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| **** | 建设单位代码类型:|
| 916********5824054 | 建设单位法人:Gongda Yao |
| 陈工 | 建设单位所在行政区划:**省**市高新区 |
| **市高新区信息大道28号 |
| ****实验室扩展工程 | 项目代码:|
| 建设性质: | |
| 2021版本:098-专业实验室、****基地 | 行业类别(国民经济代码):M7320-M7320-工程和技术研究和试验发展 |
| 建设地点: | **省**市高新区 信息大道28号 |
| 经度:108.834620 纬度: 34.166400 | ****机关:****开发区****服务局 |
| 环评批复时间: | 2024-01-04 |
| 高新环评批复〔2024〕004号 | 本工程排污许可证编号:**** |
| 2024-03-29 | 项目实际总投资(万元):2700 |
| 530 | 运营单位名称:**** |
| 916********5824054 | 验收监测(调查)报告编制机构名称:**天****公司 |
| ****0113MA6X0WUKX4 | 验收监测单位:******公司 |
| ****0132MACAE8AA14 | 竣工时间:2025-12-30 |
| 调试结束时间: | |
| 2026-05-25 | 验收报告公开结束时间:2026-06-23 |
| 验收报告公开载体: | https://www.****.com/gs/detail/2?id=60525YBbZG |
| 改扩建 | 实际建设情况:改扩建 |
| 无 | 是否属于重大变动:|
| 本次扩建工程8台实验设备,年完成实验流程(实验一/实验二)40批次 | 实际建设情况:本项目属于研发项目,实验设备减少一台外延设备,增加一台刻蚀设备,总共安装8台,年完成实验流程(实验一/实验二)40批次 |
| 设备总数不变,原辅材料用量每年有所浮动和变化,本次验收罗列近三年最大用量,生产、处置或储存能力不变。 | 是否属于重大变动:|
| 主要进行半导体材料制造设备性能、工艺参数、设备机械参数的测试和研究,其实验过程主要有沉积薄膜、测试、清洗、蚀刻、化学机械研磨 | 实际建设情况:主要进行半导体材料制造设备性能、工艺参数、设备机械参数的测试和研究,其实验过程主要有沉积薄膜、测试、清洗、蚀刻、化学机械研磨 |
| 无 | 是否属于重大变动:|
| (1)废气:①实验过程产生的酸性废气经密闭负压引流至现有中央废气处理系统(碱液喷淋塔)处理后达标排放;②实验过程产生的实验尾气(含非甲烷总烃废气****设备处理后引至中央废气处理系统处理后达标排放;③实验过程产生的碱性废气经密闭负压引流至现有中央废气处理系统处理后达标排放;④设备擦拭清洁过程使用乙醇/异丙醇,挥发产生非甲烷总烃废气集气罩收集采用活性炭吸附处理,后引至中央废气处理系统处理后达标排放;⑤现有中央废气处理系统包含2套喷淋塔,本次环评增设1套喷淋塔,共3套。排气依托现有排气筒排放(DA001、DA002、DA003),2用1备,DA003为备用排气筒,排气筒高度均为18.5m。 (2)废水:项目工作人员产生的生活污水依托厂内现有化粪池收集处理,处理达标后排入市政污水管网;实验****处理站分类进行收集处理,项目所排实验废水中酸碱废水经中和处理,含氟废水采用化学沉淀法处理,含氨氮废水采用化学沉淀+氨吹脱法处理; (3)噪声:选用低噪声设备,实验设备全部设置在厂房内利用厂房隔声,设备安装时设置减振基座; (4)固废:生活垃圾:分类收集后交由当地环卫部门统一处理;纸箱等一般废包装物依托现有分类收****回收站;****实验室废液、废有机溶剂、废水处理产生的含氟污泥、废矿物油及含矿物油废物、废活性炭等分类危废贮存库暂存,定期送**新天地****公司进行处理。 | 实际建设情况:(1)废气:①实验过程产生的酸性废气经密闭负压引流至现有中央废气处理系统(碱液喷淋塔)处理后达标排放;②实验过程产生的实验尾气(含非甲烷总烃废气****设备处理后引至中央废气处理系统处理后达标排放;③实验过程产生的碱性废气经密闭负压引流至现有中央废气处理系统处理后达标排放;④设备擦拭清洁过程使用乙醇/异丙醇,挥发产生非甲烷总烃废气集气罩收集采用活性炭吸附处理,后引至中央废气处理系统处理后达标排放;⑤现有中央废气处理系统包含2套喷淋塔,本次扩建增设1套喷淋塔。排气筒对比环评期间增加1根备用排气筒,共4根排气筒(DA001、DA002、DA003、DA004),2用2备,DA003、DA004为备用排气筒,排气筒高度均为18.5m。 (2)废水:项目工作人员产生的生活污水依托厂内现有化粪池收集处理,处理达标后排入市政污水管网;实验****处理站分类进行收集处理,项目所排实验废水中酸碱废水经中和处理,含氟废水采用化学沉淀法处理,含氨氮废水采用化学沉淀+氨吹脱法处理; (3)噪声:选用低噪声设备,实验设备全部设置在厂房内利用厂房隔声,设备安装时设置减振基座; (4)固废:生活垃圾:分类收集后交由当地环卫部门统一处理;纸箱等一般废包装物依托现有分类收****回收站;****实验室废液、废有机溶剂、废水处理产生的含氟污泥、废矿物油及含矿物油废物、废活性炭等分类危废贮存库暂存,定期送**新天地****公司进行处理。 |
