中国原子能科学研究院超高真空多功能镀膜系统设备采购公告

发布时间: 2026年08月27日
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****超高真空多功能镀膜系统设备采购公告
发布时间: 2026-08-27 19:34:15
@项目公告信息.项目名称@询价公告

**** -****超高真空多功能镀膜系统设备-询比采购采购公告

一、项目概况

项目编号:****
交货/服务地点:****指定地点

供货方提供的设备为全新、原厂正品、未使用过的成套设备,整体结构模块化设计,运行稳定、操作便捷、维护简单,具备高真空稳定性、工艺重复性好、安全防护完善等特点。设备所有技术参数、配置不得低于本规格书要求,未明确提及的配套零部件、辅助系统、控制软件均视为成套标配,无需采购方额外付费

序号

名称

单位

数量

主要配置要求(包括但不限于)

1

设备主机

1

1.1

主机腔室

1

-定制化超高真空腔室,腔室尺寸450mm高×410mm内径,电解抛光,304双层真空腔室

-电动升降装置,方便打开腔体上盖

-三个CF200靶接口

-室体支架及控制柜

1.2

真空系统

1

-配备国内知名品牌真空泵+分子泵+气动真空阀门系统

-极限真空:优于8×10-5Pa

1.3

真空测量

1

-三路真空测量

1.4

磁控溅射源/靶枪

1

- 4英寸(φ101.6mm)靶枪,可以镀金属膜或非金属膜层

-配置气动挡板

-配置通气装置,可进行反应溅射和低气压运行

1.5

多弧靶源/靶枪

1

-φ100mm靶枪,可以镀金属膜

-配置气动挡板

-配置通气装置,可进行反应溅射和低气压运行

1.6

气体工作系统

1

-质量流量控制计(2路)

1.7

磁控溅射电源

1

-射频电源1台-500W

-直流电源1台-5000W

1.8

多弧靶电源

1

-5000W

1.9

偏压电源

1

-5000W

1.10

温度控制及加热

1

-最高加热温度350℃,温控精度±1℃

1.11

电气控制

1

-手动,使用按钮方式

1.12

压缩气系统

1

-空压机

-φ6塑料管道、油水分离器、压力信号

1.13

循环水冷却系统

1

-冷水机(用户自备)

-不锈钢管道、φ8塑料管道、不锈钢阀门、水流信号开关

2

设备现场安装、调试、试验及运行维修

1

现场安装技术支持、调试技术支持、现场试验验证、人员培训等

3

售后技术服务

设备保修、终身维护、免费软件升级更新、后期关键工艺技术开发提供数据支撑等。

注:每套设备包括但不限于上述零部件及服务内容,随设计深度的增加,所供物项可能会有所补充

详见技术规格书

质量要求:见技术规格书

二、供应商资格要求:

1、基本资格条件:

3.1 供应商应依法设立且具备承担本采购项目的资质条件、能力和信誉:

本次采购要求供应商具有独立承担民事责任能力的在中华人民**国境内注册的法人或其他组织,具备****事业单位法人证书或其它营业登记证书。

(1)资质要求:/

(2)财务要求:/

(3)业绩要求:/

(4)信誉要求:在最近三年内未发生重大产品质量问题(以相关行业主管部门的行****机关出具的有关法律文书为准);未被 “中国执行信息公开网” 列入失信被执行人,未被 “信用中国” 列入重大税收违法失信主体;未在“信用中国”网站(www.****.cn)或各级信用信息共享平台中列入失信被执行人名单;在最近三年内投标人或其法定代表人、拟委任的项目负责人无行贿犯罪行为;****集团相关管理规定,****集团及本二级单位黑、灰名单;不存在核安全监管“两个零容忍”情形,被核安全监管部门明确停工处罚的,或即将面临停工处罚的;****管理部安全生产领域严重失信惩戒名单。

(5)承担本项目的主要人员要求:/

(6)其他要求:/

3.2 供应商不得存在下列情形之一:

(1)不同供应商之间的单位负责人为同一人,或者存在控股、管理关系;

(2)处于被责令停产停业、暂扣或者吊销执照、暂扣或者吊销许可证、吊销资质证书状态;

(3)供应商存在进入清算、被宣告破产及其他丧失履约能力的情形;

(4****集团或本二级单位年度综合考核范围的供应商,当前年度综合考核结果得分低于 60 分;未开展年度综合考核的供应商不受本条约束;

(5)与采购人存在利害关系且可能影响采购公正性的法人、其他组织或者个人的;

(6)为本采购项目提供过设计、编制技术规范和其他文件的咨询服务等;

(7)在采购与供应链一体化智能服务平台处于冻结状态;

(8)供应商未严格按照国家法律法规履行用工及社保缴纳相关义务;中标后未为本项目配备足额专业人员保障履约;

(9)供应商未承诺所提交全部资料真实、准确、有效,不存在伪造、篡改、弄虚作假行为;

(10)其他:平台将对在非招标采购流程参与项目、下载采购文件、提交报价(应答文件)过程中触发相同联系人或相同MAC地址或硬件特征码(同一环节或不同环节MAC地址或硬件特征码相同)并参与报价的供应商进行自动封禁处理,并同步暂停涉事供应商3个月内参与平台所有采购项目的权限,向其发出系统告知函。采购单位如进行调查的,供应商有义务配合调查并按要求做出回应,如供应商未按采购单位要求及时回应的,则采购单位有权根据已知资料和情况做出相关处理决定。本采购项目在评审或监督过程中发现存在串通情形,采购单位如进行调查的,供应商有义务配合调查并按要求做出回应,如供应商未按采购单位要求及时回应的,则采购单位有权根据已知资料和情况做出相关处理决定。标书代写

3.3 本次采购不接受联合体应答。

三、报名方式

本项目采取公开方式选择供应商,有意参与本项目的潜在****集团电子采购平台(https://www.****.com/)在2026年09月02日 00时00分00秒前报名参加本项目。

四、采购文件的获取标书代写

1、采购文件获取地地址:本项目不再提供纸质采购文件,参与本项目的潜在供应商****集团电子采购平台下载采购文件。标书代写

2、有意参与本项目的潜在****集团电子采购平台进行注册。注册账号审核通过后,在首页“用户登录”,输入账号及密码登录系统,依次点击→系统功能菜单→项目管理→我要报名,找到《****超高真空多功能镀膜系统设备》,点击“我要报名”,即可查看项目信息并报名参与项目。****公司审核通过后即可下载本项目采购文件。标书代写

五、应答文件/报价文件的递交

1、应答文件递交截止时间:请参与本项目的应答人在(**时间)标书代写2026年09月04日 08时00分00秒****集团电子采购平台(https://www.****.com/)登录并上传应答文件电子版。若采购方另有要求递交纸质应答文件的,请按采购方要求的时间及方式递交:。

2、提交应答文件的方式:在线上传应答文件。(若采购方另有要求递交纸质应答文件的,请按采购方要求递交,并以在线上传文件为准)

3、未在线报名、逾期上传/送达的、未上传的,采购人不予受理。

六、公告媒体

****集团电子采购平台(https://www.****.com/)发布。对于其他媒介发布的本项目公告,采购人对其准确性不承担任何责任。本次采购活动的最终解释权在****

七、联系方式

采购人:****

联系人:王先生

电话:010-****8304

****

20260827


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