8英寸低压化学气相沉积采购信息公示

一、项目概况

（一）项目编号：****

（二）项目名称：8英寸低压化学气相沉积

（三）项目内容及需求：

1.需求数量：1台

2.设备主要功能要求：

全自动LPCVD立式炉管，适配标准8英寸晶圆自动上下料，主要用于多晶硅、掺**晶硅薄膜沉积，支持原位掺杂。

工艺环境：支持低压化学气相沉积工艺，沉积温度500-850℃，分区控制精度±0.1℃，恒温区长时间温漂≤±1℃/6H。

3.薄膜良率参数：

电阻率：0.001-0.01Ω﹒cm;

晶圆表面PA≥0.2um颗粒管控;

片内膜厚均匀性≤3%，片间、批次间均匀性≤3%;

片内电阻率均匀性≤3%，片间、批次间均匀性≤3%;

单批片量≥150片。

4.自动化：

系统支持半导体通用协议，SECS-GEM通讯，支持EAP自动上下货，全自动传片，recipe存储调用，气体MFC精密控流.

二、资格要求

（一）必须符合《政府采购法》第二十二条规定的条件：

1、具有独立承担民事责任的能力。

2、具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度。

3、具有履行合同所必需的设备和专业技术能力。

4、有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录。

5、法律、行政法规规定的其他条件。

6、需提供参加本项目投标活动前三年内，在经营活动中无重大违法、违规记录、重**全生产事故的声明。

7、未被列入“信用中国”网站(www.****.cn )失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单和“中国政府采购网”（www.****.cn ）政府采购严重违法失信行为记录名单，提供网上查询结果记录（查询日期在发布公告之后），截图打印。

（二）特定资格要求：

1、投标人应具备独立法人资格，具有国家相关部门颁发的营业执照，并出具相关证明，注册资金≥100万元；

2、投标方提供近三年同类型产品销售业绩三份，提供相应合同及业绩材料；

3、投标人从事行业经验不少于3年；

4、参与企业须为货物的生产厂家或代理商，代理商必须持有生产厂家代理证书（代理时间不少于1年），不接受项目授权证书；

5、同一投标人仅限一人报名，若出现多人报名则取消投标人投标资格；

6、投标人报名资质中需有法人授权委托书原件，并注明授权代表及其联系方式、邮箱（用于接收招标文件）；

7、投标人未按规定时间递交报名纸质资料则视为报名无效；

8、本次招标不接受联合体投标；

9、投标人报名成功后无故缺席招标投标活动的，1年内不得参与我司的采购招标项目，并做不诚信记录。

三、供应商报名方式及截止时间标书代写

（一）报名方式：扫描高德红外SRM招标二维码进行系统注册并完成系统报名。

（二）截止时间：2026-9-27 17:30标书代写

四、联系事项

商务联系人： 杨康 电话：180****9626

技术联系人： 蔡佳雨 电话：176****3927

五、监督、投诉渠道

电话：027-****8317

邮箱：****@guide-infrared.com

网络举报二维码：

2、党委办公室：

电话：027-****8226

邮箱：****@163.com