微纳光学实验室特气系统-分散式气动控制器采购公告

是否接受进口

拒绝进口

品牌

LAURELL、SPS、Ramgraber

型号

WS-650Hz-8NPPB、SPIN200X、M-Spin200

技术规格及参数

1、系统概述
1.1 智能嵌锁，系统盖板具有智能嵌锁装置，确保操作安全；
1.2 防腐装置；
1.3 设有保护气体装置：旋涂过程中对旋转马达进行气流保护；
1.4 通信接口，蓝牙连接1.5双向马达，可正反转。
2、处理腔体
2.1 处理腔体内径不小于12.5英寸 (318毫米)；
2.2 Wafer芯片尺寸至少满足10-205mm直径的材料，方片175x175mm；
2.3 需满足各种尺寸的超薄或软性基底材质使用，圆形基底尺寸分别为直径8/13/18/23mm，晶圆直径2/4/6/8英寸；
2.4 腔体具有易清洁的NPP天然聚丙烯材质。
3、旋转马达
3.1 转动速度至少满足0-12,000rpm；
3.2 旋涂加速度不小于12,000rpm/sec；
3.3 马达旋涂转速稳定性能误差不超过±1%。
4、控制系统
4.1 工艺时间设定范围至少满足1-5999.9 sec/step ，精度不超过0.1s；
4.2 配有高精度PLC可编程的控制器；
4.3 可存储不少于20个程序段，每个程序段可设置不少于51个不同步骤的速度状态。
5、配套泵浦
5.1 配套真空泵系统：无油型 220~240伏交流，50/60赫兹；
5.2 真空吸附范围25-28 英寸汞柱 (~635-711毫米汞柱)可调节，抽速不小于0.7 SCFM (0.02立方米/分钟) 。
6、系统附件
6.1 免费配备基于Windows的操作软件；
6.2 原装进口水平测试仪；
6.3 两袋密封圈（每袋不少于5个）；
6.4 配有两套可更换的废液接收单元；
6.5 ****中心对准工具适合直径100/125/150/200mm圆片居中；
6.6 配备适合2/4/6/8英寸超薄或软性基底的定制型蜂窝托盘各1个；
6.7 配备适合8/13/18/23mm超薄或软性基底的样品支架各1个。

质保期

收货之日起一年质保

售后要求

1、供方产品经需方入库后，如在生产中发现不良情况，供方必须无条件退货或返修，并按需方要求的时间将合格产品送达需方指定收货地点。 2、产品经需方验收合格后供方免费保修12个月，保修期后供方仍需提供有偿维修。