双球差校正电镜和透射电子显微镜和冷冻聚焦离子束切割-扫描电镜系统采购项目更正公告

货物/设备/机械设备/其他机械设备

技术部分

（63分

技术指标响应
（45分）

投标人需对第五章采购需求中“5技术要求”逐条进行应答，根据各投标人响应情况进行评分。

未标注“*”的一般性条款（共114项），每有一项负偏离扣0.4分，本项最低得0分。。

正偏离不加分，全部满足招标文件要求的得45分，
注：标注*的为实质性响应指标，每有一项实质性响应指标不满足，其投标无效。

供货及安
装调试方案
（8分）

根据投标人提供的供货及安装调试方案进行评价：
供货及安装调试方案内容完整全面、合理细致，符合采购需求中的要求，可行性高，针对性强，得8分；
供货及安装调试方案内容较完整全面，比较符合采购需求中的要求，可行性较高，针对性较强，存在轻微缺项、漏项，得6分；
供货及安装调试方案内容一般、可行性和针对性一般，存在一定的缺项、漏项，得4分；
供货及安装调试方案内容简单，可行性和针对性不强，存在明显缺项、漏项，得2分；
未提供项目供货及安装调试方案，得0分。

序号

货物名称

数量

单位

备注

1

冷冻聚焦离子束切割-扫描电镜

1

套

1.1

冷冻聚焦离子束切割-扫描电镜主机

1

套

1.2

全自动纳米机械手

1

套

1.3

制样模块：铂、碳沉积源

2

套

各一套

2

EBSD采集模块

1

套

2.1

EDS能谱采集模块

1

套

2.2

TOF-SIMS模块

1

套

2.3

三维重构数据采集、分析软件

2

套

2.4

自动化样品制备软件

1

套

2.5

图像拼接软件

1

套

2.6

操作桌台

1

套

2.7

空压模块

1

台

2.8

冷却循环水模块

1

台

3

冷冻传输模块

1

套

序号

项目

采购方要求值

应答方保证值

电子枪类型

高亮高相干性电子枪，束流、信号、长期稳定性不低于冷场发射电子枪

*电子枪亮度

≥3.3*107 A/m2/sr/V

TEM 线分辨率

≤50 pm@300kV

*STEM分辨率

≤53 pm@300kV

*能量分辨率

≤0.35 eV

加速电压

40-300 kV

加速电压切换稳定时间

≤15 min

高压合轴

60/80、200、300 kV

束斑漂移

≤0.5 nm/min

*聚光镜像差校正器

校正至A5阶

用于提高HR-STEM分辨率

*物镜像差校正器

校正至A5阶

用于提高HR-STEM分辨率

STEM高分辨自动优化软件

自动修正残余像差

物镜

采用恒功率透镜设计或Enoaqua循环水方式，实现透镜控温精度、有效束流。

光阑系统

物镜光阑孔数目

≥8个

选区光阑孔数目

≥4个

挡针

配备全自动挡针

洛伦兹模式

TEM/STEM两个模式

物镜极靴间距

适配于目前商用电镜样品杆

STEM探测器附加探头功能

≥16分割（不低于SAAF探头）

*STEM探测器成像模式

HAADF、BF、ABF、DF、ADF

STEM模式图像像素

最大图像分辨率≥4096×4096 像素（1600 万像素），支持 2048×2048、1024×1024 等多档像素可选

双倾样品杆倾转角度

≥± 30°(a) / ± 29° (b)

三维重构样品杆最大倾转角度

≥±70°

样品移动范围

≥X/Y：±1; Z: ±0.200 mm

样品漂移速率

≤0.5 nm/min

一体化快速 CMOS相机

性能不低于Gatan oneview。

相机读取模式

具备原位模式

原位实验记录

支持20s缓存记忆功能

能谱分析模块

能谱仪探测器数量

≥2个

能谱仪探测器晶体面积

≥600 mm2（不低于JED-2300T 158mm2双探头））

能谱图像分辨率

4k x 4k

*能谱仪探测器能量分辨率

≤136 eV (Mn-Kα)

