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| 项目名称 | 3D﹒NAND制造用光刻材料关键上游原材料的开发及产业化 | ||
| 建设内容及规模 | 购置灌装机、防爆控制柜、色谱仪、储罐、反应釜等研发及生产设备,完善配套设施,完成ArF光刻胶及其淬灭剂的相关产线建设,具备淬灭剂5公斤,光刻胶50加仑生产能力。 | ||
| 项目代码 | **** | 项目单位 | **** |
| 法人代表姓名 | 刘敏 | 项目单位性质 | 私营企业 |
| 所属行政区划 | **省/**市 | 项目所属行业 | 工业/电子 |
| 总投资 | 7000 | 建设性质 | 扩建 |
| 拟开工时间 | 2026-09 | 备案证状态 | 已注销 |
| 申报日期 | 2026-09-11 09:30:42 | ||