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中山大学物理学院电子束热蒸镀物理气相沉积系统采购项目
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***********公司企业信息
****2026年10月政府采购意向-****物理学院电子束热蒸镀物理气相沉积系统采购项目 详细情况
| ****物理学院电子束热蒸镀物理气相沉积系统采购项目 | |
| 项目所在采购意向： | ****2026年10月政府采购意向 |
| 采购单位： | **** |
| 采购项目名称： | ****物理学院电子束热蒸镀物理气相沉积系统采购项目 |
| 预算金额： | 165.000000万元(人民币) |
| 采购品目： |
A****0599其他试验机
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| 采购需求概况 ： |
1. 电子束热蒸镀物理气相沉积系统，1套。2，技术要求：采用PLC与工控机控制，含2组兼容金属及有机材料蒸镀的水冷蒸发源，配1套6位坩埚（单坩埚容量7cc）可旋转更换的水冷电子枪，加速电压达到10kV；样品台可装载120mm×120mm基片，转速0至30r/min可调；石英晶振膜厚仪在线监测，速率精度优于0.01/s，厚度精度±0.015；SUS304真空腔体（内腔约460mm×460mm×610mm），整体漏率优于5×10-10Pa﹒m3/s；极限真空优于2.5×10-5Pa，半小时内可自大气抽至5×10-4Pa，舱体保压12小时小于5Pa；具备手动、自动两种控制模式。 具体要求详见采购文件。3，供货期：签订合同之日起，30个日历日货到采购人 指定地点并安装验收完毕，（包括供资，安装，调试，验收合格所需时间）， 具体事宜由成交供应商按采购人指定地点及时间安排要求执行。 标书代写
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| 预计采购时间： | 2026-10 |
| 备注： | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写
招标进度跟踪
2026-09-11
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