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| ****化学机械抛光机项目 | |
| 项目所在采购意向: | ****2026年9至12月政府采购意向 |
| 采购单位: | **** |
| 采购项目名称: | ****化学机械抛光机项目 |
| 预算金额: | 550.000000万元(人民币) |
| 采购品目: |
A****9900其他仪器仪表
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| 采购需求概况 : |
(一)采购标的名称:化学机械抛光机 (二)采购标需实现的主要功能或者目标 化学机械抛光机主要用于二维材料的精密清洗、衬底减薄以及界面处理,通过化学腐蚀与机械研磨的协同作用,可有效去除转移过程中的残留物与表面吸附物,优化沟道与介电层的接触界面,实现纳米级全局平坦化,显著降低表面粗糙度并精确改善膜厚均匀性,从而为后续的光刻、薄膜沉积与金属互连等前道及后道工艺提供超光滑、超洁净的表面基底,有效提升半导体器件电学性能、良率与长期工作可靠性。 (三)采购标的数量:1套 (四)采购标需满足的质量、服务、安全、时限等要求 合同签订并收到预付款或者LC后6个月内交货,自验收合格之日起质保期不少于一年。各项技术参数符合相关国家标准以及采购技术要求。须提供在售全新设备,不得为停产型号或翻新机。
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| 预计采购时间: | 2026-11 |
| 备注: | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写