各项法定责任与义务。 九、你公司同步落实安全生产风险辨识、防火防爆及有毒有害气体防范措施,依规办理安全相关手续。 十、建设项目的性质、规模、地点、采用的生产工艺或者防治污染、防止生态破坏的措施等发生重大变动的,应重新报批生态环境影响评价文件。自批准之日起,如超过五年才开工建设的,应当在开工前将生态环境影响评价文件重新报审。 十一、你公司应在收到本批复后20个工作日内,将批复后的生态环境影响报告表分送**市****执法局、****开发区****环境局,并按规定接受各级环境保护主管部门的监督检查。 **** 2026年8月20日 |