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东南大学 - 竞价公告（CB102862026001080）

公告-招标公告

江苏 -南京

发布时间： 2026年09月20日

标书代写官方

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**** - 竞价公告（****）

发布时间：2026-09-20 09:46:36 截止时间：2026-09-23 09:00:00加急标书代写

申购主题：紫外光刻机

报价要求：国产含税

发票类型：增值税专用发票

付款方式：货到验收合格后付款

收货地址： **省/**市/**区/****

供应商资质：

备注说明：

送货时间：合同签订后7天内送达

安装要求：免费上门安装（含材料费）

预算：人民币

采购内容数量/单位预算单价品牌型号规格参数质保及售后服务附件

桌面型掩膜对准紫外光刻机

1.0/台

中芯热成

XT-01-UV litho-手动版

1、曝光类型：单面； 2、曝光面积：110×110mm； 3、曝光照度不均匀性：≤±5%； 4、紫外光束角：≤5° 5、 ****中心波长：365nm； 6、紫外光源时间：≥8 万小时； 7、采用电子快门； 8、曝光分辨率：2μm； 9、显微镜扫描范围：X：±50mm，Y：±50mm； 10、对准范围：X、Y 调节±6.5mm，Z向移动范围10mm，Q 向 360°粗调，±5°精调； 11、套刻精度：2μm 12、光刻胶：正性光刻胶 12、曝光方式：接触式曝光； 13、显微系统：单目 CCD 显微系统，2000 倍金相同轴光显微镜；光学放大倍数 0.7X-4.5X;高清 2K 工业 CCD 相机；LED 同轴光源；13.3 寸挂屏； 14、掩模版尺寸：≤127×127mm； 15、基片尺寸：≤Φ102mm； 16、基片厚度：≤5mm； 17、曝光定时：0～999.9 秒（可调）； 18、外形尺寸：603mm×535mm×723mm(高度不含支脚) 19、电源：单相 AC220V 50HZ； 20、设备所需能源：220V±10%，50HZ；

质保1年