定制高精度位移测量干涉仪系统

A****0309激光仪器

采购名称：定制高精度位移测量干涉仪系统 采购标的：定制高精度位移测量干涉仪系统：2套 合同签订后280日内交付至****科学园D栋，交付后30日内完**装调试。 项目技术/服务要求（核心） 本项目采购定制激光干涉位移测量系统成套设备，主要包括双频激光光源、光纤传输组件、位移测量电子板卡、电源模块及配套连接线缆等。各项技术要求如下： 1 双频激光光源模块 （1）激光器类型：氦氖（HeNe）连续波双频外差式激光器 （2）标称工作波长：632.8 nm （3）最小输出光功率：≥ 1.20 mW （4）双频频率差：20 MHz~22 MHz （5）波长长期稳定性：≤ 0.0001 nm （6）输出光束直径：6 mm（标准配置） （7）偏振输出方式：共线正交线偏振输出，两频率分量偏振正交度误差 ≤ 1° （8）光学隔离性能：内置全固态光学隔离器，背反射抑制度 ≥ 30 dB （9）冷却方式：具备高精度温度控制结构，保障工作频率与功率稳定性 （10）平均使用寿命：≥ 30,000 小时 2 位移测量电子板卡 （11）单板测量轴数：≥ 4 轴同步测量，每套系统满足6轴测量需求； （12）位置测量分辨率：≤ 0.15 nm （13）最大测量速度：≥ 1.5 m/s （14）最大速度下测量精度(σ)：≤ 0.2 nm （15）最小可探测光功率：≤ 0.08 μW （16）非线性误差补偿：具备一阶、二阶等周期性非线性误差在线补偿（或实时软硬件补偿）功能，自动消除干涉系统固有非线性误差。 （17）板卡总线标准：支持 6U VME64x、PXIe 或 PCIe 等工业标准总线 （18）系统扩展能力：支持模块化扩展，最大可扩展至≥24轴同步测量； 3 光纤传输组件 （19）保偏光纤消光比：≥ 20 dB （20）光纤插入损耗：≤ 1.0 dB（含两端连接器） （21）光纤连接器类型：FC/APC 型精密光纤接头 （22）光纤耦合传输模块：具备光纤耦合输入与自由空间输出功能，10 mm 标准出射口径 4 电源与连接线缆 （23）电源输入规格：标准 220 VAC / 50 Hz 交流供电 （24）激光电源通信接口：多针一体化密封电源与串行通信接口 （25）参考信号电缆：微型高速差分连接器线缆，满足 100 Ω 差分阻抗匹配设计 （26）同轴信号电缆：低损耗射频同轴结构，特性阻抗 50 ± 2 Ω 5 质量与可靠性要求 （27）整机质保期：≥ 3年质保服务