| 2026-08-20 17:22 根据建设项目环境影响评价审批程序的有关规定,经审查,对以下建设项目环境影响评价文件作出审批决定,现将作出的审批决定的情况予以公告,公告期即日起7天。 行政复议与行政诉讼权利告知:依据《中华人民**国行政复议法》和《中华人民**国行政诉讼法》,公民、法人或者其他组织认为公告的建设项目环境影响评价文件审批决定侵犯其合法权益的,可以自公告期限届满之日起六十日内提起行政复议,也可以自公告期限届满之日起六个月内提起行政诉讼。 联系电话:0514-****1527 传真:0514-****1505 通讯地址:**市扬子江中路188号 邮编:225000 扬开管环审〔2026〕35号 项目代码:**** 关于**中芯晶****公司年产100 万片4英寸升级为5英寸半导体器件芯片生产线技术改造生态环境影响报告表的批复 **中芯晶****公司: 你公司报送的《**中芯晶****公司年产100万片4英寸升级为5英寸半导体器件芯片生产线技术改造生态环境影响报告表》(以下简称《报告表》)收悉。在**美境****公司对《报告表》进行技术评估的基础上,依据《中华人民**国生态环境法典》《建设项目环境保护管理条例》等相关法律法规,经审查,现批复如下: 一、 你公司****开发区扬子津街道鸿大路29号现有厂区内实施本技术改造项目,项目总投资7000万元,不新增建设用地,依托现有租赁厂房对生产线进行升级改造,将原有36万片/年4英寸半导体芯片产能调整为年产24万片4英寸、76万片5英寸半导体器件芯片,全厂总产能100万片/年。****公司委托****编制的《报告表》结论及技术评估意见,结合扬子津街道向****提交的《关于恳请协调环评审批手续相关问题的请示》(扬开津发〔2026〕5****开发区资规部门会办意见:该企业用地暂未列入拆迁改造计划,同意按现有土地使用功能(工业用途)办理相关环评手续。本项目属于C3972半导体分立器件制造,对照《产业结构调整指导目录(2024年本)》属鼓励类范畴,不属于国家、地方产业限制、淘汰类;项目不涉及生态保护红线、饮用水水源保护区,符合开发区发展规划及**省生态空间管控区域规划管控要求;如后期规划实施,企业服从规划调整,按要求进行搬迁或关闭。项目此前因产能提升、产品规格调整未及时履行环评手续,****环境局依法出具《责令改正违法行为决定书》(扬环改字〔2026〕011号)责令改正,本次为完善环保手续报批,同步落实“以新带老”整改措施;在全面落实废水、废气、噪声、固废治理、地下水土壤防控、环境风险各项措施及整改要求后,各类污染物可稳定达标排放,环境风险可控,仅从环保角度分析,本项目具备环境可行性,原则同意《报告表》评价结论。 二、 你公司应当严格落实生态环境保护主体责任,对《报告表》的内容和结论负责,在项目整改、生产运行全过程,严格按照《报告表》中各项环保要求,全面落实各项污染防治及“以新带老” 整改措施,确保污染物稳定达标排放,符合总量控制要求,并重点落实以下工作: (一)严格执行“清污分流、雨污分流、分类收集、分质处理”制度。项目研磨废水经预处理+超滤系统处理后回用于纯水制备,不外排;重金属废水先经车间污水处理设施(pH 调节+二级化学沉淀)预处理,确保镍、银等第一类污染物车间排口稳定达标;含氟废水、喷淋塔废水采用中和调节+三级物化工艺深度处理;酸碱废水、清洗废水、树脂再生废水、初期雨水****处理站,采用中和调节+混凝沉淀工艺处理;生活污水经化粪池预处理后,与纯水制备浓水一并接入市政管网,项目生产废水接管可行性已经专家技术评审论证,经厂区预处理达标后接入****处理厂稳定运行及出水达标,近期****处理厂集中处置,远期管网完善后接****处理厂(二期)。废水接管执行《半导体行业污染物排放标准》(DB32/3747-2020)表 1水污染物排放限值,氟化物、总镍、总银接管浓度执行《****处理厂污染物排放标准》(DB32/4440-2022)表4特征控制项目日均排放限值。厂区雨水、污水排口设置手自一体应急切断阀门,配套建设330 m3初期雨水池、400 m3事故应急池,事故废水全部截留不外排;按要求在雨污排口安装氟化物自动监控系统并与生态环境部门联网。 (二)按照“应收尽收、密闭管控”要求落实各工序废气收集治理。酸洗、刻蚀、腐蚀等酸碱废气,经水喷淋+碱喷淋塔处理,15m高排放;扩散、离子注入、沉积等特殊废气,经设备自带燃烧装置+二级碱喷淋塔处理,25m高排放;光刻、清洗、前处理有机废气及天然气燃烧废气,经三级干式过滤+沸石转轮+TO燃烧装置处理,15m高排放;正/背面金属化前酸洗氟化物废气,经二级碱喷淋塔处理,15m高排放;污水处理站废气,经二级碱液喷淋塔处理,15m高排放;危废库有机废气,经二级活性炭吸附装置处理,15m 高排放。