上海机电设备招标有限公司发布绵阳惠科光电科技有限公司多批次设备中标及评标公示公告

近日，****发布****多批次设备中标及评标公示公告。本次招标覆盖阵列柔性涂布机、干法刻蚀机、阵列断线短路测量机、湿式清洗机、卡匣等面板阵列段关键工艺与配套设备，****设备厂商与国内本土供应商成功中标。

在已正式公布中标结果的项目中，韩国NARAE NANOTECH拿下阵列柔性涂布机订单。NARAE NANOTECH 是柔性显示涂布领域头部厂商，深耕柔性基板涂布工艺多年，设备可实现薄膜均匀涂覆，适配柔性OLED等器件阵列层制备，可精准控制膜厚、提升薄膜均一性，减少涂布缺陷，是柔性面板阵列制程核心设备，在全球多家显示厂商产线均有量产验证实绩。

干法刻蚀机由日本东京电子Tokyo Electron Limited中标。东京电子是全球半导体与显示刻蚀设备龙头企业，其干法刻蚀设备拥有等离子体精准调控能力，能够对阵列金属、绝缘层进行高精度图形化刻蚀，控制刻蚀速率、选择比与形貌均匀性，兼顾高产能与良率稳定性，广泛应用于LCD、OLED面板阵列制程，是显示产线核心工艺设备。

阵列断线短路测量机中标方为日本UNION ARROW TECHNOLOGIES。该厂商专注显示面板电性检测设备，设备用于阵列基板制程中段的开路、短路缺陷检测，可快速完成基板像素电路电性筛查，定位微短路、断线等细微缺陷，提前筛除不良基板，降低后段制程损耗，提升整体生产良率，是阵列段在线检测的关键量测设备。

处于评标公示阶段的湿式清洗机项目，****株式会社DMS，制造商为******公司。电美世是国内湿式清洗设备主力供应商，深耕显示基板清洗多年，设备依靠化学药液与流体控制技术，清除基板表面颗粒、有机污染物与金属残留，兼顾清洗洁净度与基板保护，国产设备具备成本优势与本地化快速运维能力，国内多条面板产线已批量导入。

卡匣项目评标候选人是旭璟机电设备 (**) 有限公司，制造商为****公司。****工厂基板承载、转运的核心载具，直接影响基板在各工序之间搬运时的安全，防止基板划伤、污染。**旭璟在面板载具结构设计、洁净度控制方面积累成熟，可适配大尺寸基板的自动化传输，为产线自动化流转提供配套支撑。

据了解，本次系列设备采购隶属于**惠科重点显示产业升级项目。惠科自2018年落地**，累计投资近300亿元，是当地新型显示产业核心链主企业。本次分批采购的阵列核心设备，主要服务于旗下8.6代显示产线及Mini-LED产能扩容项目，聚焦显示面板前段核心制程升级。项目落地将进一步完善**惠科全品类显示面板生产能力，夯实**千亿级新型显示产业集群建设基础。