能谱仪探测器最大输出计数率

≥ 600 kcps

能量损失谱模块

*能量过滤器电子能量损失谱

功能包括能量过滤透射电镜成像（Energy Filtered TEM, EFTEM）和电子能量损失谱（EELS）分析。通过能量过滤，提高成像质量，尤其厚试样和断层成像（Tomography）的图像质量，分析材料的化学价态、电子结构、元素组成及其面分布等。

能量过滤器电子能量损失谱型号

分辨率优于0.025 eV（性能不低于Gantan 1069 K3）；

能量过滤器电子能量损失谱采谱速度

8000 谱/秒

*超快直接电子探测相机

包含1套

4D-STEM成像系统

Arina 等相机系统

Free Lens Control功能

样品任意高度下用户可以自由控制各级聚光镜电流，实现目标会聚角主动调节

图像采集模块

连续自动化连续欠焦，欠焦变化时间≤0.1s

电镜样品杆

单、双倾样品杆（各1支）

电子束超快定量控制系统

对STEM及TEM模式进行自动化电子束脉冲控制、定量调节、超快电子束闸时间分辨率≤10 ns（不低于IDES）

原位实验保护镜筒污染

具有镜筒内置自动烘烤功能，可全范围去除镜筒污染

具有冷井烘烤(ACD/CryoCircle)功能

具有编程设置Beam Shower清洗功能

STEM事件驱动模组

支持

自动带轴倾转软件

支持

Autoscript数据采集和分析模块

可以通过Python语言编程实现透射自动功能:如电子束开关、探测器进出、自动聚焦/明暗对比度、放大倍率改变、样品移动以及自动TEM/STEM图像获取、存储等等。

最新一代电镜软件及硬件控制系统；（velox及同等以上）可实现快速操作，包括光学模式设置、探测器选择以及数据采集和分析等等，可以同时快速获取多达 4 个 STEM 信号

2套图像显示终端，能流畅地实现常用功能, 包括样品移动、光束移动、放大倍数、模式切换、聚焦、合轴操作等。能非常便捷的将数据、软件各模块在两台液晶显示器之间显示

提供TEM和STEM三维重构全套相关软件及离线数据处理软件

提供EDS采集、分析相关软件及离线数据处理软件

*杆泵

干泵最大抽速3 m3/h，极限真空度0.1 mbar

离子清洗模块

等离子清洗仪，功率 0-150 W 连续可调

空压模块

配有压力计、控制阀、压力开关、进气阀和安全阀。

功耗≤0.34 kW

****工作站

机柜：[2盘位1个，铁威马、威联通、华硕或同等优质品牌]

硬盘≥20T*12

冷却循环水模块

空气增强型冷却器

序号

项目

采购方要求值

应答方保证值

*电子枪类型

场发射电子枪

*电子枪亮度

≥4.0×108 A/cm2/sr @ 200 kV

束斑漂移

≤1 nm/min

*加速电压

20-200 kV

*高压合轴

80、200 kV

加速电压稳定度

1.0 ppm/10 min

*TEM信息分辨率

≤0.12 nm

最大衍射角

≥±12 °

会聚束电子衍射（CBED）最大会聚角

≥100 mrad

衍射模式相机长度范围

14-5700 mm

物镜极靴间距

极靴间距≥5.4 mm，充分支持三维重构及原位动态分析

STEM分辨率

≤0.14 mm

STEM探测器数量

≥3个

特定功能探测器

STEM分割探测器或SEI 二次电子探测器

*STEM探测器成像模式

HAADF、BF、ADF、ABF

STEM探测器附加探头功能

≥16分割（不低于DPC/SAAF探头）

STEM模式图像像素

最大图像分辨率≥4096×4096 像素（1600 万像素），支持 2048×2048、1024×1024 等多档像素可选

双倾样品杆最大样品倾斜角度

X 向 /α 侧倾≥±30°，Y 向 /β 倾转≥±29°。

*样品移动范围

X,Y≥2mm；Z≥0.75 mm

样品台最小移动步长

≤36 nm

样品漂移（使用标准样品杆）

≤1.0 nm/min

高分辨CMOS相机像素

有效像素≥4096×4096（1600 万像素），像素尺寸 12-14 μm；支持 4096×4096、2048×2048、1024×1024 、512×512多档像素可选

