开启全网商机
登录/注册
声光电直写微纳加工系统
招标详情
下文中****为隐藏内容，仅对千里马会员开放，如需查看完整内容请
「注册/登录」或 拨打咨询热线：
400-688-2000
相关单位：
***********公司企业信息
****2026年10月政府采购意向-声光电直写微纳加工系统 详细情况
| 声光电直写微纳加工系统 | |
| 项目所在采购意向： | ****2026年10月政府采购意向 |
| 采购单位： | **** |
| 采购项目名称： | 声光电直写微纳加工系统 |
| 预算金额： | 175.000000万元(人民币) |
| 采购品目： |
A****0399其他光学仪器
|
| 采购需求概况 ： |
1.系统组成： （1）温控防尘罩； （2）**石花岗岩机座及气浮防震装置； （3）515nm高重频飞秒激光精密光路传输系统：重复频率≥1MHz、波长515nm、最大单脉冲能量≥200uJ、脉冲宽度≤300fs； （4）自动聚焦系统：对焦精度≤1/4DOF、对焦重复性≤1/3DOF、对焦速度≥100ms/次； （5）声光电调制模块： 声光偏转器：工作波长515nm、调制时间≤1μs/mm、衍射效率≥50％、通光孔径＞7.5x7.5mm2；电光调器：工作波长515nm、通光孔径Φ≥3mm、调制速率≥100KHz； （6）精密工作台平台系统：工作台行程≥300mm、最大速度≥0.4m/s、最大加速度：1m/s2、重复精度≤±0.1um、定位精度 lt;1um，套刻误差≤300nm； （7）同轴 LED 照明、CCD 相机、高数值孔径聚焦物镜电动物镜切换器； （8）控制电脑及数据转换计算机及数据转换软件。 用于硅、锗、相变材料等半导体平面材料的改性光刻。 2.有效光刻面积: 200 × 200 mm2 ，可接受基材厚度: 0 ~ 12 毫米，直写线宽精度优于1μm，单光束微区偏转-能量调制同步控制速率≥100K，偏转精度优于100nm，相邻区域拼接精度优于100nm。
|
| 预计采购时间： | 2026-10 |
| 备注： | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写
招标进度跟踪
2026-09-17
招标预告
声光电直写微纳加工系统
当前信息
标书代写
招标项目商机
暂无推荐数据
400-688-2000
欢迎来电咨询～
