首页 /原子层沉积系统配件

原子层沉积系统配件

结果-中标通知

安徽 -合肥 -合肥

发布时间： 2026年09月08日

标书代写官方

摘要信息

中标单位

中标金额

中标单位联系人

招标单位

招标编号

招标估价

招标联系人

代理单位

代理单位联系人

关键信息

配件

招标详情

下文中****为隐藏内容，仅对千里马会员开放，如需查看完整内容请或拨打咨询热线： 400-688-2000

相关单位：

***********公司企业信息

***********公司企业信息

采购信息
采购单位名称
采购项目名称	原子层沉积系统配件
成交供应商	****
成交价（元）	260000

采购清单
序号	物资名称	规格型号	单价（元）	数量	技术参数
1	原子层沉积真空系统配件	ALD-V401-PRO	260000	1	本配套组件为定制集成式原子层沉积仪器的辅助构成部分，与ALD主器件配套使用，共同形成完整、可独立运行的ALD实验装置。组件由以下子系统构成：1. 真空获得系统：由机械泵组及真空测量单元组成，提供ALD工艺所需的高真空环境。机械泵抽速满足系统主腔体抽空要求，极限真空度优于6×102 Pa；配备隔膜真空计及全量程复合真空规，实现从大气压至10 Pa宽量程范围内的实时真空度监测与反馈。2. 前驱体输运系统：集成气动隔膜阀组、高温源瓶（最高工作温度400℃）及低温源瓶（最低工作温度-196℃），配合臭氧发生器提供氧化剂源。系统支持多种前驱体及氧化剂的脉冲顺序切换，最小脉冲时间可达毫秒级，满足各类ALD工艺对前驱体精确输运的要求。3. 反应加热系统：采用高精度管式炉，最高工作温度1200℃，恒温区控温精度±1℃。炉膛可容纳Φ25～Φ50 mm炉管，满足不同尺寸样品台的装载需求，为ALD反应提供稳定、均匀的热场环境。4. 自动控制系统：以工业级工控机为核心，搭载ALD专用控制软件，实现气动阀门时序编程、源瓶温度设定、工艺参数实时监控与数据记录等功能；支持多组工艺配方存储与调用，确保实验过程的可编程性、可重复性与自动化运行。5. 尾气处理系统：采用多级鼓泡吸收瓶结构，对ALD工艺过程中产生的酸碱尾气及有机废气进行有效中和与吸附处理，吸收效率≥95%，保障实验环境安全。系统整体性能：上述组件与ALD主器件集成后，系统工作真空度可稳定控制在1～10 Pa区间，整体漏率≤1×10 Pa﹒m3/s，衬底加热温度覆盖RT～1100℃，沉积均匀性优于95%（Φ50 mm范围内）。

招标进度跟踪

2026-09-08

中标通知

原子层沉积系统配件

当前信息

标书代写

招标项目商机

暂无推荐数据

400-688-2000

欢迎来电咨询～