相机动态范围

≥16 Bit

相机读取模式

采集速度40 fps @4k x 4k

真空系统

采用完全无油的机械泵、涡轮分子泵与离子泵构成的真空系统，以防止真空系统造成的样品污染。

电镜操作和控制

配备全自动合轴模块，可用于日常合轴与维护性系统合轴的全自动优化，以保证电子光学系统维持良好的状态，从而稳定获取高质量数据

自动带轴倾转软件

1套

能谱分析模块

能谱仪探测器数量

≥4个

能谱探测

元素分析范围B-U，能量分辨率≤136 eV

*能谱仪探测器晶体面积

≥100 mm2

能谱仪峰背比

≥4000

最大输出计数率

≥600 Kcps

图像采集模块

可进行图像定量的三维重构软件

通讯接口

GPIB通信接口，支持以太网（TCP/IP）、OPC UA或REST API等现代通信协议，****实验室信息管理系统

空压模块

配有压力计、控制阀、压力开关、进气阀和安全阀。

功耗≤0.34 kW

冷却循环水模块

冷却能力：在20°C的环境空气温度下为3.3 kW

温度稳定性：±0.05°C

水泵容量：13.6 l/min @4 bar

序号

项目

采购方要求值

应答人

保证值

离子束及辅助气体注入系统

离子源种类

液态Ga离子源或Xe离子源

离子源寿命

≥1000小时

分辨率

2.5nm @ 30 kV (采用选边法测量)

离子束加速电压

0.5 kV-30 kV

离子束流强度

1.0 pA-100 nA

电子束系统

*电子枪类型

高稳定性肖特基（ZrO/W）场发射灯丝/超高分辨浸没式复合电子枪

分辨率

0.6 nm@15 kV;1.0 nm@ 1kV:0.9 nm@1kV (电子束减速模式)

