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8吋多晶硅刻蚀设备采购项目评标结果公示公告

结果-候选人公示

陕西 -西安

发布时间： 2026年08月27日

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多晶硅设备采购公告

招标详情

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【中国国际招标网】

项目名称：8吋多晶硅刻蚀设备采购项目

招标项目编号：****

招标范围：01包：采购全新8吋多晶刻蚀设备1套，用于8吋线干法刻蚀工序，为实现半导体集成电路8吋硅片制造流程中的多晶硅刻蚀工艺。（设备通过电感耦合方式产生**度等离子体，以达到去除特定区域硅衬，主要用于多晶硅硅栅（poly gate）、多晶硅回刻（poly etch back）、浅沟槽隔离（STI）和硅的金属钨化物（WSix）刻蚀工艺）。

招标机构：****

招标人：****

开标时间：2026-08-24 09:30

公示开始时间：2026-08-27 13:53

评标公示截止时间：2026-08-31 23:59

中标候选人名单：

候选人排名投标商名称制造商制造商国别及地区

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中国