高阶mSAP基板智能制造及产业化项目

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****关于高阶mSAP基板智能制造及产业化项目节能报告的审查意见

《高阶mSAP基板智能制造及产业化项目节能报告》收悉。根据《固定资产投资项目节能审查和碳排放评价办法》****委员会令〔2025〕31号）、《**省固定资产投资项目节能审查实施办法》（粤能规〔2023〕3号）的相关要求，我局对该项目节能报告进行了审查，审查意见如下：
一、项目采用的主要技术标准和建设方案基本符合国家和省相关节能法规及节能降碳政策的要求，原则同意该项目节能报告。
二、项目位于珠****开发区**区南水镇三虎大道888号，总投资28亿元，预计2028年6月投产。项目主要建设内容：依托现有66796.09平方米的三层厂房及辅助设施，扩产改良型半加成法高阶基板生产线，年产高阶基板16.22万平方米（折标准板面积354.02平方米）。项目不**建筑物。
三、用能工艺。
项目采用改良型半加成法（mSAP）制造工艺，主要包括开料、前处理、贴膜、曝光、显影、蚀刻、退膜、光学检测、棕化、压合、镭射钻孔、除胶、沉铜、电镀、阻焊、表面处理、检测及包装等工序。项目选用化学沉铜配套垂直连续脉冲电镀方案、激光直接成像曝光（LDI）工艺。
四、用能设备。
（一）主要设备：9条电镀线（功率680千瓦），3条后固化线（功率470千瓦），6条除胶沉铜线（功率400千瓦），3条显影蚀刻退膜线（功率350千瓦），2条镀金线（功率320千瓦），3台隧道式烤箱（功率300千瓦），16台压机（功率250千瓦），4台连线预固化滚涂线（功率250千瓦），4条改进型半加成法显影线（功率240千瓦），5台清洗机（1台功率225千瓦、3台功率180千瓦、1台功率145千瓦），5条退膜线（1条功率172千瓦、4条功率166千瓦），3条烤板线（功率150千瓦），2条镍钯金线（功率140千瓦），3条有机可焊性保护剂线（功率120千瓦），1条碱性蚀刻线（功率118千瓦），4条闪蚀线（功率115千瓦），9条前处理线（2条功率112千瓦、2条功率101千瓦、5条功率77千瓦），126台激光钻机（功率35千瓦），37台激光钻机（功率18千瓦），230台上下板机（功率5千瓦），以及开料、表面处理、成型、检测、包装等设备。
（二）辅助设施：2台导热油炉（100万大卡、热效率94%，2级能效），4台离心式冷水机组（2台功率900千瓦、COP 6.25，1台功率768.5千瓦、COP 6.25，1台功率469千瓦、COP 6.35，均为2级能效），2台螺杆式空压机（功率400千瓦、排气量71.7立方米/分钟、压力0.8兆帕、比功率5.58千瓦/立方米/分钟、1级能效），3台变压器（2台容量4000千伏安、空载损耗3.25千瓦、负载损耗23.8千瓦，1台容量3150千伏安、空载损耗2.52千瓦、负载损耗19.1千瓦），利旧3台离心式冷水机组（1台功率576.3千瓦、1台功率609.9千瓦、均为COP 6.10，1台功率374.9千瓦、COP 5.63）、3台离心式空压机（2台功率634千瓦、排气量120立方米/分钟、1级能效，1台功率635千瓦、排气量120立方米/分钟、2级能效）、10台变压器（3台容量3150千伏安、空载损耗2.52千瓦、负载损耗19.1千瓦，6台容量2500千伏安、空载损耗2.08千瓦、负载损耗15.445千瓦、1级能效，1台容量1000千伏安、空载损耗1.02千瓦、负载损耗7.315千瓦、1级能效），以及风机、水泵、空调、照明和环保处理设施等辅助设备。
五、计量器具。
项目主要对电力、天然气、柴油及耗能工质新水等进行能源计量器具配备。项目外购能源进入厂区时进行一级计量，各车间设置二级计量，主要用能设备配置三级计量。
