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| 1 | 2套非标分子泵机组 | 1.要求提供一套700L/s的非标分子泵机组,集成在小车上,集成控制系统,控制系统包含输出的485接口;尽可能轻便。 2.要求提供一套慢抽慢充的洁净分子泵机组,要求集成在小车上,集成控制系统,控制系统包含输出的485接口,分子泵抽速700L/s,充气阀门前配有1um、0.03um过滤器。 3.真空规使用可靠稳定的品牌。 4.系统完全无油无污染,质量数>44的气体分子占比小于1%。 | 套 | 2 | 2个月 | **** |