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高精度闪蒸成膜仪
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| 申购单主题： | 高精度闪蒸成膜仪 | 申购单位： | ****学院 | 报价类型： | 国内含税价 |
| 使用币种： | 人民币 | 公示时间： | 2026-08-26 10:41:08 | 申购备注： |
| 高精度闪蒸成膜仪 | Reeseen | PvFE-LT8B | 1 | 原厂保修，收货时由用户向生产商确认该产品为国内销售行货；如供应商提供的产品不是国内销售行货，用户有权退货 |
| 规格 |
| 1、 腔体材料： 不锈钢材质 2、 上盖材质： 上盖清洗模块/石英玻璃视窗（ 可配合原位表征） 二选一 2、 适合基片尺寸： ≤210*210mm 3、 极限真空度： 整机空载真空度可达＜2Pa （ 设备腔体真空指标， 非真空泵单独极限参数） 4、 内腔高度： 40mm 5、 抽真空能力： 10 秒到 10Pa（ 不含挥发性试剂的空载状态） 6、 抽真空速度： 抽真空速度每段可调（ 时间/压力调节可选） 7、 低温系统（ 标配） ： 5-35℃ 8、 稳压水平： 具备分段保压功能 9、 腔室氛围保护： 预留接口可接防护气源 10、 可拓展功能： 额外可配置光谱仪， 可全程实时追踪采集成膜工艺过程中吸收光谱、 荧光光谱动态变化数据（ 单独资料） 11、 特殊设计： 采用定制化热场、 气流场一体化结构设计， 有效拓宽工艺窗口 12、 工作电源： 220VAC 13、 标配油旋片泵： 电压 220VAC/2.2kW（ 干泵/分子泵可选） 14、 真空泵抽速： 60 立方米/小时（ 更大抽速可选） 15、 真空计范围： 0.1Pa~大气压 16、 闪蒸主机尺寸： 450mm（W）*600mm（D）*430mm（H）（ 可放入手套箱内使用） 17、 制冷机电源： 宽电压输入 220-240VAC 500W 18、 制冷机尺寸： 194mm（W）*405mm（D）*515mm（H） 19、 人机界面： 4.3 寸工业全彩触屏人机界面 |
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2026-08-27
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