| 实验设备总数不变,废气处理设施与环评一致,污染物排放总量不变,排气筒虽然增加1根排气筒,但为备用排气筒,且污染物排放总量未增加 | 是否属于重大变动:|
| 按照《报告表》要求落实环境风险防范措施,加强项目运营期的环境风险管理,制定企业突发环境事件应急预案并备案、定期演练,保证环境安全 | 实际建设情况:已按环评及批复落实,企业已制定企业突发环境事件应急预案并备案,备案号:GXHB-2026-032-L |
| 无 | 是否属于重大变动:|
| 3.996 | 2.284 | 0 | 0 | 0 | 6.28 | 2.284 | |
| 1.499 | 0.856 | 0 | 0 | 0 | 2.355 | 0.856 | |
| 0.203 | 0.116 | 0 | 0 | 0 | 0.319 | 0.116 | |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | |
| 0.68 | 0.388 | 0 | 0 | 0 | 1.068 | 0.388 | |
| 0.004 | 0.002 | 0 | 0 | 0 | 0.006 | 0.002 | |
| 0.035 | 0.02 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
| 0.144 | 0.082 | 0 | 0 | 0 | 0.226 | 0.082 | / |
| 0.255 | 0.145 | 0 | 0 | 0 | 0.4 | 0.145 | / |
| 0.134 | 0.076 | 0 | 0 | 0 | 0.21 | 0.076 | / |
| 0.373 | 0.213 | 0 | 0 | 0 | 0.586 | 0.213 | / |
| 0.4 | 0.229 | 0 | 0 | 0 | 0.629 | 0.229 | / |
| 0.559 | 0.319 | 0 | 0 | 0 | 0.878 | 0.319 | / |
| 0.144 | 0.082 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
| 1 | ****处理站 | 《污水综合排放标准》(GB8978-1996) | 与环评及其批复一致 | 项目实验废水污染物pH、SS、氟化物、COD、氨氮排放浓度满足《污水综合排放标准》(GB8978-1996)二级标准要求 | |
| 2 | 化粪池 | 《污水综合排放标准》(GB8978-1996)三级标准要求及《污水排入城镇下水道水质标准》(GB/T 31962-2015)B级标准) | 与环评及其批复一致 | 生活污水废水污染物pH、SS、COD、BOD5、动植物油、阴离子表面活性剂排放浓度满足《污水综合排放标准》(GB8978-1996)三级标准要求,氨氮排放浓度满足《污水排入城镇下水道水质标准》(GB/T 31962-2015)B级标准) |
| 1 | 3套碱液喷淋塔+4根排气筒((DA001、DA002、DA003、DA004),2用2备,DA003、DA004为备用排气筒) | 《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)表2中的二级标准,《恶臭污染物排放标准》(GB14554-93)表2恶臭污染物排放标准值 | 与环评及其批复一致 | DA001、DA002排气筒出口中氟化物、氯化氢、硫酸雾、氮氧化物、二氧化硫、颗粒物、非甲烷总烃排放浓度及排放速率均满足《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)表2中的二级标准,氨气满足《恶臭污染物排放标准》(GB14554-93)表2恶臭污染物排放标准值;厂区内控制点非甲烷总烃无组织废气满足《挥发性有机物无组织排放控制标准》(GB37822-2019)表A.1厂区内VOCs无组织排放限值要求;厂界非甲烷总烃无组织废气满足《挥发性有机物排放控制标准》(DB61/T1061-2017)表3企业边界监控点浓度限值要求 |
