工业互联网产教融合平台 多脉宽纳-皮-飞秒激光三维内部加工装备

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多脉宽纳-皮-飞秒激光三维内部加工装备，1台 超快激光：中心波长1030nm±10nm；脉宽≤ 290fs；≤ 290fs；单脉冲能量≥ 400uj 纳秒激光：中心波长 1064nm；脉宽1-10ns 连续可调；激光触发抖动误差 ≤ 35ps ；调制步距 ≤ 10ps 空间整形：≥ 1272*1024；阈值 gt;30W 精密电动位移台：移动行程XYZ ≥ 250x250x20 mm；重复精度：≤+/-0.2um；XY平面度/直线度 ≤±1um；最小位移量XYZ≤0.02um；最大速度 XY≥200mm/s,Z≥10mm/s；支持双轴PSO 激光聚焦照明模块：支持可见/红外光源照明，可见/近红外成像，电动物镜切换器, ****中心偏差 ≤±1um，标配95mm齐焦, 适用波长包括500-1600nm。 10X NIR物镜 NA≥0.28, WD≥ 33mm；20X NIR物镜, NA≥0.45, WD≥ 20mm；50X VIS-NIR物镜, NA≥0.65, WD≥ 10mm；100X VIS-NIR物镜, NA≥0.7, WD≥ 6mm；聚焦光斑尺寸 ≤ 2um ；@ 50X 物镜下 1550nm 激光自动追焦：波长650nm；对焦精度 lt;=±1/4当前物镜景深；可控制全闭环 设备所有核心部件（激光器、聚焦加工头、**石基座、气浮底座、电控系统、光路系统等）全部集成封装于一体化设备外壳内部，整机为封闭式整体结构，无外露核心精密部件。 一体化界面控制激光器、视觉模块、物镜切换、精密位移台、电动衰减等。支持时序控制可实现激光器多光源互作用过程时域调节。支持XY PSO加工