成都路维光电科技特殊掩膜版产品研制项目

审批
四川-成都-郫都区
发布时间: 2026年09月20日
项目详情
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1、建设项目基本信息
企业基本信息
建设单位名称: 建设单位代码类型: 建设单位机构代码: 建设单位法人: 建设单位联系人: 建设单位所在行政区划: 建设单位详细地址:
****
****0100MA68KQYT9W肖青
陈秋月**省成****开发区
**高新区康强三路1666号
建设项目基本信息
项目名称: 项目代码: 项目类型: 建设性质: 行业类别(分类管理名录): 行业类别(国民经济代码): 工程性质: 建设地点: 中心坐标: ****机关: 环评文件类型: 环评批复时间: 环评审批文号: 本工程排污许可证编号: 排污许可批准时间: 项目实际总投资(万元): 项目实际环保投资(万元): 运营单位名称: 运营单位组织机构代码: 验收监测(调查)报告编制机构名称: 验收监测(调查)报告编制机构代码: 验收监测单位: 验收监测单位组织机构代码: 竣工时间: 调试起始时间: 调试结束时间: 验收报告公开起始时间: 验收报告公开结束时间: 验收报告公开形式: 验收报告公开载体:
**路维光电科技特殊掩膜版产品研制项目
2021版本:081-电子元件及电子专用材料制造C3985-C3985-电子专用材料制造
**省**市**区 康强三路1666号
经度:103.873030 纬度: 30.767680****开发区****管理局
2025-06-04
成高环诺审〔2025〕38号****
2026-04-23600
20****
****0100MA68KQYT9W****
****0100MA68KQYT9W**中环康源****公司
915********288124U2025-09-25
2026-08-192026-09-16
https://www.****.com/gs/detail/2?id=60819asRGN
2、工程变动信息
项目性质
环评文件及批复要求: 实际建设情况: 变动情况及原因: 是否属于重大变动: 是否重新报批环境影响报告书(表)文件:
扩建扩建
无
规模
环评文件及批复要求: 实际建设情况: 变动情况及原因: 是否属于重大变动: 是否重新报批环境影响报告书(表)文件:
年产120片特殊掩膜版。其中铬版105片、硅化钼版5片、二氧化硅版5、铝版5片年产120片特殊掩膜版。其中铬版105片、硅化钼版5片、二氧化硅版5、铝版5片
无
生产工艺
环评文件及批复要求: 实际建设情况: 变动情况及原因: 是否属于重大变动: 是否重新报批环境影响报告书(表)文件:
工艺主要为光刻、显影、清洗、刻蚀、脱模、清洗、旋转甩干(清洗机自带甩干功能)等。刻蚀分为干法刻蚀和湿法刻蚀。本项目现有工程刻蚀工艺为湿法刻蚀,本项目采用干法刻蚀工艺。其余工艺均依托现有工程的生产设备进行生产。工艺主要为光刻、显影、清洗、刻蚀、脱模、清洗、旋转甩干(清洗机自带甩干功能)等。刻蚀分为干法刻蚀和湿法刻蚀。本项目现有工程刻蚀工艺为湿法刻蚀,本项目采用干法刻蚀工艺。其余工艺均依托现有工程的生产设备进行生产。
无
环保设施或环保措施
环评文件及批复要求: 实际建设情况: 变动情况及原因: 是否属于重大变动: 是否重新报批环境影响报告书(表)文件:
显影废气、脱模废气:依托现有工程废气洗涤塔TA001(两级碱喷淋)处理。显影废气、脱模废气:进入新增的1套废气洗涤塔TA002(两级碱喷淋+过滤棉除湿+两级活性炭吸附)处理。
不再依托现有工程的TA001处理,进入新增的TA002处理。 针对该变动已编制《******路维光电科技特殊掩膜版产品研制项目非重大变动环境影响分析》报告,专家评审意见见附件。
其他
环评文件及批复要求: 实际建设情况: 变动情况及原因: 是否属于重大变动: 是否重新报批环境影响报告书(表)文件:
你公司关于《**路维光电科技特殊掩膜版产品研制项目环境影响报告表》(下称“报告表”)的报批申请收悉。根据**中环康源****公司编制对该项目开展环境影响评价的结论,在全面落实报告表提出的各项防治生态破坏和环境污染措施的前提下,工程建设对环境的不利影响能够得到缓解和控制。我局同意该项目环境影响报告表中所列建设项目的性质、规模、地点以及拟采取的环境保护措施。你公司应当严格落实报告表提出的防治污染和防止生态破坏的措施,严格执行配套建设的环保设施与主体工程同时设计、同时施工、同时投产的环保“三同时”制度。****环境保护部《建设项目竣工环境保护验收暂行办法》(国环规环评[2017】4号)等相关法律法规规定做好验收工作,经验收合格后,按照排污许可管理规定,在启动生产设施或者发生实际排污前,主动申请、变更排污许可证或者填报排污登记表,方可正式投入生产或者使用。依法向所在地生态环境主管部门申报危险废物的种类、产生量、流向、贮存、处置等有关资料并执行国家相关管理规范。地下水防渗:重点防渗:①生产车间:本项目生产车间依托现有工程,已做好重点防渗措施。 ②危废暂存间:本项目依托现有工程的危废暂存间,已做好重点防渗措施。 一般防渗:一般固废暂存间:本项目依托现有工程一般固废暂存间,已做好一般防渗措施。 环境风险:事故应急池:1、****公司****处理站内设置 的 1 座 容 积 约 5.4m3,(423×423×30cm)的事故应急池(Q1,用于废水站内****处理站区域管路漏液后的废液废水收集) 2、****公司****处理站内设置的1个20m3的事故应急池(Q2,用于收集化学品库消防废水、事故状态下生产废水,并兼作消防废水收集池,在消防状态下用于消防废水的暂存) 3、现有工程在在2号楼,1层东北角危废暂存间拟设置1座容积约20m3的事故应急池(Q3),用于收集事故状态下生产区域的生产废水,并兼作消防废水收集池,在消防状态下用于消防废水的暂存。 依****处理站内设置的5m3的含铬废水事故应急收集罐(Q4),用于事故状态下含铬废水的收集(本项目不涉及含铬废水)。 本项目制定有环境风险突发事件应急预案,备案文件详见附件,备案编号为510109-2024-98-L。 企业现已取得排污登记,证书编号为:****。
无
3、污染物排放量
污染物 现有工程(已建成的) 本工程(本期建设的) 总体工程 总体工程(现有工程+本工程) 排放方式 实际排放量 实际排放量 许可排放量 “以新带老”削减量 区域平衡替代本工程削减量 实际排放总量 排放增减量 废水 水量 (万吨/年) COD(吨/年) 氨氮(吨/年) 总磷(吨/年) 总氮(吨/年) 废气 气量 (万立方米/年) 二氧化硫(吨/年) 氮氧化物(吨/年) 颗粒物(吨/年) 挥发性有机物(吨/年)
15992.63 0 1.327 0 0 15992.63 0
0.6374 0.0001 0 0 0 0.637 0
0.0797 0 0 0 0 0.08 0
0 0 0 0 0 0 0
0 0 0 0 0 0 0
0 0 0 0 0 0 0 /
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4、环境保护设施落实情况
表1 水污染治理设施
序号 设施名称 执行标准 实际建设情况 监测情况 达标情况
表2 大气污染治理设施
序号 设施名称 执行标准 实际建设情况 监测情况 达标情况
1 碱喷淋+过滤棉+二级活性炭 《**省固定污染源大气挥发性有机物排放标准》(DB51/2377-2017)、《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)、《恶臭污染物排放标准》(GB 14554-93) 同环评 项目废气污染物氯气、氟化物、二氧化硫、硫酸雾排放满足《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)表 2二级排放标准要求;有机废气排放满足《**省固定污染源大气挥发性有机物排放标准》(DB51/2377-2017)表3标准要求。氨的排放满足《恶臭污染物排放标准》(GB 14554-93)
表3 噪声治理设施
序号 设施名称 执行标准 实际建设情况 监测情况 达标情况
表4 地下水污染治理设施
序号 环评文件及批复要求 验收阶段落实情况 是否落实环评文件及批复要求
表5 固废治理设施
序号 环评文件及批复要求 验收阶段落实情况 是否落实环评文件及批复要求
表6 生态保护设施
序号 环评文件及批复要求 验收阶段落实情况 是否落实环评文件及批复要求
表7 风险设施
序号 环评文件及批复要求 验收阶段落实情况 是否落实环评文件及批复要求
5、环境保护对策措施落实情况
依托工程
环评文件及批复要求: 验收阶段落实情况: 是否落实环评文件及批复要求:
