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| **** | 建设单位代码类型:|
| 913********4799355 | 建设单位法人:张昱 |
| 王忍 | 建设单位所在行政区划:**市**区 |
| **市**区新徕路200号、168号 |
| **** 200mm硅晶片扩产项目(一期) | 项目代码:|
| 建设性质: | |
| 2021版本:081-电子元件及电子专用材料制造 | 行业类别(国民经济代码):C3985-C3985-电子专用材料制造 |
| 建设地点: | **市**区 新徕路200号、168号 |
| 经度:121.213250 纬度: 31.406970 | ****机关:****环境局 |
| 环评批复时间: | 2024-01-17 |
| 沪114环保许管〔2024〕4号 | 本工程排污许可证编号:**** |
| 2025-11-20 | 项目实际总投资(万元):15000 |
| 1350 | 运营单位名称:**** |
| 913********4799355 | 验收监测(调查)报告编制机构名称:**** |
| 913********4799355 | 验收监测单位:****集团****公司,******公司 |
| 913********281069C,913********453005L | 竣工时间:2025-11-20 |
| 2025-11-21 | 调试结束时间:|
| 2026-07-30 | 验收报告公开结束时间:2026-08-27 |
| 验收报告公开载体: | https://e2.****.cn/qygkweb/jsp/view/jsxmInfo_edit.jsp?id=ED0DF38746FA4367AF9330CC6226C95C |
| 扩建 | 实际建设情况:扩建 |
| 无变动 | 是否属于重大变动:|
| 新增8英寸外延硅晶片100万片/年和SOI硅晶片24万片/年 | 实际建设情况:一期外延硅晶片34万片/年,SOI硅晶片9万片/年;二期外延硅晶片22万片/年,SOI硅晶片15万片/年。 |
| 在实际建设过程中,新傲公****公司发展情况,取消部分建设内容并计划分期建设。变动后,取消了部分外延硅晶片产能,包括168号厂区全部外延硅晶片40万片/年和200号厂区外延硅晶片4万片/年,其余产能分二期建设,其中一期外延硅晶片34万片/年,SOI硅晶片9万片/年;二期外延硅晶片22万片/年,SOI硅晶片15万片/年。 | 是否属于重大变动:|
| 包括外延硅晶片和SOI硅晶片生产工艺 | 实际建设情况:与环评一致 |
| 无变动 | 是否属于重大变动:|
| 外延车间: SC1清洗废气由清洗机密闭收集后,依托现有1套酸液喷淋装置TA049处理后由1根25m高DA049(风量12000m3/h)排放; SC2清洗废气由清洗机密闭收集后,依托现有1套碱液喷淋装置TA044处理后由1根25m高DA044(风量20000m3/h)排放; 清洗1氢氟酸废气由清洗机密闭收集后,依托现有1套碱喷淋装置TA044处理后由1根25m高DA044(风量20000m3/h)排放; 测试前废气、外延炉钟罩灯管石英组件清洗废气、尾气管清洗台由清洗机密闭收集后,依托现有1套碱液喷淋装置TA005处理后由1根15m高DA005(风量22000m3/h)排放; 外延生长(非砷化氢掺杂)废气经过各自外延炉室体单独密闭收集后,经过各外延炉配套的水喷淋装置处理后由200号厂区外延车间屋顶新增的2根25m高DA078~DA079(风量2000m3/h)排放。 SOI车间: 外延生长(非砷化氢掺杂)废气经过各自外延炉室体单独密闭收集后,经过各外延炉配套的水喷淋装置处理后由200号厂区SOI车间屋顶新增的20根25m高DA080~DA091,DA096~DA103(风量2000m3/h)排放; SC1清洗废气、键合/抛光/腐蚀废气由各设备密闭收集后,依托现有1套酸液喷淋装置处理后由1根18m高DA050(风量20000m3/h)排放; SC2清洗废气由设备密闭收集后,依托现有1套碱液喷淋装置TA003处理后由1根15m高DA003(风量40000m3/h)排放; 测试废气由设备密闭收集后,依托现有1套碱液喷淋装置TA039处理后由1根18m高DA039(风量40000m3/h)排放。 依托200号和168号废水治理设施。 