【拟审批意见公示】关于高端半导体原子层沉积装备中试及共性技术研发平台项目生态环境影响报告表拟审批意见的公示

拟批准环境评价报告书、表的项目

项目名称：

高端半导体原子层沉积装备中试及共性技术研发平台项目

建设地点：

**省**市**区物联网科技产业园片区****工业园（长三角数字科技示范园）14号楼1层、11号楼16层北侧

建设单位：

****

环境影响评价机构：

******公司

项目概况：

拟建项目系租赁位于包公大道1****工业园（长三角数字科技示范园）14号楼1层、11号楼16层北侧的工业用房，租赁总建筑面积1909 m2，其中14号楼1层为生产区，11号楼16层北侧为办公区。主要建设原子层沉积设备装配车间、万级洁净度的出机测试区以及办公、仓储、成品储存、配套环保设施等。建成后年产100台套高端半导体原子层沉积装备。本项目总投资20310万元，其中环保投资80万元。不设员工食堂、宿舍等。

主要环境影响及预防或者减轻不良环境影响的对策和措施：

1.排水实行雨污分流。生活污水经化粪池处理后，汇同纯水制备浓排水通过市政污水管****处理厂深度处理，最终达标排放。

2.落实大气污染防治措施和要求。清洗过程中挥发的异丙醇和丙酮经通风橱收集后，汇入排气筒；测试废气、测试清洗废气经真空泵抽出，通过密闭专用管道分别进入相应干式化学吸附装置处理。经收集的清洗废气与处理后的测试废气、测试清洗废气汇集后，通过1根不低于15m高的排气筒（DA001）高空达标排放。

3.加强噪声污染防治工作。选用低噪设备，并对产生振动、噪音的设备采取减振、隔声、消声等降噪措施，合理布局功能区，确保厂界噪声达标排放。

4.固体废物处理应遵循分类收集、**再生利用的原则，由专人负责。生活垃圾分类收集后，由环卫部门统一定期清运。废包装材料、不合格机械零部件、废边角料、纯水制备废活性炭、废反渗透膜、废离子交换树脂等一般工业固废集中收集**化利用。按环保有关规定和要求建设危险废物临时贮存场所，产生的测试清洗废液、废真空泵油及油桶、沾染化学品的废耗材、废化学品包装材料、废异丙醇、废丙酮、废测试晶圆、废吸附剂、废弃前驱体钢瓶/起泡器等危险废物须委托有相关资质的单位处理处置，并加强危险废物贮存、运输和处置的全过程规范化环境管理。

5.落实环境风险防范、应急处置、分区防渗等措施。落实环境监测计划，定期开展监测，确保各类污染物稳定达标排放。

6.有关本项目其他污染治理及生态环境影响减缓措施，严格按照《报告表》相关内容认真落实。

公众参与情况：

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****政府所作出的相关环境保护措施承诺文件：

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听证权利告知：

依据《中华人民**国行政许可法》，自公示起五日内申请人、利害关系人可对拟作出的建设项目环境影响评价文件审批意见要求听证。

公众反馈意见的联系方式

办理部门：

******分局

联系电话：

0551-****6931

邮编：

230011

通讯地址：

**市**区**江路和曹冲路****建设大厦2楼