近期,zycgr****0801发布多项仪器设备采购意向,计划采购高精度波长计、三坐标检测仪、化学机械研磨系统、感应耦合等离子体多腔刻蚀设备、电感耦合等离子体化学气相沉积系统、全自动匀胶显影系统、测厚仪(白光干涉仪)、X-RAY检测仪等仪器设备,总预算高达138158.56万元。预计采购时间2026年8月~10月。
****政府采购的初步安排,具体采购情况以zycgr****0801发布的采购公告和采购文件为准,有意向的企业可持续关注其发布的招标信息。标书代写
zycgr****0801仪器设备采购意向汇总
| 序号 |
采购项目 |
预算金额 |
预计 |
| 1 |
2.7um连续可调激光器 |
600 |
2026年8月 |
| 2 |
高精度波长计 |
145 |
|
| 3 |
干涉仪 |
149 |
|
| 4 |
主被动隔振平台 |
130 |
|
| 5 |
自动锲焊机 |
126 |
|
| 6 |
临时键合、解键合系统 |
15000 |
|
| 7 |
低温铟蒸发系统 |
1177.44 |
|
| 8 |
2 um 激光器 |
110 |
|
| 9 |
高精度波长计 |
120 |
|
| 10 |
2.7um连续可调激光器 |
600 |
|
| 11 |
低相噪微波信号发生器 |
654.93 |
|
| 12 |
三轴高速加工机床 |
777.3 |
|
| 13 |
氩离子抛光机 |
190 |
|
| 14 |
EDS检测机 |
238.6 |
|
| 15 |
三坐标检测仪 |
120 |
|
| 16 |
激光焊接机 |
154 |
|
| 17 |
激光辅助刻蚀 |
385 |
|
| 18 |
化学机械研磨系统 |
8400 |
|
| 19 |
封装键合系统 |
200 |
|
| 20 |
全自动单片湿法清洗及刻蚀系统 |
6160 |
|
| 21 |
隔离化学机械研磨机(CMP) |
4385.2 |
|
| 22 |
自动光学检测设备 |
2800 |
|
| 23 |
热成像线路全局检测系统 |
600 |
|
| 24 |
无损探针台 |
2000 |
|
| 25 |
激光修复与退火仪器 |
1500 |
|
| 26 |
切片机 |
300 |
|
| 27 |
FC贴片机器 |
2645 |
|
| 28 |
自动激光打标系统 |
200 |
|
| 29 |
片盒清洗系统 |
500 |
|
| 30 |
晶圆研磨机 |
2820 |
|
| 31 |
感应耦合等离子体多腔刻蚀设备 |
9694 |
|
| 32 |
自动干法去胶系统 |
1500 |
|
| 33 |
反应离子刻蚀机(RIE) |
3462 |
|
| 34 |
湿法刻蚀机 |
1661 |
|
| 35 |
单用途刻蚀机 |
4722 |
|
| 36 |
原子层沉积系统 |
5385 |
|
| 37 |
电感耦合等离子体化学气相沉积系统(ICPPECVD) |
5250 |
|
| 38 |
多腔体级联薄膜生长系统 |
6470.75 |
|
| 39 |
超高真空多腔室超导薄膜磁控溅射系统 |
3500 |
|
| 40 |
低温铟蒸发系统 |
1650 |
|
| 41 |
低气压等离子体增强化学气相沉积系统 |
1750 |
|
| 42 |
隔离原子层沉积系统 |
1403.9 |
|
| 43 |
电镀/阳极氧化系统 |
1800 |
|
| 44 |
全自动匀胶显影系统 |
4800 |
|
| 45 |
干涉仪 |
400 |
|
| 46 |
光学平台 |
140 |
|
| 47 |
示波器 |
112 |
|
| 48 |
高精度平移台 |
192 |
|
| 49 |
光纤激光放大器 |
148.8 |
|
| 50 |
自动耦合系统 |
398.8 |
|
| 51 |
电光调制器 |
250 |
|
| 52 |
低振动低温制冷机 低温恒温器 |
253.88 |
|
| 53 |
激光器 |
640 |
|
| 54 |
高速贴片机 |
120 |
|
| 55 |
三轴加工机床 |
130 |
|
| 56 |
离子迁移测试机 |
109.8 |
|
| 57 |
AVI外观检查机 |
255.75 |
|
| 58 |
水平连续填孔镀铜线 |
800 |
|
| 59 |
氮气烤箱 |
110 |
|
| 60 |
覆盖膜贴合机 |
115 |
|
| 61 |
水平沉铜线 |
243.33 |
|
| 62 |
除胶线 |
105.24 |
|
| 63 |
测厚仪(白光干涉仪) |
230 |
|
| 64 |
RTR双面压膜机 |
126 |
|
| 65 |
覆盖膜前处理线(RTR) |
150 |
|
| 66 |
外层显影蚀刻连退膜线 |
224 |
|
| 67 |
黑影线 |
182 |
|
| 68 |
内层显影蚀刻连退膜线 |
144 |
|
| 69 |
矢量网络分析仪 |
179.4 |
|
| 70 |
X-RAY检测仪 |
148 |
|
| 71 |
传压机 |
450 |
|
| 72 |
棕化线和对应设备控制软件 |
120 |
|
| 73 |
4K探针测试台 |
122.7 |
|
| 74 |
7位半高精度电源 |
113.4 |
|
| 75 |
8位半高精度万用表 |
234 |
|
| 76 |
高速探杆 |
589.4 |
|
| 77 |
杜瓦罐 |
240 |
|
| 78 |
稀释制冷机 |
679.04 |
|
| 79 |
量子处理器测控电路 |
1437.2 |
|
| 80 |
5GHz实时示波器 |
290 |
|
| 81 |
13GHz实时示波器 |
104 |
|
| 82 |
网络分析仪 |
178.22 |
|
| 83 |
40G微波源 |
276.5 |
|
| 84 |
4K闭环真空探针台 |
122.7 |
|
| 85 |
脉管制冷4K测试台 |
483.5 |
|
| 86 |
二次电源、离子泵驱动与光电倍增模块 |
1440 |
2026年9月 |
| 87 |
130nm SOI CMOS NTO流片 |
178 |
|
| 88 |
射频放大器 |
450 |
|
| 89 |
合路器 |
250 |
|
| 90 |
互联线缆 |
200 |
|
| 91 |
滤波器 |
240 |
|
| 92 |
通信模块 |
400 |
|
| 93 |
测控系统(100比特) |
1437.2 |
|
| 94 |
一体化测控SIP |
1350 |
|
| 95 |
稀释制冷机 |
12345.18 |
|
| 96 |
脉管制冷机 |
193.4 |
|
| 97 |
28nm工程批流片 |
1200 |
|
| 98 |
MPW流片 |
450 |
|
| 99 |
高速高幅度脉冲驱动芯片 |
200 |
|
| 100 |
光谱放大模块 |
240 |
2026年10月 |
| 合计 |
138158.56 |
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