益阳市生态环境局关于湖南铠欣新材料科技有限公司半导体设备用高端碳化硅陶瓷零部件研发、生产项目（重新报批）环境影响报告书审批前的公示

项目名称

半导体设备用高端碳化硅陶瓷零部件研发、生产项目（重新报批）

建设地点

**高新区东部产业园标准化厂房E区E1栋

建设单位

****

环境影响评价机构

******公司

项目概况

公司年产碳化硅涂层石墨件2000套、碳化硅陶瓷基复合材料制品1000套项目于2019年11****环境局****分局环评批复（益环高审〔2019〕48号），2022年7月完成项目竣工环保自主验收。2023年8月公司拟投资15000万元，租用现有生产车间南侧已建成的标准厂房，改扩建年产4000片半导体设备用碳化硅石墨基座生产线，项目于2024年4****生态环境局****分局环评批复（益高环评书〔2024〕4号）。为应对市场需求变化，公司拟对改扩建项目进行调整，投资20000万元租赁E1栋南侧厂房进行改扩建，新增2台石墨纯化炉和7套化学气相沉积炉系统及配套的石墨机加工区、清洗烘干区以及其他公用、辅助、环保工程。项目建成后，年产碳化硅涂层石墨件6000片、半导体设备用Solid碳化硅零部件5000片，碳化钽涂层石墨基座4000片。

主要环境影响及预防或者减轻不良环境影响的对策和措施

（一）严格履行建设单位的环保主体责任。建立健全环保规章制度和岗位责任制，配备专职环保管理人员；加强生产台账和环保台账的登记管理，做到有据可查；定期对污染防治设施进行检查和维修，确保环保设施稳定正常运行和污染物稳定达标排放；制定环境风险事故应急预案，落实事故风险防范措施，切实防范各类环境风险事故。

（二）落实大气污染防治措施。项目各工序产生的废气应进行有效收集处理。石墨机加工工序须在各产尘点采取集气收集装置，经袋式除尘器处理后，满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2中二级标准限值）通过15米高排气筒(DA004、DA005)分别排放；项目扩建的2台石墨纯化炉废气依托现有3#、4#化学气相沉积炉的废气处理系统收集处理，采用二级碱液喷淋塔处理后经25米高排气筒（DA002)排放；新增的5#、6#化学气相沉积炉产生的废气依托现有1#、2#化学气相沉积系统废气处理系统收集处理，采用二级碱液喷淋塔处理后经25米高排气筒（DA001）排放；新增的7#~11#**化学气相沉积炉产生的废气收集后采取“文丘里碱液喷淋塔+二级碱液喷淋塔+水封箱+除雾箱+二级活性炭吸附”处理后通过25米排气筒（DA003）排放。各排气筒废气中颗粒物、氯气、氯化氢须满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2中污染物排放限值、非甲烷总烃须满足《工业企业挥发性有机物排放标准》（DB43/3550-2026）、氨须满足《恶臭污染物排放标准》（GB14554-1993）表2中污染物浓度限值；无组织排放废气中颗粒物、非甲烷总烃、氯化氢、氯气、氟化物厂界须满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2中污染物排放限值、氨满足《恶臭污染物排放标准》（GB14554-1993）表1中污染物厂界标准限值；厂区内非甲烷总烃须满足《工业企业挥发性有机物排放标准》（DB43/3550-2026）。餐饮油烟需满足《饮食业油烟排放标准》（GB18483-2001）中规定的最高允许浓度的排放标准要求。

（三）落实水污染防治措施。废气处理设施碱液喷淋废水采取“一体化MVR蒸发器”处理，冷凝水回用不外排；化学气相沉积炉内管道清洗废水采取“酸碱中和”处理；车间地面拖洗水与超声波清洗废水收集后采取“隔油+沉淀”处理；生活污水经化粪池处理后和纯水制备废水一起排放，外排废水须满足《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）中表1电子专用材料间接排放限****处理厂进水水质标准要求，经园区污水管网排入****处理厂进行深度处理。

（四）落实噪声污染防治措施。优化平面布局，选用低噪声设备，对高噪声设备采取减震、隔声、消声等措施，合理安排生产时间，确保厂界噪声符合《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）中3类区标准要求。

（五）落实固体废物处置措施。按照“无害化、**化、减量化”的原则，做好固废的分类收集、暂存、安全处置工作。按规范要求设置危废暂存间和一般固废暂存间，其建设、运行和管理应分别满足《危险废物贮存污染控制标准》（GB18597-2023）、《一般工业固体废物贮存和填埋污染控制标准》（GB18599-2020）要求。有害物品废弃包装物、废润滑油及包装桶、含油废抹布手套、废切削液、废活性炭等危险废物须委托有资质的单位安全处置；不合格产品、石墨块边角料、石墨尘、炉内沉积物、MVR析出氯化钠、其他废包装料综合利用处理，纯水制备废过滤膜由厂家更换回收；生活垃圾分类收集后交环卫部门定期清运。

（六）落实地下水和土壤环境污染防控措施。按照“源头控制、末端防治、污染监控、应急响应”的原则，做好分区防腐、防渗工作，加强各环节生产管理，减少“跑、冒、滴、漏”，防止地下水和土壤环境污染。

（七）改扩建项目建成后，全厂各污染物控制指标为：VOCs≤1.5t/a、COD≤0.3t/a、NH3-N≤0.03t/a，化学需氧量、氨氮总量****易购买获得，项目新增挥发性有机污染物1.05t/a需实行总量倍量替代，倍量替代来源于**市全季****公司，总量指标纳入高新区总量控制管理。

公众参与情况

按照《环境影响评价公众参与办法》，建设单位在报告书编制不同阶段对项目环评情况进行了公示，并编制了《****半导体设备用高端碳化硅陶瓷零部件研发、生产项目项目公众参与说明》；我局对该项目环境影响评价公众参与说明进行了公示。公示期间未收到公众反馈意见。

听证权

利告知

依据《中华人民**国行政许可法》，自公示之日起5个工作日内，申请人、利害关系人可对拟作出的建设项目环境影响评价审批事项要求听证。

联系

方式

联系方式：0737-****302

通讯地址：**市迎宾路555****服务局生态环境局窗口

邮编：413000

（公众意见反馈时间：自本公示发布后5个工作日内）