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金属刻蚀机
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zycgr220****22026年10至12月政府采购意向-金属刻蚀机 详细情况
| 金属刻蚀机 | |
| 项目所在采购意向： | zycgr220****22026年10至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr****1902 |
| 采购项目名称： | 金属刻蚀机 |
| 预算金额： | 1410.000000万元(人民币) |
| 采购品目： |
A****0300电子工业生产设备
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| 采购需求概况 ： |
本次采购金属刻蚀机1套，主要用于碳化硅基材，作为金属互联层图形化转移的关键设备，有选择性地去除钛铝金属层,确保金属层去除精度与侧壁形貌满足**度元器件对尺寸控制及可靠性的严格要求。金属刻蚀机1套，用于8英寸碳化硅金属互联层刻蚀，需配备4个工艺腔，能够刻蚀 Al、AlN、Ti、TiN、满足片内均匀性和片间均匀性工艺需求。
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| 预计采购时间： | 2026-10 |
| 备注： | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写
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2026-08-27
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