*电子束加速电压

0.35 kV-30 kV（连续可调）

电子束流强度

0.9 pA-170 nA

离子束电子束交叉点工作距

离

距离极靴

4 mm

光阑系统

全自动光阑系统，可加热自清洁

样品室

*样品室尺寸

样品室有效内径≥320 mm（扣除接口占用后）

样品台

五轴马达驱动样品台； X、Y 方向移动范围≥110mm；Z方向移动范围65 mm；倾转范围-15°至+90°；旋转：360°

最大样品高度

样品台到束交叉点85 mm

*附件/探测器接口

≥18个

真空系统

完全无油真空系统

机械干泵、磁悬浮涡轮分子泵和离子泵等构成

抽气时间

＜5分钟

气体注入系统

*2支及以上气体注入系统

Pt，C，W

沉积模块

*2种以上

Pt，C，W

探测器

*透镜内探测器

具有SE/BSE模式

*样品室红外 CCD 相机

具备样品室红外CCD相机

*集成式等离子清洗仪

具备等离子清洗仪，软件全自动控制

冷却水系统

冷却水系统

具备空压机和冷却循环水系统

自动化加工功能

纳米机械手

配有一体化的纳米机械手，电镜操作与纳米机械手协同操作，漂移精度≤100 nm/min；

纳米机械手马达驱动

马达驱动360度无限制旋转机械手，可通过冷台系统实现低温提取样品

自动化样品制备软件

可实现自动粗切、自动最终减薄和抛光、引导式样品提取与转移

软件

专业三维重构软件

可实现对切片图像的自动对中，支持统计与分析，支持多模态数据，可融合来自不同探测器的图像数据

冷冻系统

冷冻样品台旋转

可以360°旋转

冷冻样品台最低温度

≤-170℃

冷冻样品台冷却时间

从常温至工作温度的冷却时间≤20分钟

能谱EDS

*晶体面积

≥60 mm2

元素测试范围

B5～Cf 98

能量分辨率

在100,000CPS条件下Mn-Ka保证优于129eV，轻元素分辨率C-K/57eV, F-K/67eV

最大输出计数率

≥1,500,000cps

EBSD

芯片/探测技术

直接电子探测

离线条带标定和解析速度

最高20,000点每秒

离线再分析速度

≥60,000点每秒

TOF-SIMS

质谱分辨率

质谱分辨率≥800（m/z=29）

质量数范围

质量数范围1-2500

*FIB-TOF-SIMS联用

空间分辨率≤50nm；纵向图像分辨率优于20nm，同时能对H开始的轻元素进行检出分析

冷冻传输系统

样品台

360°度旋转的冷冻样品台：

可实现360°连续旋转，-4—70°倾转；保证开展复杂应用或面对复杂样品的适用性；

温度

工作温度室温至-170°C范围内任意可调可控，实际温度误差可稳定控制在1°C以内。

抽气系统

涡轮分子泵抽气系统

接口

通讯接口

GPIB通信接口，支持以太网（TCP/IP）、OPC UA或REST API等现代通信协议，****实验室信息管理系统

附件/探测器接口

附件/探测器接口≥20个（含预留接口）

数据处理系统

控制终端

可实现 4K 图像滤波处理 3.5-6 秒每帧、晶粒特征识别 7-12 秒每帧，EELS 谱成像处理 2.5-4 分钟每组，EDS 元素 Mapping 生成 5-9 分钟每张，60 张 4K 切片三维重构耗时 2-3.5 小时，高效完成冷冻 FIB-SEM 各类图像解析、成分分析与三维重构工作。

显示终端

配备双屏显示器，单屏尺寸≥24英寸，分辨率≥3840×2160

稳定系统

减震

集成式主动减震

Ups电源

配备≥6 kVA不间断电源UPS一台

冷却循环模块

循环冷水机

循环式冷水机可提供5至40°C之间的恒定连续冷却，温度稳定性高达0.1°C，采用风冷方式。

制冷能力：最高可达1100/1300瓦

空压模块

空压机

操作气动阀门和显微镜调平系统。

技术部分

（63分

技术指标响应
（48分）

投标人需对第五章采购需求中“5技术要求”逐条进行应答，根据各投标人响应情况进行评分。

标注“#”的重要条款（共16项），每有一项负偏离扣2分，本项最低得0分。

未标注“*”和“#”的一般性条款（共80项），每有一项负偏离扣0.2分，本项最低得0分。

正偏离不加分，全部满足招标文件要求的得48分，
注：标注*的为实质性响应指标，每有一项实质性响应指标不满足，其投标无效。

供货及安
装调试方案
（5分）

根据投标人提供的供货及安装调试方案进行评价：
供货及安装调试方案内容完整全面、合理细致，符合采购需求中的要求，可行性高，针对性强，得5分；
供货及安装调试方案内容较完整全面，比较符合采购需求中的要求，可行性较高，针对性较强，存在轻微缺项、漏项，得3分；
供货及安装调试方案内容一般、可行性和针对性一般，存在一定的缺项、漏项，得2分；
供货及安装调试方案内容简单，可行性和针对性不强，存在明显缺项、漏项，得1分；
未提供项目供货及安装调试方案，得0分。

