首页 /超精密半导体及连续式PVD设备产业化项目

超精密半导体及连续式PVD设备产业化项目

审批

广东-东莞

发布时间： 2026年08月21日

项目详情

下文中****为隐藏内容，仅对千里马会员开放，如需查看完整内容请或拨打咨询热线： 400-688-2000

环评拟审批情况详细

受理号(号)	****
项目名称	超精密半导体及连续式PVD设备产业化项目
建设地点	市湖高新区北部片区（松**开发区）
建设单位	****
环境影响评价机构	******公司
项目概况	**拟投资76000万元于市湖高新区北部片区（松****开发区）建设超精密半导体及连续式PVD设备产业化项目，厂区中心坐标：东经113°53′59.408″，北纬22°58′8.691″；项目占地面积为87484.79m2，建筑面积为52697m2。项目主要从事超精密光学镀膜设备、TGV微孔镀膜设备、连续式镀膜设备的加工生产，年加工生产超精密光学镀膜设备30台、TGV微孔镀膜设备10台、连续式镀膜设备10台。
主要环境影响及预防或者减轻不良环境影响的对策和措施	①环境空气影响评价结论项目腔体铆焊、焊接工序颗粒物、锰及其化合物产生量较少，呈无组织排放，颗粒物、锰及其化合物无组织排放满足省《大气污染物排放限值》（DB44/27-2001）第二时段无组织排放监控浓度限值要求。项目设备调试、研发测试过程氟化物和氨产生量较少，呈无组织排放，氟化物无组织排放满足省《大气污染物排放限值》（DB44/27-2001）第二时段无组织排放监控浓度限值要求，氨无组织排放满足《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）表1恶臭污染物厂界标准值（新扩改建）二级标准要求。项目打磨、拉丝、抛光、磨抛、喷砂工序产生的颗粒物收集后采用一套水喷淋装置处理后经15m高排气筒DA001排放，少部分未被收集的废气无组织排放。颗粒物有组织排放满足省《大气污染物排放限值》（DB44/27-2001）第二时段二级标准要求，无组织排放满足省《大气污染物排放限值》（DB44/27-2001）第二时段无组织排放监控浓度限值要求。项目酸蚀、酸洗过程产生的酸雾废气收集后采用两套碱液喷淋装置处理后经15m高排气筒DA002、DA003排放，少部分未被收集的废气无组织排放。氮氧化物、氟化物有组织排放满足省《大气污染物排放限值》（DB44/27-2001）第二时段二级标准要求，无组织排放满足省《大气污染物排放限值》（DB44/27-2001）第二时段无组织排放监控浓度限值要求。项目燃气式蒸汽发生器燃烧废气收集后经18m高排气筒DA004排放，烟气黑度排放满足省《锅炉大气污染物排放标准》（DB44/765-2019）表2锅炉大气污染物排放浓度限值要求，二氧化硫、氮氧化物和颗粒物排放满足省《锅炉大气污染物排放标准》（DB44/765-2019）表3大气污染物特别排放限值要求。处理站产生的恶臭废气无组织排放满足《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）表1恶臭污染物厂界标准值（新扩改建）二级标准要求。项目备用发电机尾气排放满足省《大气污染物排放限值》（DB44/27-2001）第二时段二级标准要求。项目产生的厨房油烟收集后经油烟净化装置进行处理后高空排放，排放浓度符合《饮食业油烟排放标准（试行）》（GB18483-2001）大型规模标准限值要求。 ②水环境影响评价结论及污染防治措施项目含镍铬废水收集后经单独的含镍铬废水处理系统处理后回用于纯水制备系统，浓缩液作为危险废物交有资质单位处理，含镍铬废水不外排。不含镍**处理站处理后达到省《水污染物排放限值》（DB44/26-2001）第二时段三级标准及《污水排入城镇下水道水质标准》（GB/T 31962-2015）B级标准的较严值要求后经市政管网引至****处理厂处理，50%经处理后达到《城市污水再生利用工业用水水质》（GB/T 19923-2024）中“间冷开式循环冷却水补充水、锅炉补给水、工艺用水、产品用水”限值要求，回用于冷却塔、喷淋塔和蒸汽发生器补水；外排生产废水对**处理厂的水量、水质造成的冲击和影响较小；冷却水循环使用不外排；基本不会对周围水环境产生影响。 ③声环境影响评价结论项目的主要噪声为生产设备产生的噪声，经采取必要的基础减振、隔声措施后，项目东南侧、西南侧和西北侧厂界噪声可满足《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）3类标准要求，东北侧厂界噪声可满足《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）4类标准要求，对周围声环境影响较小。 ④固体废弃物影响评价结论项目产生的固废主要为生活垃圾、一般工业固体废物和危险废物。项目生活垃圾采用垃圾桶收集后交由环卫部门处理；一般工业固体废物**公司回收处理，危险废物收集后交有危险废物处理资质单位处理。采取上述措施后，项目固废不外排，对周围环境影响较小。
公众参与情况	无
相关环保措施承诺	严格落实环评文件中的各项环保措施，确保达标排放，并落实风险防范措施，将环境风险降低到可接受水平。
公示时间	2026-08-21
联系人	**环境局**分局
联系电话	****0039
通讯地址	**园区红棉路6**科技园10号楼228
初步审查意见	根据《中华人民**国生态环境法典》、《建设项目环境保护管理条例》、《建设项目环境影响评价分类管理名录》、《建设项目环境影响报告书（表）编制监督管理办法》以及环境影响评价有关技术导则、建设项目环境影响评价审批程序等有关规定，我局对该建设项目的环境影响评价文件等材料进行审查，对该建设项目环境影响评价文件作出拟批准的审批意见。
备注	为体现公开、公正的原则，维护公众环境权益，现拟作出审批意见的环境影响评价文件基本情况予以公示，公示期五个工作日。听证告知：依据《中华人民**国行政许可法》，自公示之日五个工作日申请人、利害关系人可对以上拟作出的建设项目环境影响评价文件审批意见提出书面听证申请。

温馨提示

1.该项目指提供国家及各省发改委、环保局、规划局、住建委等部门进行的项目审批信息及进展，属于前期项目。

2.根据该项目的描述，可依据自身条件进行选择和跟进，避免错过。

3.即使该项目已建设完毕或暂缓建设，也可继续跟踪，项目可能还有其他相关后续工程与服务。

400-688-2000

欢迎来电咨询～