依托地下室酸性废液储罐和TMAH储罐; 本次新增: ①200号厂区地面新增2个8m3储罐,位于SOI车间外西**外延车间外南侧,存放清洗废气喷淋废液(酸性) | 实际建设情况:外延车间: SC1清洗废气由清洗机密闭收集后,依托现有1套酸液喷淋装置TA049处理后由1根25m高DA049(风量12000m3/h)排放; SC2清洗废气由清洗机密闭收集后,依托现有1套碱液喷淋装置TA044处理后由1根25m高DA044(风量20000m3/h)排放; 清洗1氢氟酸废气由清洗机密闭收集后,依托现有1套碱喷淋装置TA044处理后由1根25m高DA044(风量20000m3/h)排放; 测试前废气、外延炉钟罩灯管石英组件清洗废气、尾气管清洗台由清洗机密闭收集后,依托现有1套碱液喷淋装置TA005处理后由1根15m高DA005(风量22000m3/h)排放; 外延生长(非砷化氢掺杂)废气经过各自外延炉室体单独密闭收集后,经过各外延炉配套的水喷淋装置处理后由200号厂区外延车间屋顶新增的2根25m高DA078~DA079(风量2000m3/h)排放。 SOI车间: 外延生长(非砷化氢掺杂)废气经过各自外延炉室体单独密闭收集后,经过各外延炉配套的水喷淋装置处理后由200号厂区SOI车间屋顶新增的20根25m高DA080~DA091,DA096~DA103(风量2000m3/h)排放; SC1清洗废气、键合/抛光/腐蚀废气由各设备密闭收集后,依托现有1套酸液喷淋装置处理后由1根18m高DA050(风量20000m3/h)排放; SC2清洗废气由设备密闭收集后,依托现有1套碱液喷淋装置TA003处理后由1根15m高DA003(风量40000m3/h)排放; 测试废气由设备密闭收集后,依托现有1套碱液喷淋装置TA039处理后由1根18m高DA039(风量40000m3/h)排放。 依托200号和168号废水治理设施。 依托地下室酸性废液储罐和TMAH储罐; 本次新增: ①200号厂区地面新增2个8m3储罐,位于SOI车间外西**外延车间外南侧,存放清洗废气喷淋废液(酸性) |
| 在实际建设过程中,新傲公****公司发展情况,取消部分建设内容并计划分期建设。实际建设过程中,现有SOI硅晶片清洗/键合/抛光/腐蚀废气处理设施可满足一期SOI硅晶片“SC1清洗废气、键合/抛光/腐蚀废气”处理需求,因此一期相关废气变动为依托现有废气处理设施及排气筒DA050。二期保持与环评排放去向一致,二期“SC1清洗废气、键合/抛光/腐蚀废气”通过1套新增的酸液喷淋装置处理后由1根新增的15m高DA077排放,一期排气不再进入该排气筒,该排气筒废气污染物的排放速率与排放量降低。 其余环保措施与环评内容一致,仅分期建设。 | 是否属于重大变动:|
| 化学品包装规格**面布置 | 实际建设情况:部分化学品包装规格和最大暂存量发生调整,但种类不变,年用量不增加,环境风险潜势不变,环境风险评价等级与范围不变,最大可信事故情形不变。 外延车间外延硅晶片一期生产区域与环评一致,二期生产区域在厂房内调整。 |
| 在实际建设过程中,新傲公****公司发展情况,取消部分建设内容并计划分期建设。 | 是否属于重大变动:|
| 0 | 0 | ****651.465 | 0 | 0 | 0 | 0 | |
| 0 | 0 | 101.6149 | 0 | 0 | 0 | 0 | |
| 0 | 0 | 17.9594 | 0 | 0 | 0 | 0 | |
| 0 | 0 | 1.647 | 0 | 0 | 0 | 0 | |
| 0 | 0 | 31.2355 | 0 | 0 | 0 | 0 | |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
| 0 | 0 | 0.0432 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
| 1 | 200****处理站 | 《电子工业水污染物排放标准》(GB39731-2020)中电子专用材料的间接排放标准限值和**市《污水综合排放标准》(DB31/199-2018)表2三级标准 | 依托现有200****处理站 | 验收监测期间,总排口DW001的各污染物均低于《电子工业水污染物排放标准》(GB39731-2020)标准限值(包括pH、CODCr、SS、氨氮、总氮、总磷、LAS、氟化物)和《污水综合排放标准》(DB31/199-2018)标准限值(包括BOD5和总硼) | |
| 2 | 168****处理站 | 《电子工业水污染物排放标准》(GB39731-2020)中电子专用材料的间接排放标准限值和**市《污水综合排放标准》(DB31/199-2018)表2三级标准 | 依托现有168****处理站 | 验收监测期间,总排口DW003的各污染物均低于《电子工业水污染物排放标准》(GB39731-2020)标准限值(包括pH、CODCr、SS、氨氮、总氮、总磷、LAS)和《污水综合排放标准》(DB31/199-2018)标准限值(包括BOD5、动植物油) |