序号

货物名称

数量

单位

备注

1

冷冻聚焦离子束切割-扫描电镜

1

套

1.1

冷冻聚焦离子束切割-扫描电镜主机

1

套

1.2

全自动纳米机械手

1

套

1.3

制样模块：铂、碳沉积源

2

套

各一套

2

EBSD采集模块

1

套

2.1

EDS能谱采集模块

1

套

2.2

TOF-SIMS模块

1

套

2.3

三维重构数据采集、分析软件

2

套

各一套

2.4

自动化样品制备软件

1

套

2.5

图像拼接软件

1

套

2.6

操作桌台

1

套

2.7

空压模块

1

台

2.8

冷却循环水模块

1

台

3

冷冻传输模块

1

套

序号

项目

采购方要求值

应答方保证值

*电子枪类型

高亮高相干性电子枪，束流、信号、长期稳定性不低于冷场发射电子枪

电子枪亮度

≥3.3*107 A/m2/sr/V

*TEM 线分辨率

≤50 pm@300kV

*STEM分辨率

≤53 pm@300kV

能量分辨率

≤0.35 eV

*加速电压

40-300 kV

#加速电压切换稳定时间

≤15 min

*高压合轴

60/80、200、300 kV

#束斑漂移

≤0.5 nm/min

*聚光镜像差校正器

校正至A5阶

*物镜像差校正器

校正至A5阶

STEM高分辨自动优化软件

自动修正残余像差

物镜

采用恒功率透镜设计或Enoaqua循环水方式，实现透镜控温精度、有效束流。

光阑系统

物镜光阑孔数目

≥8个

选区光阑孔数目

≥4个

挡针

配备全自动挡针

洛伦兹模式

TEM/STEM两个模式

#物镜极靴间距

适配于目前商用电镜样品杆

*STEM探测器附加探头功能

≥16分割

STEM探测器成像模式

HAADF、BF、ABF、DF、ADF

STEM模式图像像素

最大图像分辨率≥4096×4096 像素（1600 万像素），支持 2048×2048、1024×1024 等多档像素可选

双倾样品杆倾转角度

≥± 30°(a) / ± 29° (b)

三维重构样品杆最大倾转角度

≥±70°

样品移动范围

≥X/Y：±1 mm；Z: ±0.200 mm

样品漂移速率

≤0.5 nm/min

*一体化快速 CMOS相机

30-300kV电压，4,096×4,096像素，40 fps @ 4k*4k和300 fps @ 512*512读取速度

相机读取模式

具备原位模式

原位实验记录

支持20s缓存记忆功能

能谱分析模块

能谱仪探测器数量

≥2个

*能谱仪探测器晶体面积

≥600 mm2（不低于JED-2300T 158mm2双探头）

能谱图像分辨率

4k x 4k

*能谱仪探测器能量分辨率

≤136 eV (Mn-Kα)

能谱仪探测器最大输出计数率

≥ 600 kcps

能量损失谱模块

能量过滤器电子能量损失谱

功能包括能量过滤透射电镜成像（Energy Filtered TEM）和电子能量损失谱（EELS）分析。通过能量过滤，提高成像质量，尤其厚试样和断层成像（Tomography）的图像质量，分析材料的化学价态、电子结构、元素组成及其面分布等。

*能量过滤器电子能量损失谱型号

分辨率优于0.025 eV，直接探测相机，EELS数据原位采集功能，30-300 kV（60/200/300 kV合轴），Q-slit功能

#能量过滤器电子能量损失谱采谱速度

8000 谱/秒

超快直接电子探测相机

包含1套

*4D-STEM成像系统

≥55 x 55 μm像素尺寸；≤200ps事件模式；1k x 1k采集<0.5s；≥ 40000fps @ 8bit帧模式；软件连续更新

Free Lens Control功能

样品任意高度下用户可以自由控制各级聚光镜电流，实现目标会聚角主动调节

图像采集模块

连续自动化连续欠焦，欠焦变化时间≤0.1s

*电镜样品杆

单、双倾样品杆（各1支）

*电子束超快定量控制系统

对STEM及TEM模式进行自动化电子束脉冲控制、定量调节、超快电子束闸时间分辨率≤10 ns

原位实验保护镜筒污染

具有镜筒内置自动烘烤功能，可全范围去除镜筒污染

具有冷井烘烤(ACD/CryoCircle)功能

具有编程设置Beam Shower清洗功能

STEM事件驱动模组

支持

自动带轴倾转软件

支持

Autoscript数据采集和分析模块

可以通过Python语言编程实现透射自动功能:如电子束开关、探测器进出、自动聚焦/明暗对比度、放大倍率改变、样品移动以及自动TEM/STEM图像获取、存储等等。

最新一代电镜软件及硬件控制系统；（velox及同等以上）；可实现快速操作，包括光学模式设置、探测器选择以及数据采集和分析等等，可以同时快速获取多达 4 个 STEM 信号