****公司现有压缩空气系统。 现有厂区在3#楼内设置空压站,内设2台空压机,单台压缩空气供应能力11.1m3/min。****公司现有的循环水冷却系统。3#楼楼顶层设置4台冷却塔,其中2台循环水量为500m3/h,1台循环水量为350m3/h,1台循环水量为124m2/h。公司现有工程将2#楼的一层、二层的生产区域设置洁净室(洁净度要求:10~10000级,针对不同的生产区需求进行具体洁净度的设置),并配备空调新风系统;本次项目依托现有工程的通排风系统。****公司设置的2#CCSS:位于1层生产区化学品供应间,为自动生产线供应显影液、硫酸、硝酸、氢氧化钠溶液、硝酸铈铵溶液等。设置3个显影液储罐(单个容积10m3)、2个硝酸储罐(单个容积10m3)、2个硫酸储罐(单个容积为10m3)、1个氢氧化钠溶液储罐(容积为10m3)、1个硝酸铈铵溶液储罐(容积为10m3)。****公司2层的仓库,该仓库暂存基板及成品的暂存。仓库面积约100m2。同环评
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环保搬迁
环评文件及批复要求: 验收阶段落实情况: 是否落实环评文件及批复要求:
不涉及不涉及
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区域削减
环评文件及批复要求: 验收阶段落实情况: 是否落实环评文件及批复要求:
不涉及不涉及
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生态恢复、补偿或管理
环评文件及批复要求: 验收阶段落实情况: 是否落实环评文件及批复要求:
不涉及不涉及
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功能置换
环评文件及批复要求: 验收阶段落实情况: 是否落实环评文件及批复要求:
不涉及不涉及
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其他
环评文件及批复要求: 验收阶段落实情况: 是否落实环评文件及批复要求:
不涉及不涉及
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6、工程建设对项目周边环境的影响
地表水是否达到验收执行标准: 地下水是否达到验收执行标准: 环境空气是否达到验收执行标准: 土壤是否达到验收执行标准: 海水是否达到验收执行标准: 敏感点噪声是否达到验收执行标准:
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7、验收结论
序号 根据《建设项目竣工环境保护验收暂行办法》有关规定,请核实该项目是否存在下列情形:
1 未按环境影响报告书(表)及其审批部门审批决定要求建设或落实环境保护设施,或者环境保护设施未能与主体工程同时投产使用
2 污染物排放不符合国家和地方相关标准、环境影响报告书(表)及其审批部门审批决定或者主要污染物总量指标控制要求
3 环境影响报告书(表)经批准后,该建设项目的性质、规模、地点、采用的生产工艺或者防治污染、防止生态破坏的措施发生重大变动,建设单位未重新报批环境影响报告书(表)或环境影响报告书(表)未经批准
4 建设过程中造成重大环境污染未治理完成,或者造成重大生态破坏未恢复
5 纳入排污许可管理的建设项目,无证排污或不按证排污
6 分期建设、分期投入生产或者使用的建设项目,其环境保护设施防治环境污染和生态破坏的能力不能满足主体工程需要
7 建设单位因该建设项目违反国家和地方环境保护法律法规受到处罚,被责令改正,尚未改正完成
8 验收报告的基础资料数据明显不实,内容存在重大缺项、遗漏,或者验收结论不明确、不合理
9 其他环境保护法律法规规章等规定不得通过环境保护验收
不存在上述情况
验收结论 合格
温馨提示
1.该项目指提供国家及各省发改委、环保局、规划局、住建委等部门进行的项目审批信息及进展,属于前期项目。
2.根据该项目的描述,可依据自身条件进行选择和跟进,避免错过。
3.即使该项目已建设完毕或暂缓建设,也可继续跟踪,项目可能还有其他相关后续工程与服务。
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