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天津大学 - 竞价公告（CB100562026000496）
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**** - 竞价公告（****）
发布时间：2026-09-14 10:46:52 截止时间：2026-09-16 11:00:00标书代写
申购主题： 等离子表面处理仪
报价要求： 国产含税
发票类型： 增值税专用发票
付款方式： 货到验收合格后付款
收货地址： **市/市辖区/**区/****
供应商资质：
备注说明： 26CX004992
送货时间： 合同签订后7天内送达
安装要求： 免费上门安装（含材料费）
预算： 人民币
| 等离子表面处理仪 | 1.0/ | 尔迪 | Zepto BLS | 1.控制系统 a. 手动 b. 真空和发生器互锁功能 c. 跟据工艺需求不同，可设定功率、气体流量等参数 2.工艺气路： a. 2个针阀流量计（可通多种工艺气体O2、Ar等非腐蚀性气体） b. 1路破真空进气气路 3.压力控制： a. 反应舱压力计，量程0.1~9.99mbar 4.发生器： a. 频率40KHz,功率0~100W,百分比可调 b. 具有电流过载保护功能 5.反应腔： a. 高硼硅玻璃材料 b. 腔体尺寸：Dia105xD300mm c. 容积：2.6L d. 铰链门带观察窗 6.双极油式真空泵，排气速度4m3/H 7.外尺寸：W425mmxD450mmxH185mm(含电源线突出部分) 8.电源电压：单相AC220V 10A 9.慢速抽气调节阀 一个 10.慢速泄气调节阀 一个 11.气瓶减压阀一个 12.油雾过滤器一个 13.真空腔室托盘一个 14.真空配件一套（含真空管、密封圈、卡箍） | 按行业标准提供服务（提供本地化安装调试及售后服务） |
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2026-09-14
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