2套图像显示终端，能流畅地实现常用功能，包括样品移动、光束移动、放大倍数、模式切换、聚焦、合轴操作等。能非常便捷的将数据、软件各模块在两台液晶显示器之间显示

提供TEM和STEM三维重构全套相关软件及离线数据处理软件

提供EDS采集、分析相关软件及离线数据处理软件

#杆泵

干泵最大抽速3 m3/h，极限真空度0.1 mbar

离子清洗模块

等离子清洗仪，功率 0-150 W 连续可调

****工作站

机柜：12盘位1个，硬盘≥ 20 T*12

空压模块

配有压力计、控制阀、压力开关、进气阀和安全阀。

功耗≤0.34 kW

冷却循环水模块

空气增强型冷却器

#原位电镜样品杆

冷冻三维重构原位电镜样品杆（1支）

序号

项目

采购方要求值

应答方保证值

*电子枪类型

场发射电子枪

*电子枪亮度

≥4.0×108 A/cm2/sr @ 200 kV

束斑漂移

≤1 nm/min

*加速电压

20-200 kV

*高压合轴

80、200 kV

加速电压稳定度

1.0 ppm/10 min

*TEM信息分辨率

≤0.12 nm

最大衍射角

≥±12 °

会聚束电子衍射（CBED）最大会聚角

≥100 mrad

衍射模式相机长度范围

14-5700 mm

#物镜极靴间距

极靴间距≥5.4 mm，充分支持三维重构及原位动态分析

*STEM分辨率

≤0.14 mm

#STEM探测器数量

≥3个

特定功能探测器

STEM分割探测器或SEI 二次电子探测器

*STEM探测器成像模式

HAADF、BF、ADF、ABF

#STEM探测器附加探头功能

≥16分割（不低于DPC/SAAF探头）

STEM模式图像像素

最大图像分辨率≥4096×4096 像素（1600 万像素），支持 2048×2048、1024×1024 等多档像素可选

*双倾样品杆最大样品倾斜角度

X 向 /α 侧倾≥±30°，Y 向 /β 倾转≥±29°。

*样品移动范围

X,Y≥2mm；Z≥0.75 mm

样品台最小移动步长

≤36 nm

样品漂移（使用标准样品杆）

≤1.0 nm/min

高分辨CMOS相机像素

有效像素≥4096×4096（1600 万像素），像素尺寸 12-14 μm；支持 4096×4096、2048×2048、1024×1024 、512×512多档像素可选

#相机动态范围

≥16 Bit

相机读取模式

采集速度40 fps @4k x 4k

真空系统

采用完全无油的机械泵、涡轮分子泵与离子泵构成的真空系统，以防止真空系统造成的样品污染。

电镜操作和控制

配备全自动合轴模块，可用于日常合轴与维护性系统合轴的全自动优化，以保证电子光学系统维持良好的状态，从而稳定获取高质量数据

自动带轴倾转软件

1套

能谱分析模块

*能谱仪探测器数量

≥4个

*能谱探测

元素分析范围B-U，能量分辨率≤136 eV

*能谱仪探测器晶体面积

≥100 mm2

能谱仪峰背比

≥4000

最大输出计数率

≥600 Kcps

*图像采集模块

可进行图像定量的三维重构软件

通讯接口

GPIB通信接口，支持以太网（TCP/IP）、OPC UA或REST API等现代通信协议，****实验室信息管理系统

空压模块

配有压力计、控制阀、压力开关、进气阀和安全阀。

功耗≤0.34 kW

冷却循环水模块

冷却能力：在20°C的环境空气温度下为3.3 kW

温度稳定性：±0.05°C

水泵容量：13.6 l/min @4 bar

序号

项目

采购方要求值

应答人

保证值

离子束及辅助气体注入系统

*离子源种类

液态Ga离子源，可选配Xe离子源

离子源寿命

≥1000小时

*分辨率

2.5nm @ 30 kV (采用选边法测量)

*离子束加速电压

0.5 kV-30 kV

*离子束流强度

1.0 pA-100 nA

电子束系统

*电子枪类型

高稳定性肖特基（ZrO/W）场发射灯丝/超高分辨浸没式复合电子枪

*分辨率

0.6 nm@15 kV;1.0 nm@ 1kV:0.9 nm@1kV (电子束减速模式)

