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精密调装单元

公告-招标公告

广东 -广州

发布时间： 2026年08月31日

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申购单主题：	精密调装单元	申购单位：	****学院	报价类型：	国内含税价
使用币种：	人民币	公示时间：	2026-08-31 11:51:20	申购备注：

商品名称品牌厂商型号数量售后服务

精密调装单元

芯明天

组合

全新，质保1年，发货至用户指定地点

规格

设备清单（2套共计包含如下设备）：一、快速偏转镜片，型号：S37.T8SF，数量：2，指标参数：1.运动自由度：θx、θy 2.驱动路数：3 路独立驱动通道 3.标称行程范围（0-120V）：10mrad 4. 转角行程（0~150V）： 13.5° 5.传感类型： SGS 应变式传感 6.闭环分辨率：0.35μrad 7.闭环线性度：0.1% FS 8.闭环重复定位精度：0.02μrad；二、快速偏转镜-控制器，型号：E70.D3S-L，数量：2，指标参数：1. 3 通道 2.标称模拟输入电压范围：-1.67V～10V 3.单通道放大器带宽：10kHz 4.输出电压纹波：2.2μF 负载下单通道纹波10mV 5.传感适配类型：SGS 应变式传感器 6.传感输出纹波：10mV；三、压电陶瓷促动器，型号：PSt150/7/20VT14，数量：2，指标参数：1.标称行程（μm±10%）19 2.刚度（N/μm±20%：60 3.推/拉力N1200/200 4.静电容量μF±10%1.8 5.谐振频率（30KHz±20%）：30 6.波特率包含9600、19200、38400、115200；四、压电陶瓷促动器-控制器，型号：E53.D1S-L，数量：2，指标参数：1.单通道输出 2.模拟输入电压范围：- 1.67V～10V 3.I/O口数量：1，支持EPG.****.HLN 4.放大器带宽：10kHz 5.输出纹波：2.2μF 容性负载条件下10mVpp 6.适配传感类型： SGS 应变式传感器闭环控制；五、平移台，型号：N56.XY50E，数量：2，指标参数：1.运动自由度：X,Y 2.传感器类型：光栅传感器 3.标称行程范围：50 或 ±25 / 轴 mm 4.速度上限：3 mm/s±20% 5.分辨率：5 nm±20% 6.双向重复定位精度：0.3 μm±20% 7.最大负载（水平方向）：0.4 kg 六、平移台控制器，型号：E53.D2E-J，数量：2，指标参数：1. 控制方式：闭环伺服控制 2. 通道数：2 3. 供电输入电压：24VDC/1A（20~30V） 4. 处理器：32bit 480MHz 5. 压电连接器：DB15

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