有组织废气非甲烷总烃、硫酸雾、氯化氢、氟化物、氨气、氯气、磷化氢、颗粒物等执行《半导体行业污染物排放标准》(DB32/3747-2020)表3;磷酸雾、乙酸、酚类参照执行**市《大气污染物综合排放标准》(DB31/933-2025)对应限值;天然气燃烧废气二氧化硫、氮氧化物、颗粒物执行《大气污染物综合排放标准》(DB32/4041-2021)表1;污水处理站氨、硫化氢排放速率执行《恶臭污染物排放标准》(GB14554-93)表2。厂区内无组织VOCs执行 DB32/4041-2021 表2,厂界无组织执行DB32/3747-2020 表4、DB32/4041-2021 表3、《恶臭污染物排放标准》表1。本项目全厂设置以1#生产车间边界100米、污水处理站边界50米和危废库边界50米的卫生防护距离,防护距离范围内不得规划**住宅、学校、医院等环境敏感目标。建立化学品泄漏检测修复台账,活性炭、喷淋药剂定期更换并留存运维记录,废活性炭、废滤材全部按危险废物管理。 (三)本项目扩散炉、光刻机、刻蚀机、空压机、冷却塔等高噪声设备选用低噪声型号,配套减振基座、消声器,厂房墙体隔声降噪,合理布局高噪设备远离厂界;运营期厂界噪声稳定达到《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)3 类标准。 (四)严格按照固废“减量化、**化、无害化”原则规范贮存处置。废滤芯、废包装材料、废金属屑等一般工业固体废物存放于180㎡一般固废库,执行 GB18599-2020,外售合规单位综合利用;生活垃圾由环卫统一清运。废酸液、废有机溶剂、废显影液、废光刻胶、废光刻版、废活性炭、废沸石转轮、含重金属污泥、废机油(含桶)等危险废物密闭存放于390㎡防渗危废库,满足 GB18597-2023 防渗、防雨、防漏等要求;含氟污泥按规范开展属性鉴定,鉴定前按危险废物管理。所有危废委托有资质单位处置,落实**省危废全生命周期监管、电子转移联单制度,固废管理台账保存不少于五年。 (五)落实源头控制、分区防渗要求。生产车间、化剂库、中转库、污水处理站、危废库、事故池、初期雨水池划为重点防渗区,等效黏土Mb≥6.0m,K≤1×10-7cm/s;一般固废库、动力厂房等划为一般防渗区,地面硬化配套导流收集设施;常态化巡检防渗层,防止土壤、地下水污染。 (六)健全环境风险三级防控体系,严格落实大气专项、风险专项各项管控要求。特气库、化剂库、危废库等区域按规范安装有毒有害、可燃气体报警装置,配齐应急防护物资、吸附材料;废气治理设施与生产线联锁停机,事故废水全部截留进入应急池。修订完善突发环境事件应急预案并完成备案,每年至少组织一次应急演练;规范硅烷、磷烷、氢氟酸等危险化学品分区限量存放,定期开展泄漏、火灾隐患排查,切实防范环境风险。 (七)按《**省排污口设置及规范化整治管理办法》(苏环控〔1997〕122 号)规范 7 根工艺排气筒、厂区雨污排放口,配齐采样平台与环保标识;严格落实自行监测计划,按照《排污单位自行监测技术指南 电子工业》(HJ 1253-2022)要求,定期监测各排气筒有组织废气、厂区及厂界无组织废气、厂界噪声、污水接管水质,完整归档监测数据;项目投产前依法变更排污许可证,严禁无证、超总量排污。 三、 本项目主要污染物总量核定: (一)大气污染物:VOCs≤3.3204t/a、颗粒物≤0.1387t/a、二氧化硫≤0.0704t/a、氮氧化物≤2.0254t/a。 (二)水污染物:项目废水总接管量 638075t/a,接管 COD≤72.3053t/a、氨氮≤5.7408t/a、总磷≤1.548t/a、总氮≤17.0645t/a。 (三)工业固体废物全部综合利用或无害化处置,无外排。 四、****处理站升级改造、多套废气治理设施、危废库、应急池、特气系统等环境治理、风险防控设施建设、运行、维护的责任主体,定期对半导体生产涉危涉毒单元开展环境风险辨识,完善运维管理制度,保障治理设施长期稳定有效运行。 五、你公司应依据《中华人民**国生态环境法典》关于信息公开与公众参与相关规定,落实项目全周期环境信息公开工作,除依法不予公开内容外,及时公开相关环境信息,保障公众环境知情权。 六、本项目消防、特种设备、危化品储存、安全生产等相关手续须另行对应主管部门办理。 七、项目建设必须严格执行环保“三同时”制度。项目全部整改完成后,你公司按照《建设项目竣工环境保护验收暂行办法》(国环规环评〔2017〕4 号)组织竣工环保验收,验收合格后方可正式投产。 八、依法履行环境保护各项法定责任与义务。 九、你公司同步落实安全生产风险辨识、防火防爆及有毒有害气体防范措施,依规办理安全相关手续。 十、建设项目的性质、规模、地点、采用的生产工艺或者防治污染、防止生态破坏的措施等发生重大变动的,应重新报批生态环境影响评价文件。自批准之日起,如超过五年才开工建设的,应当在开工前将生态环境影响评价文件重新报审。 十一、你公司应在收到本批复后20个工作日内,将批复后的生态环境影响报告表分送**市****执法局、****开发区****环境局,并按规定接受各级环境保护主管部门的监督检查。 **** 2026年8月20日 |