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原子层沉积系统
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499000.00
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2026-09-05
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原子层沉积系统
| 项目编号 | **** | ||
| 项目名称 | 原子层沉积系统 | ||
| 预算金额(元) | ￥499000.00 | ||
| 签约时间 | 成交公告发布后5个工作日内签订合同 | ||
| 到货时间 | 合同签署后90个工作日到货 | ||
| 联系人 | 田昊 | 联系电话 | 178****7570 |
| 邮箱地址 | tianhao@qibebt.****.cn | ||
| 付款方式 | 货到后支付80%货款，验收合格后支付20%货款 | ||
| 产品名称 | 原子层沉积设备 | ||
| 参考品牌 | 原速光电科技 | 参考型号 | E200S |
| 采购数量 | 1 | 是否允许采购进口产品 | 否 |
| 技术指标 | 机架 高集成度，维护方便，重量轻便、承载能力强，散热性好 腔体及加热系统 1.可支持180 mm*180 mm 基片。 2.腔体表面经过电解抛光处理。防锈防蚀。 3.自动开关腔门设计，配备腔门关闭检测开关。 4.喷淋设计，进气自上而下流经衬底。 5.腔体四周及上下盖板具备加热保温功能。 6.样品台加热温度可达180℃，温度控制精度±2℃ 前驱体供给及加热系统 1.配备2路前驱体源管路：1路常温源，适用于饱和蒸汽压较高的源， 1 路可加热源，适用于需要加热的固态或液态源。 2.每路源均配备进口阀门、手动阀和不锈钢源瓶。 3.每路源均配备载气（N2），载气管路配备计量阀、进口阀门。 4.不锈钢管路及接头均采用EP等级；气体管路连 接部件采用金属VCR密封。 5.前驱体源瓶与腔体之间管路配备模块化一体式加热保温系统，保证管 路直角接头、源瓶手动阀连接处等位置无冷凝点。源瓶及管路的控温范 围：室温～120℃，控制精度：±2℃。 6.提供N2气路接口用于吹扫，N2采用进口高精度MFC进行流量控制。 反应物供给系统 反应物供给系统（1路） 1.H2O管路配备进口阀门及水源瓶。 2.提供 N2气路接口用于吹扫，N2采用进口高精度MFC进行流量控制。 真空系统及加热系 1.配置油泵，用于抽真空。 2.配备两个真空规用于压力测量，保证真空及大气时的测量精度。1个 真空薄膜规用于工艺时高精度测量，量程范围：0.01Torr~8Torr ，1 个真空规用于测量至大气压，量程范围：1Torr~700Torr。 3.抽气管路配备加热装置，加热可达120℃，控温精度为±2℃。 热阱加热器 1.高效分解吸附反应残留物。 2.热阱内部内衬可更换。 3.可加温300℃，控温精度±2℃ 安全防护系统 1.对高温区进行隔热处理，防止可接触位置温度过高造成伤害。 2.潜在的安全相关位置均粘贴安全标签用于提示用户潜在的风险及防范 措施。例如：高温、危险电压等标签。 3.电气硬件互锁设计包含CDA等硬件互锁（Interlock）功能，防止误 操作的发生，保证设备和人身安全 控制及软件系统 1.要求能够采用 PLC 对设备进行实时控制，同时实现基于 Windows操作系统的人机界面互动。 2.输入方式：鼠标、键盘和触摸屏。 3.支持逻辑互锁功能，防止用户误操作，并弹出信息对话框进行提示。 4.能够支持“一键沉积”功能，点击运行按键即可自动完成真空抽取、升温、 材料沉积、降温等一系列步骤。 5.要求支持配方编辑功能，配备单一材料和多层材料两种模式的配方编辑， 可实现单层、掺杂或复合材料的沉积。 6.必须支持实时监测、历史数据、报警及日志功能，配方内容、工艺运行时 的压力、温度、时间等参数可导出保存。 7.支持源瓶维护功能，配备独立的源瓶更换操作界面，可在线清洗气体 管路。 8.支持用户权限管理功能，可根据用户级别设定使用权限，防止误操作， 保证设备和人身安全。 9.支持安全及提醒参数配置、IO互锁列表信息功能，可通过源瓶使用情况记录了解前驱体源用量。 | ||
| 售后服务要求 | 验收合格后+12+个月 | ||
| 销售资质需求 | |||
采购需知
1、采购时间范围内以最后一次报价为准。
2、成交供应商应于成交公告发布后5日内缴纳服务费（项目成交金额1%），并上传支付证明，支付账户通过邮件发送至供应商联系人邮箱，请注意查收。
3、进口产品报****实验室价格，应包括免税代理费、通关、运输及安装调试等全部费用，不接受外币报价，****公司承担；
4、国产产品报价****实验室价格，应包括设备运输、安装调试等全部费用。
5、供应商竞价后，请等待系统公示（此项目竞价截止时间为2026-09-05 11:19:31）。竞价截止后由采购人按照低价优先原则确定成交供应商，并在系统首页进行公示。 如有疑问请拨打咨询电话：0532-****2687加急标书代写
6、出现以下情况视为无效报价：
1）供应商在本次投标项目中有围标、串标情况的；
2）供应商有违反【供应商承诺书】相关条款的；
3）不具备承接本次项目的具有国家法律、法规、部门规章及规范标准规定的有效证件的；
4）未按要求上传相关资料附件的，上传附件未按要求签字盖章的。
2）供应商有违反【供应商承诺书】相关条款的；
3）不具备承接本次项目的具有国家法律、法规、部门规章及规范标准规定的有效证件的；
4）未按要求上传相关资料附件的，上传附件未按要求签字盖章的。
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