雅安经济技术开发区管理委员会关于2026年9月3日拟作出建设项目环境影响评价文件审批意见的公示

项目

污染源

治理内容

废气

硅外延工序产生的废气

项目外延炉全密闭设置，硅外延工序产生的废气经密闭管道收集后，先经过每台外延炉自带的外延尾气处理器（“二级水洗”工艺）处理，再进入1#碱液喷淋塔处理后，由15m高排气筒（DA001）排放。

清洗工序产生的废气

项目硅片全自动超声波清洗机、石英钟罩清洗机全密闭设置，清洗工序产生的废气经抽风管道收集，经2#碱液喷淋塔处理后，由15m高排气筒（DA002）排放。

项目2#~4#特气逸散废气

项目2#~4#特气间管道阀门设置于密闭的特气柜内，并保持负压状态，逸散的少量废气通过密闭管道收集，经3#碱液喷淋塔处理后，由15m高排气筒（DA003）排放。

废水

生产废水

项目不新增员工，不新增生活污水；石英钟罩清洗废水、碱液喷淋****处理站（采用“调节池+中和池+絮凝池+斜管沉淀池”工艺）处理；外延硅片清洗废水、外延尾气处理****处理站（采用“中和+过滤+离子交换吸附”工艺）后，部分回用于外延尾气处理器，其余与纯水站浓水、循环冷却水系统排水及处理后的石英钟罩清洗废水、碱液喷淋塔废水汇合，在厂区内生产****园区污水管网，排入****处理厂后，最终排入**河。

噪声

外延炉、尾气处理器、冷冻机、空压机、真空泵、空调压缩机、纯水机泵、风机等设备

通过采用低噪声设备，采取减振、隔声，合理布局及加强设备维护管理等噪声防治措施，实现厂界噪声达标。

固体废物

项目产生的废机油及桶、沾染危险废物的废包装材料、****处理站污泥、碱洗塔沉渣、****处理站污泥、废滤芯及废树脂、不合格硅原片衬底、纯水站废滤料、废氮气和氢气纯化滤芯、空调系统废滤芯、空压站废滤芯、不合格硅外延片、未沾染危险物质的废包装材料

项目产生的废机油及桶、沾染危险废物的废包装材料等属于危险废物，交有危险废物处理资质的单位处置；****处理站污泥、碱洗塔沉渣、****处理站污泥、废滤芯及废树脂待鉴别，鉴定前按危险废物进行管理，交有危险废物处理资质的单位处置；不合格硅原片衬底、纯水站废滤料、废氮气和氢气纯化滤芯、空调系统废滤芯、空压站废滤芯由供应商回收；不合格硅外延片、未沾染危险物质的废包装材料分****回收站。

土壤及地下水污染防治措施

项目将前处理间、清洗间、1#~3#化学品仓库、****处理站、****处理站、事故应急池、危险废物暂存间设置为重点防渗区，其中前处理间、清洗间、1#~3#化学品仓库采取“1.5mmHDPE膜+环氧防腐面层”，****处理站、****处理站、事故应急池采取“土工布+2mmHDPE土工膜（防渗层）+土工布+至少20cm砂砾石铺砌基层+防渗混凝土层12cm”，危险废物暂存间采取“2.0mmHDPE膜+环氧防腐面层”的防渗措施（等效黏土防渗层Mb≥6.0m，K≤1×10-7cm/s，其中危险废物暂存间K≤1.0×10-10cm/s），防止地下水和土壤环境污染。

环境风险防范措施

1#-3#化学品仓库内危险化学品存储于收集槽内，硅片清洗机设置于收集槽内；特气间、清洗间、前处理间、化学品仓库等涉及液态物料使用的区域四周设置围堰或其他导流、收集设施，并连接厂区事故应急池；采取分区防渗措施，防止地下水和土壤环境污染；安装可燃气体和有毒气体泄漏探测器及报警装置；设置事故废水池（有效容积不小于448m3）及配套废水收集系统；严格控制上述化学品的储存量，加强化学品的运输、储存、使用环节的环境管理，避免跑冒滴漏；同时，企业制定严格的突发环境事件应急预案，加强职工环保培训与管理，定期检修和保养生产设备及环保设施，以保证生产设施安全正常运行。

环境监测

制定自行监测方案，对污染物定期开展监测。