| 1 | 碱液喷淋装置(DA003、DA005、DA039、DA044) | 《大气污染物综合排放标准》(DB31/933-2015)标准和《大气污染物综合排放标准》(DB31/933-2025)标准 | 依托现有碱液喷淋装置 | 各排气筒废气因子氯化氢、氟化物、硝酸雾、非甲烷总烃可满足《大气污染物综合排放标准》(DB31/933-2015)标准限值要求,同时满足《大气污染物综合排放标准》(DB31/933-2025)标准限值要求 | |
| 2 | 酸液喷淋装置(DA049、DA050) | 《恶臭(异味)污染物排放标准》(DB31/1025-2016) | 依托现有酸液喷淋装置 | 氨、臭气浓度可满足《恶臭(异味)污染物排放标准》(DB31/1025-2016)标准限值要求。 | |
| 3 | 水喷淋装置(DA078~DA079,DA080~DA091,DA096~DA103) | 《大气污染物综合排放标准》(DB31/933-2015)标准和《大气污染物综合排放标准》(DB31/933-2025)标准 | **,与环评一致 | 氯化氢可满足《大气污染物综合排放标准》(DB31/933-2015)标准限值要求,同时满足《大气污染物综合排放标准》(DB31/933-2025)标准限值要求 | |
| 4 | 油烟净化器(DA076) | 《餐饮业油烟排放标准》DB 31/844-2014 表1 | 依托现有油烟净化器 | 油烟满足《餐饮业油烟排放标准》DB 31/844-2014 表1要求 |
| 1 | 厂房隔声 | 噪声排放执行《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)表1中3类标准 | 与环评一致 | 厂界噪声监测点位昼间和夜间噪声均能低于《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)3类声功能区排放限值要求 |
| 1 | 依托现有危废暂存间、地下室酸性废液储罐和 TMAH 储罐和一般固废间,200号厂区地面新增2个8m3储罐,位于SOI车间外西**外延车间外南侧,存放清洗废气喷淋废液(酸性) | 与环评一致 |
| 1 | 特气储存、泄漏应急措施,事故废水收集防控措施 | 依托,与环评一致 |
| 依托现有生产厂房、废水站、动力站、危化品仓库和危废间 | 验收阶段落实情况:与环评一致 |
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| 无 | 验收阶段落实情况:无 |
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| 无 | 验收阶段落实情况:无 |
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| 无 | 验收阶段落实情况:无 |
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| 无 | 验收阶段落实情况:无 |
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| 无 | 验收阶段落实情况:无 |
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| 1 | 未按环境影响报告书(表)及其审批部门审批决定要求建设或落实环境保护设施,或者环境保护设施未能与主体工程同时投产使用 |
| 2 | 污染物排放不符合国家和地方相关标准、环境影响报告书(表)及其审批部门审批决定或者主要污染物总量指标控制要求 |
| 3 | 环境影响报告书(表)经批准后,该建设项目的性质、规模、地点、采用的生产工艺或者防治污染、防止生态破坏的措施发生重大变动,建设单位未重新报批环境影响报告书(表)或环境影响报告书(表)未经批准 |
| 4 | 建设过程中造成重大环境污染未治理完成,或者造成重大生态破坏未恢复 |
| 5 | 纳入排污许可管理的建设项目,无证排污或不按证排污 |
| 6 | 分期建设、分期投入生产或者使用的建设项目,其环境保护设施防治环境污染和生态破坏的能力不能满足主体工程需要 |
| 7 | 建设单位因该建设项目违反国家和地方环境保护法律法规受到处罚,被责令改正,尚未改正完成 |
| 8 | 验收报告的基础资料数据明显不实,内容存在重大缺项、遗漏,或者验收结论不明确、不合理 |
| 9 | 其他环境保护法律法规规章等规定不得通过环境保护验收 |
| 不存在上述情况 | |
| 验收结论 | 合格 |