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| 真空型法兰超声雾化喷头与真空注射泵集成式真空工况供液成套装置 | 1.0/ | 国产定制 | 定制非标 | 1.配置真空适配法兰接口,可与管径为60mm的管式炉腔体密封对接,采用金属 + 氟橡胶复合密封结构实现端面密封;法兰材质选用 304 不锈钢,可兼容氩气保护气氛与高真空实验工况,系统极限真空可达 1×103 Pa,整体静态漏率≤5×10 Pa●m3/s,满足长时间低气压雾化沉积实验密封要求; 2.集成超声雾化喷头,功率50~80KHz,可实现对所制备前驱体溶液连续长时超声雾化使之形成微米级液滴,雾化液滴粒径范围 30~80 μm;喷头核心部件采用耐化学腐蚀材质,具备自清洁防堵设计,长时间输送含溶质前驱体溶液不易结晶、沉积,有效避免喷头堵塞,适配各类金属有机前驱体雾化沉积实验; 3.法兰配套真空注射泵,可精准可控输送前驱体药液,供液流量连续可调,流量调节范围 0.001~100 ml/min,流量最小分辨率 0.001 ml/min;具备流量闭环控制,流量设定值与实际输出值偏差≤±0.5%,支持正向推注、回抽功能,可长时间稳定恒流输出,适配真空惰性气氛下前驱体持续输送需求; 4.设备整体采用一体化真空密封集成结构,各管路接口、法兰对接处、喷头安装位均采用专用真空密封配件适配封装,无漏气死角; 5.包含连接管路、密封紧固件、真空转接接头、固定支架等全套配套安装组件,设备集成度高,结构紧凑,无需额外改装即可匹配管式炉设备配套使用; 6.设备具备运行状态监测功能,可实时查看注射泵流量、雾化工作频率,支持运行参数保存与导出; 7.配套提供设备操作手册、电气原理图、维护保养说明书等全套技术资料。 售后服务: | 1.对于整套设备提供≥2年质保; 2.厂家提供现场安装调试指导,保证设备可靠运行; 3.提供技术操作培训; 4.故障响应,提供远程及上门维修服务; 5.长期提供备件技术支持。 |