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中国电子科技集团公司第十三研究所接触光刻机设备采购评标结果公示公告(1)
招标详情
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400-688-2000
项目编号： ****
公告类型： 评标公示
截止时间： 2026-09-03 23:59:00
招标机构： 中国****公司
招标地区： **省
项目名称：****接触光刻机设备采购
招标项目编号：****
招标范围：（1）具有稳定可靠的晶圆厚度补偿系统，可对晶圆进行自调**真空吸附。 （2）通过计算机软件进行工艺参数的设定、设备的控制等。 （3）最大有效曝光范围：150mm。 （4）具备晶圆正面和背面套刻，可实现双面光刻工艺。
招标机构：中国****公司
招标人：****
开标时间：2026-08-20 13:00
公示开始时间：2026-08-31 11:24
评标公示截止时间：2026-09-03 23:59
中标候选人名单：
招标项目编号：****
招标范围：（1）具有稳定可靠的晶圆厚度补偿系统，可对晶圆进行自调**真空吸附。 （2）通过计算机软件进行工艺参数的设定、设备的控制等。 （3）最大有效曝光范围：150mm。 （4）具备晶圆正面和背面套刻，可实现双面光刻工艺。
招标机构：中国****公司
招标人：****
开标时间：2026-08-20 13:00
公示开始时间：2026-08-31 11:24
评标公示截止时间：2026-09-03 23:59
中标候选人名单：
| 1 | SUSS MicroTec Solutions GmbH Co. KG | SUSS MicroTec Solutions GmbH Co. KG | 德国 |
招标进度跟踪
2026-08-31
2026-08-31
候选人公示
中国电子科技集团公司第十三研究所接触光刻机设备采购评标结果公示公告(1)
当前信息
2026-08-17
2026-08-10
2026-07-12
2026-07-10
2026-07-10
2026-07-10
2026-06-12
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