| 1 | 实验室各生产设备 | 《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)中3类标准要求限值 | 与环评及其批复一致 | 项目四周厂界噪声贡献值昼夜间均满足《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)中3类标准要求限值 |
| 1 | 生活垃圾:分类收集后交由当地环卫部门统一处理;纸箱等一般废包装物依托现有分类收****回收站;****实验室废液、废有机溶剂、废水处理产生的含氟污泥、废矿物油及含矿物油废物、废活性炭等分类危废贮存库暂存,定期送**新天地****公司进行处理 | 生活垃圾:分类收集后交由当地环卫部门统一处理;纸箱等一般废包装物依托现有分类收****回收站;****实验室废液、废有机溶剂、废水处理产生的含氟污泥、废矿物油及含矿物油废物、废活性炭等分类危废贮存库暂存,定期送**新天地****公司进行处理 |
| 1 | 按照《报告表》要求落实环境风险防范措施,加强项目运营期的环境风险管理,制定企业突发环境事件应急预案并备案、定期演练,保证环境安全 | 已按环评及批复落实,企业已制定企业突发环境事件应急预案并备案,备案号:GXHB-2026-032-L |
| (1)现有中央废气处理系统包含2套喷淋塔,本次环评增设1套喷淋塔,共3套。排气依托现有排气筒排放(DA001、DA002、DA003),2用1备,DA003为备用排气筒,排气筒高度均为18.5m;(2)生活污水依托厂内现有化粪池收集处理,处理达标后排入市政污水管网;实验****处理站分类进行收集处理,项目所排实验废水中酸碱废水经中和处理,含氟废水采用化学沉淀法处理,含氨氮废水采用化学沉淀+氨吹脱法处理 | 验收阶段落实情况:(1)现有中央废气处理系统包含2套喷淋塔,本次扩建增设1套喷淋塔。排气筒对比环评期间增加1根备用排气筒,共4根排气筒(DA001、DA002、DA003、DA004),2用2备,DA003、DA004为备用排气筒,排气筒高度均为18.5m;(2)生活污水依托厂内现有化粪池收集处理,处理达标后排入市政污水管网;实验****处理站分类进行收集处理,项目所排实验废水中酸碱废水经中和处理,含氟废水采用化学沉淀法处理,含氨氮废水采用化学沉淀+氨吹脱法处理 |
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| 无 | 验收阶段落实情况:无 |
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| 无 | 验收阶段落实情况:无 |
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| 无 | 验收阶段落实情况:无 |
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| 无 | 验收阶段落实情况:无 |
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| 无 | 验收阶段落实情况:无 |
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| 1 | 未按环境影响报告书(表)及其审批部门审批决定要求建设或落实环境保护设施,或者环境保护设施未能与主体工程同时投产使用 |
| 2 | 污染物排放不符合国家和地方相关标准、环境影响报告书(表)及其审批部门审批决定或者主要污染物总量指标控制要求 |
| 3 | 环境影响报告书(表)经批准后,该建设项目的性质、规模、地点、采用的生产工艺或者防治污染、防止生态破坏的措施发生重大变动,建设单位未重新报批环境影响报告书(表)或环境影响报告书(表)未经批准 |
| 4 | 建设过程中造成重大环境污染未治理完成,或者造成重大生态破坏未恢复 |
| 5 | 纳入排污许可管理的建设项目,无证排污或不按证排污 |
| 6 | 分期建设、分期投入生产或者使用的建设项目,其环境保护设施防治环境污染和生态破坏的能力不能满足主体工程需要 |
| 7 | 建设单位因该建设项目违反国家和地方环境保护法律法规受到处罚,被责令改正,尚未改正完成 |
| 8 | 验收报告的基础资料数据明显不实,内容存在重大缺项、遗漏,或者验收结论不明确、不合理 |
| 9 | 其他环境保护法律法规规章等规定不得通过环境保护验收 |
| 不存在上述情况 | |
| 验收结论 | 合格 |