#电子束加速电压

0.35 kV-30 kV（连续可调）

*电子束流强度

0.9 pA-170 nA

离子束电子束交叉点工作距离

*距离极靴

≤4 mm

光阑系统

全自动光阑系统，可加热自清洁

样品室

样品室尺寸

样品室有效内径≥320 mm（扣除接口占用后）

*样品台

五轴马达驱动样品台； X、Y 方向移动范围≥110mm；Z方向移动范围65 mm；倾转范围-15°至+90°；旋转：360°

*最大样品高度

样品台到束交叉点85 mm

附件/探测器接口

≥18个

真空系统

完全无油真空系统

机械干泵、磁悬浮涡轮分子泵和离子泵等构成

抽气时间

＜5分钟

气体注入系统

*2支及以上气体注入系统

Pt，C，W

沉积模块

*2种以上

Pt，C，W

探测器

*透镜内探测器

具有SE/BSE模式

*样品室红外 CCD 相机

具备样品室红外CCD相机

*集成式等离子清洗仪

具备等离子清洗仪，软件全自动控制

冷却水系统

冷却水系统

具备空压机和冷却循环水系统

自动化加工功能

*纳米机械手

配有一体化的纳米机械手，电镜操作与纳米机械手协同操作，漂移精度≤100 nm/min；

#纳米机械手马达驱动

马达驱动360度无限制旋转机械手，可通过冷台系统实现低温提取样品

*自动化样品制备软件

可实现自动粗切、自动最终减薄和抛光、引导式样品提取与转移

软件

*专业三维重构软件

可实现对切片图像的自动对中，支持统计与分析，支持多模态数据，可融合来自不同探测器的图像数据

冷冻系统

冷冻样品台旋转

可以360°旋转

*冷冻样品台最低温度

≤-170℃

冷冻样品台冷却时间

从常温至工作温度的冷却时间≤20分钟

能谱EDS

*晶体面积

≥60 mm2

元素测试范围

B5～Cf 98

能量分辨率

在100,000CPS条件下Mn-Ka保证优于129eV，轻元素分辨率C-K/57eV, F-K/67eV

最大输出计数率

≥1,500,000cps

EBSD

#芯片/探测技术

直接电子探测

离线条带标定和解析速度

最高20,000点每秒

离线再分析速度

≥60,000点每秒

TOF-SIMS

质谱分辨率

质谱分辨率≥800（m/z=29）

质量数范围

质量数范围1-2500

*FIB-TOF-SIMS联用

空间分辨率≤50nm；纵向图像分辨率优于20nm，同时能对H开始的轻元素进行检出分析

冷冻传输系统

#样品台

360°度旋转的冷冻样品台：

可实现360°连续旋转，-4—70°倾转；保证开展复杂应用或面对复杂样品的适用性；

温度

工作温度室温至-170°C范围内任意可调可控，实际温度误差可稳定控制在1°C以内。

#接口

配置与手套箱连接接口

前处理

配置前处理制样锅

抽气系统

涡轮分子泵抽气系统

接口

通讯接口

GPIB通信接口，支持以太网（TCP/IP）、OPC UA或REST API等现代通信协议，****实验室信息管理系统

#附件/探测器接口

附件/探测器接口≥20个（含预留接口）

数据处理系统

控制终端

可实现 4K 图像滤波处理 3.5-6 秒每帧、晶粒特征识别 7-12 秒每帧，EELS 谱成像处理 2.5-4 分钟每组，EDS 元素 Mapping 生成 5-9 分钟每张，60 张 4K 切片三维重构耗时 2-3.5 小时，高效完成冷冻 FIB-SEM 各类图像解析、成分分析与三维重构工作。

显示终端

配备双屏显示器，单屏尺寸≥24英寸，分辨率≥3840×2160

稳定系统

减震

集成式主动减震

Ups电源

配备≥6 kVA不间断电源UPS一台

冷却循环模块

循环冷水机

循环式冷水机可提供5至40°C之间的恒定连续冷却，温度稳定性高达0.1°C，采用风冷方式。

制冷能力：最高可达1100/1300瓦

空压模块

空压机

操作气动阀门和显微镜调平系统。