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| 商品名称 | 品类 | 采购数量 | 最少响应量 | 规格型号 | 补充 |
| ESC电极 | 其他 | 1.0个 | 1.0个 | 型号:718-094523-061; 要求:全新,日本进口全新,不要韩国进口 | 多晶硅刻蚀机(LAM9400) |
| 尾气处理器排水泵 | 其他 | 2.0个 | 2.0个 | 规格:VA15PP-PPTFTFTB00,PN:810.6772, 要求:全新 规格:VA15PP-PPTFTFTB00,PN:810.6772, 要求:全新 规格:VA15PP-PPTFTFTB00 | 尾气处理器(水洗式NSOW600) |
| 主腔顶针 | 其他 | 2.0个 | 2.0个 | 型号:715-011662-001; 要求全新 | 二氧化硅刻蚀机(LAM4520i) |
| 下腔室内衬 | 其他 | 1.0个 | 1.0个 | 型号:800****00024;要求:全新 | 多晶硅刻蚀机(LAM9400) |