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电子束蒸发台（胡武民）
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1500000.00
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***********公司企业信息
****2026年度政府采购意向公告(第105批)-电子束蒸发台（胡武民） 详细情况
| 电子束蒸发台（胡武民） | |
| 项目所在采购意向： | ****2026年度政府采购意向公告(第105批) |
| 采购单位： | **** |
| 采购项目名称： | 电子束蒸发台（胡武民） |
| 预算金额： | 150.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | |
| 采购需求概况 ： |
采购内容:电子束蒸发台（胡武民） 采购数量:1.0000套 主要功能或目标:1.极限真空：≤2×10-7torr。 2.排气速率：大气至3×10-6torr（@主阀打开≤20分钟）。 3.腔体漏率：≤5×10-5Torr/s(到达极限真空，在室温且无环境加热状态下进行测试)。 4.基板加热：最高温度250℃，温度均匀性250℃±10℃。 5.公自转行星式蒸镀 载片量：120片4英寸片 膜厚均匀性：≤±5%（膜厚5000埃，片内、片间和炉次间均需达到）。 6.单一公转蒸镀 需满足的要求:1.极限真空：≤2×10-7torr。 2.排气速率：大气至3×10-6torr（@主阀打开≤20分钟）。 3.腔体漏率：≤5×10-5Torr/s(到达极限真空，在室温且无环境加热状态下进行测试)。 4.基板加热：最高温度250℃，温度均匀性250℃±10℃。 5.公自转行星式蒸镀 载片量：120片4英寸片 膜厚均匀性：≤±5%（膜厚5000埃，片内、片间和炉次间均需达到）。 6.单一公转蒸镀
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| 预计采购时间： | 2026-10 |
| 备注： |
赣财教指[2025]7号文
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本次公开的****政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写
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2026-08-28
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