六、项目建成后能源消费和碳排放主要指标。
项目年综合能源消费量不高于23014.44吨标准煤，其中年电力消耗量不高于18721.3万千瓦时、天然气消耗量3726.48立方米、柴油消耗量1.09吨。项目单位产品（折标准面积）综合能耗不高于6.5千克标准煤/平方米。
项目年二氧化碳排放总量不高于82739.9吨，其中直接排放量10.49吨，间接排放量82729.41吨。项目高阶基板（折标准面积）单位产品碳排放量不高于23.37千克二氧化碳/平方米。
七、项目在落实节能报告各项节能降碳措施基础上，应加强和改进以下节能降碳工作：
（一）工艺节能降碳。
1.采用集散型自动控制系统，实现整个生产过程的参量自动显示、控制和报警，建立能源管理系统，稳定工艺参数，降低动力设备空耗。
2.中低温槽加热系统采用高温热泵机组制热替代电加热设备，实现高效用能。
3.热压工序采用集中永磁变频真空系统，配套智能联控；压机采用碳化硅厚膜分区电热模组直接加热，提升热效率。
4.集中真空站、恒温热水站、空压站配套智能联控系统，净化空调采用二次回风技术减少冷热抵消。
（二）辅助及附属生产设施节能降碳。
1.项目主要用能设备能效均满足相关标准二级及以上要求。
2.选用低损耗节能变压器，****中心布置，就地无功补偿，功率因数控制在0.95以上。
3.空调冷冻水泵、冷却水泵、冷却塔及废气处理风机采用变频控制；回收利用空压机余热，实现能量梯级利用。
（三）能源计量和管理。
1.根据《用能单位能源计量器具配备和管理通则》（GB 17167-2025）等规范，健全能源计量、监测管理制度，建立能源计量管理体系。
2.配备的电表、天然气、新水等介质的计量器具，精度要符合《用能单位能源计量器具配备和管理通则》（GB17167-2025）要求。
3.按照《重点用能单位节能管理办法》（2018年修订）相关要求接入全省能耗在线监测系统，定期报送能源利用状况和碳排放情况报告。
（四）其他要求。
1.项目建成投产后，应认真执行国家、省节能降碳政策要求，积极开展节能降碳技术改造，并综合采取碳排放配额交易、项目碳排放等量替代等措施减少项目碳排放。
2.将能效碳效指标作为重要的技术指标列入设备招标文件和采购合同，不得使用国家明令禁止和淘汰的落后工艺及设备。
3.加强能源和碳排放管理，对企业能耗、碳排放进行实时记录、监测和分析。
八、项目建设单位、建设地点、建设规模、主要生产装置、用能设备、工艺技术路线、主要产品品种及其他方面较节能报告、节能审查意见等发生重大变化的，请按照《**省固定资产投资项目节能审查实施办法》（粤能规〔2023〕3号）第十八条规定执行。
九、请珠****公司根据本审查意见和项目节能报告，对项目设计、施工、竣工验收以及运营加强管理，及时报告本审查意见落实情况和项目有关重大事项。我局按规定组织开展对节能审查意见落实情况的跟踪检查。
十、项目投入生产、使用前，珠****公司组织对项目节能降碳相关情况进行验收，并将验收报告报我****改革局留存。未按规定进行节能审查验收或验收不合格擅自投入生产、使用的，以及以提供虚假材料等不正当手段通过节能审查验收的，责令限期整改。
十一、****改革局积极推进重点用能单位节能降碳改造工作，加强用能与碳排放预算精细化管理，为**市后续新增项目建设腾出能耗与碳排放空间。
十二、本节能审查意见自印发之日起两年内有效，项目逾期未开工建设的，应重新进行节能审查和碳排放评价。

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2026年9月9日

公开方式：主动公开

抄送： 省发展改革委、****信息化厅、生态环境厅，****公司。