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| 电子束蒸发镀膜(金属)设备 | |
| 项目所在采购意向: | ****2026年10月政府采购意向 |
| 采购单位: | **** |
| 采购项目名称: | 电子束蒸发镀膜(金属)设备 |
| 预算金额: | 200.000000万元(人民币) |
| 采购品目: |
A****0300电子工业生产设备
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| 采购需求概况 : |
拟采购电子束蒸发镀膜(金属)设备,1台套;要求能够在半导体硅片及其他特殊基片(玻璃、陶瓷)上进行多种金属或合金材料的真空镀膜,并配备镀膜厚度实时监控系统;配备高真空和低真空系统,同时配备真空监控系统以此保证成膜环境最优化;衬底尺寸要求8英寸向下兼容。镀膜膜厚非均匀性≤5%。交付周期1个月,质保时间2年。
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| 预计采购时间: | 2026-10 |
| 备注: | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写